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黔南甕安縣、延邊安圖縣、邵陽(yáng)市洞口縣、焦作市博愛縣、昆明市石林彝族自治縣、大連市長(zhǎng)?？h
阜新市阜新蒙古族自治縣、畢節(jié)市赫章縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、焦作市修武縣、杭州市濱江區(qū)、南陽(yáng)市宛城區(qū)、江門市江海區(qū)、臨沂市蘭陵縣、清遠(yuǎn)市清新區(qū)
鷹潭市余江區(qū)、咸寧市赤壁市、廣西南寧市武鳴區(qū)、寧波市慈溪市、寧夏吳忠市青銅峽市、寧德市霞浦縣、中山市南頭鎮(zhèn)、大同市天鎮(zhèn)縣
重慶市巫山縣、撫州市黎川縣、定西市通渭縣、酒泉市肅州區(qū)、成都市彭州市、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣
重慶市巫山縣、德州市夏津縣、岳陽(yáng)市汨羅市、哈爾濱市阿城區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)
大同市云州區(qū)、常德市澧縣、湖州市吳興區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、迪慶德欽縣、昭通市水富市、重慶市永川區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、濟(jì)南市市中區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、忻州市保德縣、甘孜鄉(xiāng)城縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣
株洲市茶陵縣、遼源市東遼縣、安順市平壩區(qū)、南昌市新建區(qū)、鶴崗市綏濱縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、九江市柴桑區(qū)、商丘市睢縣
湛江市坡頭區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、牡丹江市東寧市、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、文山文山市、晉中市壽陽(yáng)縣
漢中市南鄭區(qū)、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、南京市江寧區(qū)、周口市西華縣、文山廣南縣、海北海晏縣、麗水市縉云縣
新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、儋州市光村鎮(zhèn)、撫州市南豐縣、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、中山市南區(qū)街道、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市、陽(yáng)泉市盂縣、肇慶市德慶縣、黃石市黃石港區(qū)
商丘市虞城縣、黔南都勻市、開封市禹王臺(tái)區(qū)、迪慶德欽縣、寧夏銀川市西夏區(qū)、福州市倉(cāng)山區(qū)
伊春市伊美區(qū)、慶陽(yáng)市寧縣、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、信陽(yáng)市羅山縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣
鶴壁市淇縣、廣西欽州市欽南區(qū)、七臺(tái)河市勃利縣、重慶市沙坪壩區(qū)、淮南市壽縣、廣西崇左市憑祥市、漯河市舞陽(yáng)縣、合肥市蜀山區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)、東方市天安鄉(xiāng)
安慶市潛山市、肇慶市廣寧縣、濰坊市臨朐縣、銅陵市義安區(qū)、太原市古交市、巴中市平昌縣、九江市柴桑區(qū)、吉林市船營(yíng)區(qū)、瓊海市萬(wàn)泉鎮(zhèn)
咸陽(yáng)市彬州市、宜賓市高縣、菏澤市東明縣、眉山市仁壽縣、大慶市讓胡路區(qū)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)
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果洛達(dá)日縣、黔南長(zhǎng)順縣、懷化市洪江市、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、茂名市化州市、南昌市青山湖區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)、徐州市沛縣、綿陽(yáng)市鹽亭縣
大同市廣靈縣、惠州市惠陽(yáng)區(qū)、寧夏中衛(wèi)市海原縣、廣西南寧市江南區(qū)、南京市秦淮區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、臨汾市汾西縣、大連市沙河口區(qū)、湘西州瀘溪縣
中山市南區(qū)街道、揭陽(yáng)市揭西縣、泰安市寧陽(yáng)縣、安陽(yáng)市安陽(yáng)縣、池州市東至縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、洛陽(yáng)市西工區(qū)、深圳市龍崗區(qū)
阿壩藏族羌族自治州汶川縣、通化市柳河縣、衡陽(yáng)市衡山縣、雅安市蘆山縣、成都市彭州市、攀枝花市仁和區(qū)、泉州市豐澤區(qū)、文山西疇縣、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)
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大連市瓦房店市、白山市靖宇縣、重慶市大足區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、寧波市海曙區(qū)、丹東市振興區(qū)、襄陽(yáng)市谷城縣
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遵義市仁懷市、錦州市凌河區(qū)、濟(jì)寧市曲阜市、定安縣黃竹鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市渾南區(qū)、江門市鶴山市、樂(lè)山市井研縣、?？谑旋埲A區(qū)、池州市石臺(tái)縣、楚雄元謀縣
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重慶市綦江區(qū)、韶關(guān)市樂(lè)昌市、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、鹽城市東臺(tái)市、南平市順昌縣、白城市通榆縣、延邊琿春市
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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