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漢中市西鄉(xiāng)縣、湘西州鳳凰縣、隴南市康縣、濮陽市濮陽縣、臨沂市河?xùn)|區(qū)、長治市長子縣、邵陽市雙清區(qū)、泉州市石獅市
揚(yáng)州市邗江區(qū)、重慶市巫山縣、福州市平潭縣、漢中市洋縣、三明市大田縣、長治市武鄉(xiāng)縣、廣西玉林市玉州區(qū)、株洲市攸縣
上海市閔行區(qū)、杭州市桐廬縣、大理賓川縣、楚雄武定縣、九江市潯陽區(qū)、金昌市永昌縣、汕頭市潮南區(qū)
甘孜九龍縣、衡陽市祁東縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、樂山市井研縣、鶴壁市?？h、東莞市道滘鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、荊州市江陵縣、廣西桂林市荔浦市、佛山市順德區(qū)
上海市普陀區(qū)、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、河源市和平縣、棗莊市薛城區(qū)、寶雞市麟游縣、四平市梨樹縣
漳州市龍文區(qū)、安慶市潛山市、鄭州市新密市、濟(jì)南市歷城區(qū)、濮陽市臺(tái)前縣、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、遵義市紅花崗區(qū)、婁底市新化縣
武漢市黃陂區(qū)、果洛班瑪縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、淮北市相山區(qū)、湘西州保靖縣、雅安市漢源縣、連云港市灌云縣、蘇州市虎丘區(qū)、岳陽市臨湘市、泰安市岱岳區(qū)
聊城市東阿縣、駐馬店市西平縣、揚(yáng)州市儀征市、揭陽市揭西縣、湛江市赤坎區(qū)、南京市六合區(qū)
湖州市南潯區(qū)、金華市蘭溪市、忻州市保德縣、廣州市海珠區(qū)、衡陽市衡南縣
茂名市高州市、蚌埠市淮上區(qū)、廣西桂林市象山區(qū)、涼山冕寧縣、廣西桂林市資源縣、濟(jì)南市歷下區(qū)
畢節(jié)市黔西市、海南共和縣、運(yùn)城市垣曲縣、周口市川匯區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、嘉興市嘉善縣、平頂山市湛河區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、六安市金安區(qū)、周口市淮陽區(qū)、上海市奉賢區(qū)、隴南市西和縣、甘孜得榮縣、東莞市茶山鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、曲靖市陸良縣、大慶市肇源縣、長沙市長沙縣、棗莊市滕州市、安慶市大觀區(qū)
北京市通州區(qū)、上海市金山區(qū)、濰坊市高密市、榆林市橫山區(qū)、黔南貴定縣、遵義市鳳岡縣、許昌市襄城縣、南充市閬中市、三明市永安市、運(yùn)城市垣曲縣
臨夏康樂縣、常德市安鄉(xiāng)縣、郴州市安仁縣、黔南荔波縣、吉安市萬安縣
內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、鶴崗市向陽區(qū)、瀘州市瀘縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、安慶市桐城市、梅州市梅縣區(qū)、綿陽市安州區(qū)、遼陽市遼陽縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、肇慶市端州區(qū)
隴南市康縣、巴中市通江縣、通化市集安市、北京市昌平區(qū)、衢州市龍游縣、遼源市東遼縣、忻州市河曲縣、東莞市萬江街道
寧夏吳忠市同心縣、宜賓市江安縣、襄陽市襄城區(qū)、商洛市商南縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、宜昌市興山縣
恩施州咸豐縣、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、畢節(jié)市金沙縣、商洛市丹鳳縣
定安縣雷鳴鎮(zhèn)、安康市鎮(zhèn)坪縣、東方市八所鎮(zhèn)、海北祁連縣、昭通市大關(guān)縣、巴中市恩陽區(qū)、阜新市太平區(qū)、白銀市白銀區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽縣、重慶市涪陵區(qū)
文山西疇縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、慶陽市合水縣、萬寧市和樂鎮(zhèn)、廈門市湖里區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、無錫市梁溪區(qū)
哈爾濱市依蘭縣、樂山市峨眉山市、揭陽市揭西縣、呂梁市孝義市、晉城市城區(qū)
內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、通化市梅河口市、揭陽市揭西縣、金華市浦江縣、麗江市玉龍納西族自治縣、牡丹江市穆棱市、畢節(jié)市大方縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、濱州市陽信縣、長治市屯留區(qū)
中山市阜沙鎮(zhèn)、遂寧市船山區(qū)、東莞市東城街道、甘孜德格縣、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、湘潭市湘潭縣
中山市大涌鎮(zhèn)、萬寧市北大鎮(zhèn)、廣西河池市都安瑤族自治縣、廣西崇左市大新縣、鐵嶺市鐵嶺縣、連云港市灌南縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、忻州市寧武縣、隴南市宕昌縣、紅河蒙自市
白城市鎮(zhèn)賚縣、馬鞍山市含山縣、楚雄元謀縣、長治市上黨區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、洛陽市欒川縣、焦作市解放區(qū)、聊城市茌平區(qū)、南平市政和縣
儋州市蘭洋鎮(zhèn)、玉樹雜多縣、襄陽市樊城區(qū)、海西蒙古族茫崖市、益陽市南縣、銅川市印臺(tái)區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、黔東南丹寨縣、無錫市江陰市、南通市海門區(qū)
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寧夏中衛(wèi)市海原縣、東方市感城鎮(zhèn)、昆明市晉寧區(qū)、黔東南岑鞏縣、天津市濱海新區(qū)、珠海市金灣區(qū)、上海市崇明區(qū)
資陽市樂至縣、忻州市代縣、德州市陵城區(qū)、綿陽市涪城區(qū)、阜新市太平區(qū)、安陽市龍安區(qū)
白山市臨江市、鞍山市鐵東區(qū)、德陽市廣漢市、普洱市西盟佤族自治縣、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、海南興?？h、漯河市臨潁縣、平?jīng)鍪星f浪縣、德州市平原縣
連云港市贛榆區(qū)、河源市連平縣、伊春市大箐山縣、成都市簡陽市、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、晉城市陵川縣、開封市順河回族區(qū)、沈陽市沈河區(qū)、平頂山市寶豐縣
中山市大涌鎮(zhèn)、贛州市信豐縣、開封市杞縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、天津市武清區(qū)、瀘州市瀘縣、西安市閻良區(qū)
天津市紅橋區(qū)、廣西北海市鐵山港區(qū)、昭通市綏江縣、晉中市榆次區(qū)、隨州市廣水市
廣西河池市鳳山縣、廣西玉林市興業(yè)縣、曲靖市富源縣、運(yùn)城市萬榮縣、甘孜九龍縣
紅河蒙自市、廣西賀州市富川瑤族自治縣、汕頭市潮陽區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、黃岡市羅田縣、洛陽市宜陽縣、三沙市南沙區(qū)、揚(yáng)州市邗江區(qū)、馬鞍山市花山區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)
宿遷市沭陽縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、廣安市武勝縣、咸寧市赤壁市、蘇州市吳中區(qū)、陽泉市郊區(qū)
臺(tái)州市玉環(huán)市、廣西桂林市疊彩區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、溫州市蒼南縣、紹興市嵊州市
定安縣雷鳴鎮(zhèn)、甘南碌曲縣、重慶市秀山縣、泉州市德化縣、天水市清水縣、臨汾市翼城縣、松原市寧江區(qū)、廣西南寧市上林縣
鄂州市鄂城區(qū)、濱州市惠民縣、泰州市海陵區(qū)、松原市長嶺縣、重慶市石柱土家族自治縣、眉山市彭山區(qū)、北京市懷柔區(qū)
梅州市蕉嶺縣、白山市渾江區(qū)、上海市虹口區(qū)、棗莊市嶧城區(qū)、眉山市青神縣、直轄縣潛江市
德州市德城區(qū)、寧德市壽寧縣、佛山市三水區(qū)、長沙市天心區(qū)、濮陽市濮陽縣
廣元市昭化區(qū)、東莞市清溪鎮(zhèn)、銅仁市沿河土家族自治縣、臨沂市沂水縣、寧德市柘榮縣、寧波市北侖區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)
濟(jì)寧市任城區(qū)、蘭州市永登縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、陽江市陽西縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、瓊海市大路鎮(zhèn)、廣西桂林市秀峰區(qū)、開封市尉氏縣
澄邁縣文儒鎮(zhèn)、東莞市高埗鎮(zhèn)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、三明市明溪縣、上饒市玉山縣、嘉興市秀洲區(qū)、邵陽市新邵縣、新余市分宜縣、齊齊哈爾市泰來縣
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南陽市淅川縣、黔南都勻市、鶴崗市興安區(qū)、邵陽市雙清區(qū)、涼山甘洛縣、樂山市井研縣、吉安市吉水縣、長沙市天心區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市
株洲市蘆淞區(qū)、黔西南安龍縣、南陽市新野縣、常德市石門縣、南陽市宛城區(qū)、保亭黎族苗族自治縣什玲、新鄉(xiāng)市輝縣市、惠州市惠東縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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