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臨滄市鳳慶縣、張家界市慈利縣、上饒市廣信區(qū)、云浮市新興縣、永州市寧遠(yuǎn)縣
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東莞市麻涌鎮(zhèn)、懷化市新晃侗族自治縣、衢州市常山縣、汕頭市金平區(qū)、?？谑协偵絽^(qū)、延安市黃龍縣
濟(jì)南市槐蔭區(qū)、泉州市德化縣、玉樹玉樹市、許昌市禹州市、安康市寧陜縣、云浮市新興縣
中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、通化市柳河縣、黃山市歙縣、晉中市壽陽縣、昆明市東川區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、阜新市細(xì)河區(qū)
濟(jì)寧市任城區(qū)、涼山鹽源縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、中山市民眾鎮(zhèn)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、江門市新會區(qū)、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)
駐馬店市泌陽縣、福州市倉山區(qū)、衢州市江山市、濟(jì)南市平陰縣、阜新市新邱區(qū)
常州市金壇區(qū)、南充市儀隴縣、阜陽市潁上縣、新鄉(xiāng)市原陽縣、東莞市長安鎮(zhèn)、遵義市仁懷市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣
黃山市祁門縣、南陽市淅川縣、安陽市湯陰縣、德陽市什邡市、揭陽市揭東區(qū)、東營市東營區(qū)、荊門市掇刀區(qū)
合肥市蜀山區(qū)、隴南市兩當(dāng)縣、臨汾市洪洞縣、撫順市順城區(qū)、開封市鼓樓區(qū)、海北祁連縣、哈爾濱市香坊區(qū)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、衡陽市衡東縣
晉中市昔陽縣、贛州市于都縣、成都市崇州市、廣西百色市右江區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、忻州市保德縣、東營市東營區(qū)、長沙市天心區(qū)
臨汾市永和縣、煙臺市萊陽市、上饒市橫峰縣、青島市市北區(qū)、信陽市商城縣、紹興市上虞區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、南昌市南昌縣
上海市靜安區(qū)、紅河個舊市、漳州市云霄縣、七臺河市茄子河區(qū)、廣西北海市合浦縣、直轄縣天門市、深圳市南山區(qū)、漳州市龍海區(qū)
南陽市新野縣、上饒市玉山縣、榆林市定邊縣、廣西南寧市興寧區(qū)、廣西來賓市武宣縣、張家界市慈利縣
廣西河池市大化瑤族自治縣、宿州市埇橋區(qū)、汕頭市潮陽區(qū)、自貢市沿灘區(qū)、三亞市吉陽區(qū)、佳木斯市樺南縣、畢節(jié)市金沙縣
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郴州市臨武縣、武威市天祝藏族自治縣、信陽市新縣、深圳市福田區(qū)、佳木斯市樺川縣、大同市云岡區(qū)、寧德市福鼎市
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懷化市通道侗族自治縣、運(yùn)城市夏縣、安陽市湯陰縣、廣西桂林市疊彩區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、四平市梨樹縣、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、昆明市五華區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣
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廣西防城港市上思縣、忻州市繁峙縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、岳陽市君山區(qū)、大同市云州區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、惠州市惠東縣
韶關(guān)市仁化縣、贛州市贛縣區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、商丘市睢陽區(qū)、七臺河市勃利縣、煙臺市萊山區(qū)
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常德市石門縣、孝感市云夢縣、運(yùn)城市夏縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、白城市通榆縣、黃山市歙縣
佳木斯市樺南縣、南京市棲霞區(qū)、贛州市信豐縣、南京市建鄴區(qū)、淮南市鳳臺縣
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朔州市平魯區(qū)、郴州市永興縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、西安市未央?yún)^(qū)、咸寧市咸安區(qū)、曲靖市羅平縣、咸陽市永壽縣
臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、延邊龍井市、哈爾濱市阿城區(qū)
文昌市文城鎮(zhèn)、臨汾市翼城縣、濟(jì)南市章丘區(qū)、宜賓市屏山縣、東方市江邊鄉(xiāng)、洛陽市伊川縣、臨沂市沂南縣、瓊海市中原鎮(zhèn)
益陽市桃江縣、保山市龍陵縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、定西市漳縣、寧夏固原市隆德縣、株洲市醴陵市、東莞市石龍鎮(zhèn)、丹東市鳳城市、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)
德州市禹城市、杭州市拱墅區(qū)、永州市雙牌縣、延安市洛川縣、張掖市臨澤縣、銅仁市德江縣、大同市天鎮(zhèn)縣、上饒市德興市、廣西桂林市疊彩區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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