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晉城市陵川縣、保山市龍陵縣、太原市杏花嶺區(qū)、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)
天津市靜海區(qū)、周口市項城市、沈陽市皇姑區(qū)、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、郴州市安仁縣、廣安市武勝縣、文昌市龍樓鎮(zhèn)
開封市祥符區(qū)、佳木斯市撫遠市、汕頭市濠江區(qū)、鹽城市亭湖區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、澄邁縣福山鎮(zhèn)、煙臺市萊山區(qū)、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、鐵嶺市銀州區(qū)
三門峽市澠池縣、金華市金東區(qū)、眉山市仁壽縣、杭州市拱墅區(qū)、麗水市慶元縣、自貢市沿灘區(qū)、黃岡市紅安縣、渭南市華陰市、鶴壁市鶴山區(qū)、益陽市安化縣
珠海市斗門區(qū)、忻州市神池縣、南平市浦城縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、重慶市南岸區(qū)
銅陵市銅官區(qū)、宜昌市當陽市、麗水市青田縣、六盤水市鐘山區(qū)、鄭州市滎陽市
洛陽市老城區(qū)、黃岡市浠水縣、泰安市新泰市、廣西南寧市賓陽縣、滁州市鳳陽縣、開封市祥符區(qū)、遼源市東豐縣、潮州市饒平縣、盤錦市大洼區(qū)
北京市西城區(qū)、安慶市大觀區(qū)、呂梁市臨縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、上海市靜安區(qū)、涼山昭覺縣、曲靖市富源縣、宜春市奉新縣
太原市晉源區(qū)、樂山市五通橋區(qū)、合肥市巢湖市、商洛市商州區(qū)、韶關(guān)市武江區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、池州市青陽縣、雙鴨山市集賢縣、泰州市高港區(qū)
貴陽市開陽縣、焦作市馬村區(qū)、恩施州建始縣、晉中市和順縣、韶關(guān)市曲江區(qū)
榆林市綏德縣、運城市萬榮縣、合肥市肥西縣、沈陽市和平區(qū)、青島市黃島區(qū)、三亞市吉陽區(qū)
重慶市黔江區(qū)、常德市武陵區(qū)、南陽市宛城區(qū)、黃岡市浠水縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、安順市平壩區(qū)、天津市西青區(qū)、泰州市泰興市、濰坊市高密市、洛陽市西工區(qū)
忻州市保德縣、上饒市玉山縣、安慶市宿松縣、福州市羅源縣、濟源市市轄區(qū)、朝陽市龍城區(qū)、北京市豐臺區(qū)、大慶市大同區(qū)、江門市新會區(qū)
黔東南黃平縣、九江市都昌縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、重慶市城口縣、三沙市西沙區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、陽泉市平定縣、定安縣新竹鎮(zhèn)
白山市渾江區(qū)、文山麻栗坡縣、蕪湖市南陵縣、成都市錦江區(qū)、襄陽市襄州區(qū)
晉城市沁水縣、聊城市茌平區(qū)、福州市馬尾區(qū)、合肥市包河區(qū)、廣州市花都區(qū)、安陽市北關(guān)區(qū)、江門市江海區(qū)、黃石市陽新縣
淮南市大通區(qū)、大慶市紅崗區(qū)、邵陽市綏寧縣、鎮(zhèn)江市丹陽市、洛陽市洛寧縣、呂梁市交城縣、威海市乳山市
泉州市南安市、臨沂市沂南縣、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、濰坊市濰城區(qū)、成都市大邑縣、黔西南晴隆縣、廣西河池市金城江區(qū)、上海市嘉定區(qū)
婁底市冷水江市、晉城市澤州縣、宜賓市敘州區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、涼山越西縣、廣安市華鎣市、廣州市花都區(qū)
上海市青浦區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、平頂山市郟縣、朝陽市龍城區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、銅陵市銅官區(qū)、丹東市元寶區(qū)、牡丹江市東安區(qū)
涼山雷波縣、上饒市萬年縣、清遠市連州市、撫州市黎川縣、益陽市安化縣、楚雄楚雄市、商丘市虞城縣、盤錦市大洼區(qū)
齊齊哈爾市碾子山區(qū)、福州市閩清縣、寧波市北侖區(qū)、煙臺市福山區(qū)、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣
大同市新榮區(qū)、海北剛察縣、佳木斯市樺川縣、臨沂市莒南縣、淮北市杜集區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
揚州市邗江區(qū)、廣西百色市田陽區(qū)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、宜昌市興山縣、蘇州市吳江區(qū)、延安市甘泉縣、葫蘆島市綏中縣、天津市薊州區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗
儋州市雅星鎮(zhèn)、廣西南寧市江南區(qū)、遂寧市船山區(qū)、漳州市東山縣、廣西賀州市鐘山縣
三明市大田縣、漢中市洋縣、溫州市平陽縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、海南貴南縣、荊州市公安縣、綿陽市梓潼縣、朔州市平魯區(qū)
廣西來賓市忻城縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、重慶市萬州區(qū)、甘南迭部縣、紹興市上虞區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、廣西百色市右江區(qū)
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黔南甕安縣、甘孜丹巴縣、三亞市海棠區(qū)、長春市二道區(qū)、安康市漢濱區(qū)、婁底市雙峰縣、廣西柳州市柳南區(qū)
濮陽市范縣、重慶市渝中區(qū)、黃石市西塞山區(qū)、廣西貴港市覃塘區(qū)、揚州市邗江區(qū)
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益陽市桃江縣、南平市政和縣、西安市閻良區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、錦州市黑山縣、洛陽市澗西區(qū)、阜新市彰武縣、濟寧市鄒城市
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內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、牡丹江市海林市、涼山會東縣、?？谑旋埲A區(qū)、湘西州古丈縣、中山市南朗鎮(zhèn)、伊春市豐林縣、郴州市蘇仙區(qū)、保山市龍陵縣
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深圳半導體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導體新秀，成為2025中國國際半導體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學氣相沉積是半導體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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