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銅仁市碧江區(qū)、玉溪市易門縣、廣西百色市德?？h、德州市禹城市、平頂山市葉縣、溫州市鹿城區(qū)、蘇州市昆山市、七臺(tái)河市桃山區(qū)
呂梁市交城縣、汕頭市南澳縣、玉溪市華寧縣、海北海晏縣、咸寧市通山縣
萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、西寧市大通回族土族自治縣、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、遵義市桐梓縣、玉溪市峨山彝族自治縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、麗江市古城區(qū)、平?jīng)鍪徐o寧縣
丹東市元寶區(qū)、寧波市象山縣、德宏傣族景頗族自治州芒市、昭通市威信縣、甘孜色達(dá)縣、漢中市城固縣、金華市磐安縣、焦作市武陟縣
忻州市保德縣、上饒市玉山縣、安慶市宿松縣、福州市羅源縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、大慶市大同區(qū)、江門市新會(huì)區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、海東市民和回族土族自治縣、開(kāi)封市鼓樓區(qū)、合肥市巢湖市、廈門市同安區(qū)
廣西南寧市興寧區(qū)、北京市石景山區(qū)、平?jīng)鍪袥艽h、牡丹江市愛(ài)民區(qū)、陽(yáng)泉市礦區(qū)、杭州市濱江區(qū)
永州市新田縣、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、平頂山市魯山縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣、儋州市新州鎮(zhèn)、淄博市臨淄區(qū)、內(nèi)江市東興區(qū)
衡陽(yáng)市祁東縣、天津市靜海區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、云浮市云安區(qū)、延邊圖們市、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、晉中市壽陽(yáng)縣
銅仁市石阡縣、南京市浦口區(qū)、聊城市冠縣、吉安市遂川縣、贛州市大余縣
寧夏固原市原州區(qū)、鄭州市登封市、鞍山市鐵東區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、蚌埠市龍子湖區(qū)、綏化市安達(dá)市、濟(jì)寧市曲阜市
佳木斯市樺南縣、龍巖市長(zhǎng)汀縣、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、文山廣南縣、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、營(yíng)口市西市區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗
臨汾市永和縣、甘孜石渠縣、上海市松江區(qū)、濱州市無(wú)棣縣、甘南合作市、撫州市金溪縣
三亞市崖州區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、廣西南寧市良慶區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、天津市河西區(qū)
定西市渭源縣、咸寧市咸安區(qū)、昆明市尋甸回族彝族自治縣、眉山市彭山區(qū)、懷化市鶴城區(qū)
宣城市郎溪縣、六安市舒城縣、海南貴南縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、威海市榮成市、中山市南頭鎮(zhèn)、寶雞市眉縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、廣西玉林市博白縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、楚雄大姚縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、葫蘆島市連山區(qū)、駐馬店市平輿縣、黔南都勻市、丹東市鳳城市
黃岡市浠水縣、徐州市鼓樓區(qū)、清遠(yuǎn)市清城區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、大同市平城區(qū)、云浮市羅定市、衡陽(yáng)市常寧市、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、九江市德安縣
大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、遵義市播州區(qū)、開(kāi)封市尉氏縣、樂(lè)東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、安慶市懷寧縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、廣元市蒼溪縣、宿州市碭山縣
廣西河池市宜州區(qū)、東莞市東城街道、綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、東莞市常平鎮(zhèn)、楚雄雙柏縣
黃岡市黃梅縣、安康市石泉縣、廣西南寧市江南區(qū)、安陽(yáng)市林州市、莆田市仙游縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、上饒市鉛山縣、廣西賀州市昭平縣
廣州市黃埔區(qū)、恩施州巴東縣、咸寧市通山縣、渭南市澄城縣、漳州市龍文區(qū)、常德市石門縣
東方市三家鎮(zhèn)、衢州市龍游縣、張家界市武陵源區(qū)、玉樹(shù)雜多縣、洛陽(yáng)市澗西區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、甘南迭部縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、昆明市石林彝族自治縣
大連市瓦房店市、咸陽(yáng)市淳化縣、廣西來(lái)賓市武宣縣、聊城市莘縣、駐馬店市遂平縣、天津市河?xùn)|區(qū)、菏澤市牡丹區(qū)、長(zhǎng)治市襄垣縣
潮州市潮安區(qū)、泰州市興化市、大同市天鎮(zhèn)縣、隴南市宕昌縣、運(yùn)城市芮城縣、畢節(jié)市黔西市
泉州市洛江區(qū)、臨汾市古縣、黃南尖扎縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗
成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市、哈爾濱市香坊區(qū)、湘西州花垣縣、鄭州市中原區(qū)、阜新市清河門區(qū)、貴陽(yáng)市息烽縣、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、長(zhǎng)春市德惠市、錦州市北鎮(zhèn)市、昆明市呈貢區(qū)
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遵義市桐梓縣、東方市天安鄉(xiāng)、臺(tái)州市路橋區(qū)、聊城市冠縣、廣西南寧市江南區(qū)、玉溪市易門縣、煙臺(tái)市萊山區(qū)、忻州市靜樂(lè)縣、甘孜白玉縣、商丘市睢陽(yáng)區(qū)
廣西桂林市秀峰區(qū)、玉溪市易門縣、馬鞍山市和縣、雅安市天全縣、濱州市鄒平市
安慶市太湖縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、哈爾濱市依蘭縣、運(yùn)城市夏縣、宿遷市沭陽(yáng)縣
麗水市景寧畬族自治縣、廣西百色市那坡縣、杭州市下城區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、成都市金牛區(qū)、六安市霍山縣、福州市永泰縣、棗莊市山亭區(qū)、佛山市禪城區(qū)、新余市分宜縣
內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、廣州市海珠區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、贛州市贛縣區(qū)
廣安市鄰水縣、黔東南雷山縣、重慶市石柱土家族自治縣、晉中市靈石縣、綿陽(yáng)市平武縣、臨沂市羅莊區(qū)、駐馬店市確山縣
成都市郫都區(qū)、益陽(yáng)市沅江市、安慶市岳西縣、六安市舒城縣、定安縣定城鎮(zhèn)、武威市天祝藏族自治縣、鶴壁市淇縣、伊春市南岔縣、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)
資陽(yáng)市安岳縣、廣西防城港市港口區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、洛陽(yáng)市西工區(qū)、惠州市惠東縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、吉安市吉水縣
荊門市東寶區(qū)、海西蒙古族德令哈市、洛陽(yáng)市伊川縣、安康市漢陰縣、哈爾濱市道里區(qū)、大慶市讓胡路區(qū)、上饒市弋陽(yáng)縣、廣西南寧市武鳴區(qū)
信陽(yáng)市潢川縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、黔東南從江縣、泉州市金門縣、郴州市蘇仙區(qū)、黑河市遜克縣、佛山市高明區(qū)、黃岡市黃梅縣
文山丘北縣、廣西柳州市柳江區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、海西蒙古族天峻縣、荊州市監(jiān)利市、廣西北海市銀海區(qū)、荊州市石首市
寶雞市鳳翔區(qū)、吉林市樺甸市、深圳市南山區(qū)、重慶市巴南區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣、駐馬店市驛城區(qū)、平頂山市郟縣、鶴壁市淇縣、東莞市萬(wàn)江街道
三明市永安市、珠海市斗門區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、遼源市東遼縣、商洛市柞水縣、六盤水市鐘山區(qū)、泰州市泰興市、北京市通州區(qū)
合肥市包河區(qū)、雅安市漢源縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、衡陽(yáng)市常寧市、茂名市化州市
晉中市昔陽(yáng)縣、自貢市榮縣、中山市小欖鎮(zhèn)、忻州市代縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、河源市源城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)
鐵嶺市昌圖縣、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、鶴崗市南山區(qū)、寧夏固原市隆德縣、迪慶維西傈僳族自治縣、漢中市留壩縣
定安縣龍湖鎮(zhèn)、寧德市霞浦縣、濰坊市坊子區(qū)、牡丹江市東安區(qū)、廣西柳州市柳北區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、三明市沙縣區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、昆明市西山區(qū)
延安市吳起縣、株洲市攸縣、紅河石屏縣、六安市霍邱縣、韶關(guān)市新豐縣、益陽(yáng)市安化縣、商丘市寧陵縣
汕尾市陸豐市、廣西來(lái)賓市忻城縣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、咸陽(yáng)市秦都區(qū)、連云港市灌南縣、寧波市慈溪市
洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、阜新市細(xì)河區(qū)、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、銅川市王益區(qū)、益陽(yáng)市沅江市、曲靖市陸良縣、淮南市八公山區(qū)
晉城市陽(yáng)城縣、鶴崗市興安區(qū)、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、新鄉(xiāng)市延津縣、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、德州市禹城市、中山市小欖鎮(zhèn)、紹興市上虞區(qū)、大慶市大同區(qū)、淮南市田家庵區(qū)
廣安市岳池縣、三門峽市湖濱區(qū)、六安市霍山縣、恩施州咸豐縣、達(dá)州市開(kāi)江縣
昆明市嵩明縣、朝陽(yáng)市北票市、蘇州市張家港市、杭州市拱墅區(qū)、南陽(yáng)市西峽縣、重慶市城口縣
哈爾濱市道里區(qū)、酒泉市玉門市、東莞市茶山鎮(zhèn)、齊齊哈爾市甘南縣、臨沂市蘭陵縣、開(kāi)封市鼓樓區(qū)
甘孜雅江縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、安康市石泉縣、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、淮北市烈山區(qū)、懷化市沅陵縣、果洛瑪多縣
珠海市斗門區(qū)、忻州市神池縣、南平市浦城縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、重慶市南岸區(qū)
廣西來(lái)賓市忻城縣、文山富寧縣、武威市古浪縣、云浮市云城區(qū)、雞西市雞冠區(qū)、鄂州市華容區(qū)、宜昌市宜都市、延安市延長(zhǎng)縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、駐馬店市泌陽(yáng)縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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