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廣元市青川縣、甘南夏河縣、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、張家界市桑植縣、宜春市袁州區(qū)、焦作市溫縣、廣州市越秀區(qū)
綏化市肇東市、威海市榮成市、營(yíng)口市老邊區(qū)、洛陽(yáng)市孟津區(qū)、廣西桂林市資源縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、鐵嶺市開(kāi)原市
上海市浦東新區(qū)、九江市湖口縣、文昌市重興鎮(zhèn)、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、宿州市蕭縣
泰安市新泰市、通化市輝南縣、渭南市蒲城縣、洛陽(yáng)市澗西區(qū)、重慶市梁平區(qū)、湖州市吳興區(qū)、自貢市榮縣、湛江市霞山區(qū)
寶雞市隴縣、陽(yáng)泉市平定縣、沈陽(yáng)市于洪區(qū)、安慶市懷寧縣、本溪市明山區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、安慶市宜秀區(qū)
新鄉(xiāng)市延津縣、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、儋州市王五鎮(zhèn)、成都市溫江區(qū)、楚雄楚雄市、宜昌市五峰土家族自治縣、廣西崇左市天等縣
長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣、隴南市禮縣、廣西桂林市平樂(lè)縣、渭南市臨渭區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、黔東南岑鞏縣
哈爾濱市松北區(qū)、平?jīng)鍪腥A亭縣、湖州市南潯區(qū)、徐州市新沂市、湘西州吉首市、宣城市宣州區(qū)
南平市邵武市、淄博市臨淄區(qū)、駐馬店市正陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、保山市龍陵縣
泰安市岱岳區(qū)、三門(mén)峽市靈寶市、丹東市振興區(qū)、海西蒙古族天峻縣、渭南市潼關(guān)縣
綏化市肇東市、白山市撫松縣、東莞市東坑鎮(zhèn)、湘西州古丈縣、聊城市陽(yáng)谷縣、廣西河池市巴馬瑤族自治縣
海西蒙古族茫崖市、成都市金堂縣、黃岡市羅田縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、西安市周至縣、昆明市富民縣
長(zhǎng)春市二道區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、洛陽(yáng)市孟津區(qū)、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、盤(pán)錦市盤(pán)山縣
貴陽(yáng)市息烽縣、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、泉州市洛江區(qū)、臨汾市隰縣、哈爾濱市南崗區(qū)、朔州市平魯區(qū)、湛江市赤坎區(qū)
廣西桂林市秀峰區(qū)、天津市東麗區(qū)、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、武漢市硚口區(qū)、宿遷市泗洪縣、邵陽(yáng)市武岡市、駐馬店市驛城區(qū)、延邊敦化市
煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、開(kāi)封市通許縣、重慶市豐都縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣
寧波市江北區(qū)、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、茂名市化州市、大慶市肇州縣、海南共和縣
廣安市前鋒區(qū)、儋州市東成鎮(zhèn)、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、福州市閩侯縣、廣西崇左市憑祥市
安康市寧陜縣、長(zhǎng)治市沁源縣、東莞市清溪鎮(zhèn)、北京市朝陽(yáng)區(qū)、黃石市黃石港區(qū)
七臺(tái)河市茄子河區(qū)、廣西崇左市天等縣、廣西柳州市柳北區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、中山市東區(qū)街道、北京市大興區(qū)、齊齊哈爾市訥河市、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)
汕頭市南澳縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、黔西南興仁市、九江市湖口縣、馬鞍山市當(dāng)涂縣、文昌市潭牛鎮(zhèn)、金華市金東區(qū)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、上海市楊浦區(qū)、廣西崇左市寧明縣
永州市江華瑤族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、吉安市新干縣、涼山布拖縣
鷹潭市余江區(qū)、廣西百色市田東縣、株洲市荷塘區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、黃石市下陸區(qū)、上海市靜安區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)、昆明市安寧市、廣西桂林市資源縣、蘭州市七里河區(qū)
南通市海安市、儋州市新州鎮(zhèn)、九江市彭澤縣、青島市黃島區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)
武漢市新洲區(qū)、泰安市東平縣、南昌市西湖區(qū)、莆田市仙游縣、宣城市廣德市、南京市溧水區(qū)、六安市霍邱縣、儋州市大成鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣
廣西南寧市賓陽(yáng)縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、吉安市峽江縣、菏澤市東明縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)
鄂州市鄂城區(qū)、濱州市惠民縣、泰州市海陵區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、重慶市石柱土家族自治縣、眉山市彭山區(qū)、北京市懷柔區(qū)
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銅川市宜君縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、呂梁市交口縣、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、六安市金寨縣、阜陽(yáng)市太和縣、菏澤市鄄城縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、吉安市廬陵新區(qū)、廣西防城港市港口區(qū)、文山麻栗坡縣、成都市金堂縣
咸陽(yáng)市秦都區(qū)、武漢市江岸區(qū)、成都市彭州市、贛州市石城縣、眉山市洪雅縣、黔東南施秉縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗
鄭州市鞏義市、寧夏吳忠市同心縣、臨汾市汾西縣、成都市錦江區(qū)、撫順市東洲區(qū)、青島市平度市、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)
荊州市石首市、遵義市赤水市、汕尾市陸河縣、晉中市介休市、眉山市彭山區(qū)
廣西梧州市藤縣、延邊和龍市、寧夏石嘴山市平羅縣、廣州市黃埔區(qū)、亳州市蒙城縣、恩施州巴東縣
南京市溧水區(qū)、天水市秦安縣、雙鴨山市寶山區(qū)、酒泉市瓜州縣、安康市寧陜縣、青島市市北區(qū)、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、樂(lè)山市峨眉山市、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、舟山市普陀區(qū)
屯昌縣西昌鎮(zhèn)、甘孜白玉縣、巴中市通江縣、太原市婁煩縣、泉州市安溪縣
廣西玉林市博白縣、定西市隴西縣、運(yùn)城市永濟(jì)市、北京市平谷區(qū)、濟(jì)南市鋼城區(qū)、淄博市桓臺(tái)縣
巴中市巴州區(qū)、榆林市神木市、中山市東鳳鎮(zhèn)、楚雄祿豐市、長(zhǎng)治市黎城縣、臺(tái)州市溫嶺市、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、武漢市青山區(qū)、銅川市宜君縣
呂梁市孝義市、廣西南寧市良慶區(qū)、黔東南麻江縣、渭南市澄城縣、文昌市文教鎮(zhèn)、黔南貴定縣、寧夏固原市西吉縣
文山馬關(guān)縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、南京市鼓樓區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、安康市漢濱區(qū)、銅仁市江口縣、甘南迭部縣、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、懷化市通道侗族自治縣、宿州市蕭縣
商洛市鎮(zhèn)安縣、呂梁市方山縣、上海市浦東新區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)、韶關(guān)市仁化縣
南京市玄武區(qū)、達(dá)州市渠縣、滁州市明光市、云浮市云安區(qū)、晉中市介休市
南昌市新建區(qū)、榆林市佳縣、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、益陽(yáng)市安化縣、黔東南榕江縣
湖州市南潯區(qū)、東莞市南城街道、盤(pán)錦市盤(pán)山縣、臨汾市霍州市、武威市民勤縣、廣州市越秀區(qū)、銅仁市玉屏侗族自治縣
駐馬店市確山縣、三沙市西沙區(qū)、茂名市茂南區(qū)、綏化市綏棱縣、河源市源城區(qū)
重慶市大渡口區(qū)、株洲市炎陵縣、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、瓊海市中原鎮(zhèn)、棗莊市滕州市、廣西玉林市北流市、濟(jì)寧市梁山縣、安慶市太湖縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、杭州市濱江區(qū)
邵陽(yáng)市新寧縣、安慶市懷寧縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、九江市湖口縣、連云港市贛榆區(qū)、寶雞市眉縣
臨汾市洪洞縣、孝感市孝昌縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、周口市鄲城縣、四平市伊通滿族自治縣
北京市門(mén)頭溝區(qū)、紅河個(gè)舊市、陽(yáng)江市江城區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、盤(pán)錦市大洼區(qū)、上饒市鄱陽(yáng)縣、天水市武山縣、西安市未央?yún)^(qū)
常州市武進(jìn)區(qū)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、寧夏石嘴山市平羅縣、海東市化隆回族自治縣、佳木斯市樺南縣、綿陽(yáng)市江油市
攀枝花市仁和區(qū)、商丘市永城市、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、天水市麥積區(qū)、淮安市漣水縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、運(yùn)城市垣曲縣、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)
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綏化市望奎縣、武漢市新洲區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、泰安市泰山區(qū)、南平市松溪縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、麗江市永勝縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市
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臨沂市羅莊區(qū)、宿州市泗縣、南京市江寧區(qū)、自貢市富順縣、齊齊哈爾市甘南縣、葫蘆島市連山區(qū)、滁州市明光市
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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