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廣西桂林市秀峰區(qū)、天津市東麗區(qū)、長治市上黨區(qū)、武漢市硚口區(qū)、宿遷市泗洪縣、邵陽市武岡市、駐馬店市驛城區(qū)、延邊敦化市
九江市瑞昌市、雅安市漢源縣、鄭州市二七區(qū)、棗莊市滕州市、天津市南開區(qū)、福州市福清市、自貢市自流井區(qū)、達州市通川區(qū)
常德市石門縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、哈爾濱市南崗區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、眉山市彭山區(qū)、郴州市資興市、涼山雷波縣、東營市河口區(qū)
宿遷市沭陽縣、廣西梧州市長洲區(qū)、涼山昭覺縣、天津市濱海新區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、滁州市鳳陽縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、洛陽市宜陽縣、寧夏吳忠市青銅峽市
咸寧市崇陽縣、泰安市岱岳區(qū)、廣安市鄰水縣、大同市平城區(qū)、濱州市沾化區(qū)、黔西南普安縣、佳木斯市湯原縣、自貢市沿灘區(qū)
晉中市太谷區(qū)、南京市建鄴區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、黃石市下陸區(qū)、馬鞍山市博望區(qū)、瀘州市江陽區(qū)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、慶陽市慶城縣
延安市延川縣、上饒市弋陽縣、楚雄大姚縣、中山市橫欄鎮(zhèn)、成都市武侯區(qū)、六安市金寨縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、渭南市華州區(qū)
株洲市醴陵市、廣西百色市靖西市、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、平頂山市寶豐縣、新鄉(xiāng)市輝縣市、廣州市荔灣區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)
吉林市樺甸市、廣西防城港市上思縣、宿州市蕭縣、果洛甘德縣、北京市豐臺區(qū)、呂梁市興縣、揚州市廣陵區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、長治市沁縣
沈陽市蘇家屯區(qū)、聊城市東阿縣、宜春市袁州區(qū)、十堰市鄖陽區(qū)、忻州市神池縣、慶陽市慶城縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、伊春市豐林縣
汕頭市龍湖區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、東莞市企石鎮(zhèn)、銅陵市義安區(qū)、漯河市臨潁縣、東營市利津縣、紹興市嵊州市
九江市濂溪區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、蘇州市吳中區(qū)、運城市稷山縣、廈門市同安區(qū)、廣州市番禺區(qū)
吉安市遂川縣、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、成都市都江堰市、萬寧市后安鎮(zhèn)、南平市浦城縣、撫順市清原滿族自治縣、池州市石臺縣
金華市東陽市、濟南市章丘區(qū)、東莞市沙田鎮(zhèn)、上饒市萬年縣、白山市撫松縣、廣西崇左市江州區(qū)、武威市涼州區(qū)
東莞市東坑鎮(zhèn)、文昌市東郊鎮(zhèn)、宜賓市江安縣、鹽城市射陽縣、懷化市洪江市、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、咸寧市崇陽縣、臺州市椒江區(qū)
鄭州市鞏義市、寧夏吳忠市同心縣、臨汾市汾西縣、成都市錦江區(qū)、撫順市東洲區(qū)、青島市平度市、沈陽市沈北新區(qū)
德州市齊河縣、重慶市南川區(qū)、海南貴德縣、德州市慶云縣、珠海市斗門區(qū)、上海市浦東新區(qū)
惠州市惠陽區(qū)、福州市倉山區(qū)、西寧市城東區(qū)、六盤水市六枝特區(qū)、泉州市南安市、金華市東陽市、中山市大涌鎮(zhèn)、揭陽市普寧市、肇慶市端州區(qū)
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晉城市沁水縣、南昌市安義縣、青島市市北區(qū)、漯河市舞陽縣、北京市大興區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、撫州市臨川區(qū)
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青島市即墨區(qū)、?？谑行阌^(qū)、普洱市景東彝族自治縣、臺州市路橋區(qū)、忻州市繁峙縣、中山市五桂山街道、德州市夏津縣、開封市尉氏縣、哈爾濱市雙城區(qū)、臨沂市蒙陰縣
淮北市烈山區(qū)、洛陽市洛寧縣、南京市鼓樓區(qū)、安慶市懷寧縣、溫州市永嘉縣、上海市浦東新區(qū)
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深圳半導體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導體新秀，成為2025中國國際半導體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學氣相沉積是半導體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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