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張家界市永定區(qū)、韶關(guān)市湞江區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、五指山市毛陽、大理劍川縣、徐州市沛縣
懷化市溆浦縣、深圳市寶安區(qū)、株洲市石峰區(qū)、臨汾市吉縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、開封市通許縣、萬寧市龍滾鎮(zhèn)
樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市延津縣、甘孜色達(dá)縣、重慶市墊江縣、鹽城市亭湖區(qū)
惠州市惠東縣、宜賓市南溪區(qū)、鶴崗市南山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、松原市寧江區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、中山市南區(qū)街道、錦州市黑山縣
南充市高坪區(qū)、榆林市米脂縣、新鄉(xiāng)市原陽縣、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、榆林市神木市、忻州市定襄縣、許昌市禹州市、白銀市會寧縣、南京市建鄴區(qū)
十堰市鄖陽區(qū)、雙鴨山市嶺東區(qū)、九江市德安縣、焦作市孟州市、常德市漢壽縣
廣州市越秀區(qū)、開封市順河回族區(qū)、天津市津南區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、定安縣龍湖鎮(zhèn)、遂寧市大英縣、重慶市城口縣、文昌市重興鎮(zhèn)、吉林市永吉縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、大同市陽高縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、大理鶴慶縣、綿陽市梓潼縣、襄陽市老河口市、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、贛州市尋烏縣、黃石市大冶市、重慶市江津區(qū)
南陽市唐河縣、甘孜九龍縣、黃石市黃石港區(qū)、貴陽市南明區(qū)、長春市朝陽區(qū)、湖州市南潯區(qū)
成都市新津區(qū)、遼源市西安區(qū)、黔東南錦屏縣、威海市榮成市、伊春市友好區(qū)、咸陽市淳化縣、溫州市樂清市
連云港市海州區(qū)、大同市陽高縣、黔南平塘縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、孝感市安陸市
松原市扶余市、臨汾市汾西縣、金昌市金川區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)
張家界市武陵源區(qū)、淄博市淄川區(qū)、三明市建寧縣、中山市東鳳鎮(zhèn)、四平市雙遼市、揚(yáng)州市江都區(qū)、長春市農(nóng)安縣
遵義市余慶縣、廣西桂林市資源縣、玉溪市峨山彝族自治縣、宿州市埇橋區(qū)、江門市臺山市、揚(yáng)州市江都區(qū)、洛陽市洛龍區(qū)、天津市河北區(qū)
吉安市吉水縣、西安市未央?yún)^(qū)、哈爾濱市尚志市、南昌市東湖區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、濱州市濱城區(qū)、東方市感城鎮(zhèn)、巴中市恩陽區(qū)
蚌埠市蚌山區(qū)、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)、宿遷市沭陽縣、漯河市郾城區(qū)、馬鞍山市含山縣、果洛甘德縣、懷化市中方縣
銅川市耀州區(qū)、阜陽市潁州區(qū)、榆林市神木市、三門峽市澠池縣、許昌市魏都區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)
三明市將樂縣、洛陽市瀍河回族區(qū)、蘇州市虎丘區(qū)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、日照市五蓮縣、臨滄市臨翔區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、大慶市林甸縣
大理鶴慶縣、新鄉(xiāng)市延津縣、深圳市龍崗區(qū)、泰州市姜堰區(qū)、焦作市溫縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、麗江市永勝縣、長沙市瀏陽市
安康市寧陜縣、樂山市夾江縣、德州市德城區(qū)、肇慶市端州區(qū)、內(nèi)江市資中縣
福州市馬尾區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、佳木斯市向陽區(qū)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、汕頭市濠江區(qū)
西安市長安區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、安慶市大觀區(qū)、臨高縣和舍鎮(zhèn)、安慶市宿松縣、三沙市南沙區(qū)
揭陽市惠來縣、安陽市湯陰縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)、江門市新會區(qū)、七臺河市桃山區(qū)、北京市大興區(qū)、瀘州市合江縣、龍巖市漳平市、連云港市灌云縣、上饒市玉山縣
晉城市陵川縣、保山市龍陵縣、太原市杏花嶺區(qū)、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)
景德鎮(zhèn)市浮梁縣、咸寧市崇陽縣、鷹潭市月湖區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、岳陽市汨羅市
云浮市新興縣、金華市永康市、長治市襄垣縣、蚌埠市禹會區(qū)、安慶市宿松縣、普洱市墨江哈尼族自治縣、邵陽市洞口縣、廣西柳州市柳南區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、雅安市名山區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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