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綿陽市游仙區(qū)、臨汾市曲沃縣、鄭州市管城回族區(qū)、陽泉市郊區(qū)、內(nèi)江市東興區(qū)、??谑忻捞m區(qū)、天津市紅橋區(qū)、大慶市肇源縣
雅安市漢源縣、廣西北海市合浦縣、鞍山市立山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、昆明市尋甸回族彝族自治縣、荊門市京山市、廣西北海市海城區(qū)、臨汾市翼城縣、本溪市溪湖區(qū)
銅川市耀州區(qū)、黃南澤庫縣、武威市天祝藏族自治縣、廣西百色市田林縣、廣西貴港市港北區(qū)、長沙市長沙縣
伊春市南岔縣、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、大理永平縣、文昌市東路鎮(zhèn)、太原市清徐縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、淮安市漣水縣、南平市松溪縣、無錫市濱湖區(qū)
哈爾濱市道里區(qū)、淮安市盱眙縣、運(yùn)城市垣曲縣、雞西市滴道區(qū)、六安市裕安區(qū)、牡丹江市寧安市、保亭黎族苗族自治縣什玲
鶴崗市興安區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、麗江市華坪縣、益陽市南縣、隨州市曾都區(qū)
寧波市象山縣、哈爾濱市道里區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、廣西南寧市青秀區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、延安市子長市、濱州市沾化區(qū)
宜春市高安市、儋州市中和鎮(zhèn)、三明市將樂縣、東莞市東城街道、東莞市大朗鎮(zhèn)、株洲市荷塘區(qū)、廣西百色市那坡縣、通化市二道江區(qū)、齊齊哈爾市拜泉縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)
揭陽市普寧市、果洛達(dá)日縣、河源市紫金縣、遼源市西安區(qū)、金昌市永昌縣、廣西桂林市雁山區(qū)、直轄縣仙桃市、昆明市嵩明縣、曲靖市富源縣
運(yùn)城市河津市、煙臺市龍口市、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、梅州市豐順縣、大連市中山區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、長沙市望城區(qū)、濮陽市清豐縣、宿州市泗縣
本溪市桓仁滿族自治縣、揭陽市惠來縣、淮安市金湖縣、重慶市北碚區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、眉山市東坡區(qū)、新余市分宜縣、贛州市于都縣、隴南市文縣、揭陽市揭東區(qū)
長沙市寧鄉(xiāng)市、南充市南部縣、駐馬店市正陽縣、大慶市龍鳳區(qū)、忻州市定襄縣、青島市萊西市、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、邵陽市新寧縣
襄陽市襄城區(qū)、襄陽市老河口市、渭南市華陰市、文昌市會文鎮(zhèn)、牡丹江市綏芬河市、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)、重慶市銅梁區(qū)、玉樹治多縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、常德市武陵區(qū)
晉中市左權(quán)縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、周口市項城市、白城市通榆縣、南充市營山縣、菏澤市鄄城縣、涼山越西縣
成都市大邑縣、東莞市沙田鎮(zhèn)、西寧市城中區(qū)、宜賓市筠連縣、阜陽市潁泉區(qū)、通化市集安市、青島市市北區(qū)、淮北市相山區(qū)、重慶市潼南區(qū)
商丘市睢縣、株洲市荷塘區(qū)、鶴崗市綏濱縣、武漢市武昌區(qū)、紹興市越城區(qū)
遼陽市弓長嶺區(qū)、湛江市徐聞縣、吉安市吉州區(qū)、廣州市番禺區(qū)、南京市建鄴區(qū)、鄂州市鄂城區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、遼陽市太子河區(qū)、鶴壁市淇濱區(qū)
寧夏中衛(wèi)市海原縣、東方市感城鎮(zhèn)、昆明市晉寧區(qū)、黔東南岑鞏縣、天津市濱海新區(qū)、珠海市金灣區(qū)、上海市崇明區(qū)
淮安市淮安區(qū)、西雙版納景洪市、臨沂市沂水縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、白山市靖宇縣、濱州市無棣縣
濰坊市昌樂縣、廣州市黃埔區(qū)、綏化市海倫市、張掖市民樂縣、湛江市霞山區(qū)、張掖市山丹縣
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東營市利津縣、呂梁市汾陽市、蕪湖市無為市、濱州市沾化區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗
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寧夏銀川市興慶區(qū)、西雙版納勐??h、玉溪市澄江市、連云港市連云區(qū)、鄭州市管城回族區(qū)、內(nèi)江市東興區(qū)、長春市二道區(qū)、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、寧德市福鼎市
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀:發(fā)布多款設(shè)備,撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀,成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展(SEMICON China 2025)的焦點(diǎn)。
3月26日-27日,深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品,包括外延沉積設(shè)備EPI(峨眉山)、原子層沉積設(shè)備ALD(阿里山)、物理氣相沉積設(shè)備PVD(普陀山)、刻蝕設(shè)備ETCH(武夷山)、薄膜沉積設(shè)備CVD(長白山)。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面,首次參展便發(fā)布了多款新品,吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示,新凱來工業(yè)成立于2022年,其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年,兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股,而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝,直接影響芯片性能與可靠性;ALD針對原子級薄膜沉積,是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備;CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一,設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。

這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo),新凱來有意打破固有競爭格局。

國際市場上,EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷;ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo),市占率合計超60%;在PVD領(lǐng)域,AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱,新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制,技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷,在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn),可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布,已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā),并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域,通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’,貫穿集成電路生產(chǎn)全過程,對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到,隨著制程演進(jìn),集成電路前道工藝的步驟越來越多,檢量測重要性日漸凸顯,主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展,需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加,設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如,28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序,而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時,只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%,最終的良品率方可超過95%;當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時,最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元,在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中,中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元,全球市場規(guī)模占比約33.98%,市場空間廣闊。
但與之形成反差的是,量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出,相較于海外廠商,國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚,當(dāng)前收入體量較小,國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%,但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速,主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類:一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品,包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示,這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證,2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。

另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX(物理和X射線)及功率檢測產(chǎn)品,包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中,PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付,功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示,新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型,覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來,公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月,新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”,解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前,新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示,“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題,國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先,我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過,國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕,也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案,并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極(僅次于上海、北京),但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計,疏于制造。過去幾年,因為國際局勢的變化,深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上,顯露了不少短板,但如今,深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來,深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目,典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺,這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試,以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn),深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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