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陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、惠州市博羅縣、安慶市宜秀區(qū)、渭南市臨渭區(qū)、齊齊哈爾市富裕縣、果洛久治縣、佳木斯市撫遠市、成都市金堂縣、玉樹稱多縣
怒江傈僳族自治州福貢縣、廣州市越秀區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、信陽市商城縣
涼山木里藏族自治縣、湛江市吳川市、廣西玉林市興業(yè)縣、慶陽市西峰區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、泰安市東平縣、楚雄牟定縣
樂山市井研縣、大連市瓦房店市、東方市江邊鄉(xiāng)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、天津市寧河區(qū)、六安市葉集區(qū)、開封市禹王臺區(qū)、淄博市沂源縣、衡陽市衡東縣、瓊海市長坡鎮(zhèn)
樂山市五通橋區(qū)、武威市民勤縣、攀枝花市米易縣、海南共和縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、萬寧市禮紀鎮(zhèn)、雙鴨山市嶺東區(qū)、三明市建寧縣
成都市金牛區(qū)、肇慶市高要區(qū)、安慶市大觀區(qū)、涼山金陽縣、延邊敦化市、德州市平原縣、徐州市銅山區(qū)、臨汾市浮山縣、重慶市黔江區(qū)
廣西桂林市象山區(qū)、周口市沈丘縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、撫州市資溪縣、哈爾濱市呼蘭區(qū)、巴中市恩陽區(qū)、南昌市安義縣、邵陽市邵陽縣
東莞市大朗鎮(zhèn)、南陽市社旗縣、黔東南施秉縣、臨夏永靖縣、金華市金東區(qū)、重慶市秀山縣、咸陽市武功縣、寧波市江北區(qū)
定安縣定城鎮(zhèn)、臺州市天臺縣、三明市沙縣區(qū)、甘南迭部縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、長沙市長沙縣
自貢市富順縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、懷化市會同縣、淄博市沂源縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、信陽市平橋區(qū)
漢中市南鄭區(qū)、漢中市留壩縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、黃岡市紅安縣、伊春市大箐山縣
黃岡市黃州區(qū)、海南同德縣、郴州市蘇仙區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣、樂山市五通橋區(qū)、廣西貴港市平南縣、金華市磐安縣
福州市臺江區(qū)、商洛市柞水縣、西安市閻良區(qū)、九江市湖口縣、菏澤市巨野縣、延邊和龍市、屯昌縣新興鎮(zhèn)、濟寧市嘉祥縣、寧德市蕉城區(qū)、黃岡市紅安縣
黃岡市黃州區(qū)、重慶市大足區(qū)、巴中市巴州區(qū)、攀枝花市鹽邊縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、上饒市橫峰縣、朝陽市凌源市、重慶市南岸區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)
樂東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)、長春市榆樹市、梅州市梅縣區(qū)、呂梁市文水縣、涼山德昌縣
鎮(zhèn)江市句容市、運城市平陸縣、咸寧市崇陽縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、許昌市襄城縣、忻州市繁峙縣
開封市通許縣、駐馬店市確山縣、三明市將樂縣、珠海市香洲區(qū)、海南興??h、南京市玄武區(qū)、廣州市天河區(qū)、咸陽市永壽縣、四平市公主嶺市
三門峽市義馬市、涼山西昌市、廣西柳州市柳南區(qū)、澄邁縣福山鎮(zhèn)、舟山市普陀區(qū)、宿州市碭山縣、天津市北辰區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市
阿壩藏族羌族自治州金川縣、贛州市章貢區(qū)、攀枝花市西區(qū)、漢中市留壩縣、寧波市寧海縣
阜新市阜新蒙古族自治縣、畢節(jié)市赫章縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達區(qū)、焦作市修武縣、杭州市濱江區(qū)、南陽市宛城區(qū)、江門市江海區(qū)、臨沂市蘭陵縣、清遠市清新區(qū)
保山市昌寧縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、嘉興市南湖區(qū)、畢節(jié)市金沙縣、長春市榆樹市、新鄉(xiāng)市延津縣、寶雞市扶風縣、丹東市寬甸滿族自治縣
綿陽市涪城區(qū)、海西蒙古族天峻縣、眉山市仁壽縣、襄陽市老河口市、鹽城市亭湖區(qū)、海東市化隆回族自治縣、臨高縣博厚鎮(zhèn)
金華市婺城區(qū)、寧德市古田縣、鷹潭市余江區(qū)、麗水市松陽縣、合肥市肥西縣、南通市海安市、呂梁市交城縣、上海市楊浦區(qū)
瓊海市博鰲鎮(zhèn)、南京市鼓樓區(qū)、太原市萬柏林區(qū)、長沙市雨花區(qū)、沈陽市渾南區(qū)
紹興市嵊州市、上饒市余干縣、上海市青浦區(qū)、黃岡市羅田縣、雅安市雨城區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、咸陽市渭城區(qū)、鞍山市鐵西區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、濟南市市中區(qū)、清遠市佛岡縣、忻州市保德縣、甘孜鄉(xiāng)城縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣
商丘市民權(quán)縣、龍巖市漳平市、東莞市沙田鎮(zhèn)、中山市坦洲鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、大同市天鎮(zhèn)縣、渭南市富平縣
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東莞市塘廈鎮(zhèn)、酒泉市敦煌市、九江市濂溪區(qū)、湘西州保靖縣、天水市清水縣、信陽市新縣、新余市渝水區(qū)、重慶市璧山區(qū)
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海北門源回族自治縣、宜春市萬載縣、錦州市黑山縣、攀枝花市鹽邊縣、莆田市涵江區(qū)、威海市環(huán)翠區(qū)
朔州市山陰縣、哈爾濱市木蘭縣、三明市將樂縣、吉林市船營區(qū)、漯河市召陵區(qū)、四平市公主嶺市、泰州市海陵區(qū)、莆田市荔城區(qū)、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)
昭通市彝良縣、葫蘆島市綏中縣、東方市八所鎮(zhèn)、潮州市湘橋區(qū)、昭通市威信縣
中山市神灣鎮(zhèn)、湖州市南潯區(qū)、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、郴州市安仁縣、杭州市余杭區(qū)、益陽市安化縣、滁州市鳳陽縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣
內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、金昌市金川區(qū)、鹽城市濱??h、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、焦作市溫縣、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)
常州市武進區(qū)、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、??谑忻捞m區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、蚌埠市淮上區(qū)、盤錦市大洼區(qū)、杭州市淳安縣
忻州市河曲縣、福州市福清市、武威市民勤縣、德州市臨邑縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣
大理鶴慶縣、黑河市五大連池市、安康市白河縣、內(nèi)江市東興區(qū)、四平市鐵西區(qū)、重慶市墊江縣、淄博市沂源縣
鷹潭市貴溪市、懷化市芷江侗族自治縣、西寧市城東區(qū)、棗莊市市中區(qū)、安慶市潛山市、文山廣南縣、淄博市高青縣、宜昌市遠安縣
三明市大田縣、咸陽市禮泉縣、廈門市集美區(qū)、衢州市開化縣、廣西梧州市藤縣、南昌市青云譜區(qū)、遵義市仁懷市、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣
榆林市清澗縣、南平市松溪縣、衡陽市常寧市、宜春市宜豐縣、貴陽市清鎮(zhèn)市
樂山市馬邊彝族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、天津市津南區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、吉安市青原區(qū)、大理賓川縣、白城市大安市
臨汾市霍州市、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、眉山市丹棱縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、淮南市壽縣
通化市東昌區(qū)、畢節(jié)市納雍縣、臨汾市蒲縣、湛江市徐聞縣、合肥市包河區(qū)、達州市萬源市、濟寧市魚臺縣、鹽城市大豐區(qū)
寧德市壽寧縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、荊州市松滋市、廣西崇左市寧明縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、平頂山市寶豐縣、丹東市東港市、汕頭市潮南區(qū)、銅陵市樅陽縣、遼陽市白塔區(qū)
文昌市抱羅鎮(zhèn)、安康市嵐皋縣、開封市龍亭區(qū)、舟山市普陀區(qū)、大理云龍縣、中山市南頭鎮(zhèn)、東營市東營區(qū)、朝陽市雙塔區(qū)、錦州市太和區(qū)、杭州市余杭區(qū)
張掖市民樂縣、福州市連江縣、株洲市淥口區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、朝陽市北票市、榆林市府谷縣、萬寧市山根鎮(zhèn)
安慶市大觀區(qū)、撫順市清原滿族自治縣、沈陽市于洪區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、內(nèi)江市市中區(qū)、孝感市大悟縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀:發(fā)布多款設(shè)備,撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀,成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展(SEMICON China 2025)的焦點。
3月26日-27日,深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品,包括外延沉積設(shè)備EPI(峨眉山)、原子層沉積設(shè)備ALD(阿里山)、物理氣相沉積設(shè)備PVD(普陀山)、刻蝕設(shè)備ETCH(武夷山)、薄膜沉積設(shè)備CVD(長白山)。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面,首次參展便發(fā)布了多款新品,吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示,新凱來工業(yè)成立于2022年,其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年,兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股,而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝,直接影響芯片性能與可靠性;ALD針對原子級薄膜沉積,是5納米以下先進制程的核心裝備;CVD化學氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一,設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。

這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo),新凱來有意打破固有競爭格局。

國際市場上,EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷;ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo),市占率合計超60%;在PVD領(lǐng)域,AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱,新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制,技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷,在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準,可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布,已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā),并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域,通過照片和模型的方式展示了光學檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’,貫穿集成電路生產(chǎn)全過程,對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?!币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到,隨著制程演進,集成電路前道工藝的步驟越來越多,檢量測重要性日漸凸顯,主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展,需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加,設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如,28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序,而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時,只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%,最終的良品率方可超過95%;當單道工序的良品率下降至99.98%時,最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元,在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中,中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元,全球市場規(guī)模占比約33.98%,市場空間廣闊。
但與之形成反差的是,量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出,相較于海外廠商,國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚,當前收入體量較小,國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%,但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速,主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類:一類是技術(shù)難度較高的光學量檢測產(chǎn)品,包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示,這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證,2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。

另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX(物理和X射線)及功率檢測產(chǎn)品,包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中,PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付,功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示,新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型,覆蓋光學、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來,公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月,新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”,解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前,新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示,“當前首要解決先進制程問題,國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先,我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過,國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕,也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案,并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極(僅次于上海、北京),但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計,疏于制造。過去幾年,因為國際局勢的變化,深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上,顯露了不少短板,但如今,深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來,深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目,典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺,這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試,以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn),深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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