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武漢市江岸區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、曲靖市馬龍區(qū)、寧夏銀川市靈武市、蚌埠市蚌山區(qū)、儋州市王五鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、宜春市靖安縣、四平市伊通滿族自治縣、濱州市沾化區(qū)
瀘州市古藺縣、撫州市南豐縣、莆田市城廂區(qū)、吉安市新干縣、海北剛察縣、北京市石景山區(qū)、亳州市譙城區(qū)、北京市西城區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、安康市漢陰縣、永州市道縣、直轄縣天門市、大同市廣靈縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、南陽(yáng)市西峽縣、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、溫州市蒼南縣
濰坊市壽光市、重慶市南岸區(qū)、錦州市太和區(qū)、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、遼源市東遼縣、上海市奉賢區(qū)、阜新市海州區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、婁底市冷水江市
宿遷市沭陽(yáng)縣、荊州市江陵縣、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、寶雞市千陽(yáng)縣、周口市川匯區(qū)、北京市平谷區(qū)、武漢市新洲區(qū)、西安市鄠邑區(qū)、廣西來(lái)賓市象州縣
南陽(yáng)市社旗縣、西雙版納景洪市、寶雞市岐山縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、黔南荔波縣、大理南澗彝族自治縣
廣西桂林市疊彩區(qū)、漳州市漳浦縣、鄭州市新鄭市、三明市大田縣、西安市碑林區(qū)、無(wú)錫市錫山區(qū)、黔西南冊(cè)亨縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
泰安市肥城市、重慶市永川區(qū)、漯河市舞陽(yáng)縣、寧德市福安市、長(zhǎng)治市襄垣縣、恩施州建始縣、雅安市漢源縣、洛陽(yáng)市欒川縣、廣州市花都區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣
溫州市永嘉縣、保山市龍陵縣、六盤水市盤州市、滁州市明光市、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、贛州市大余縣、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、甘孜爐霍縣
雅安市寶興縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、紅河個(gè)舊市、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、忻州市保德縣、襄陽(yáng)市樊城區(qū)
陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、三明市寧化縣、甘孜德格縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、上饒市德興市、合肥市肥西縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)、南平市政和縣
韶關(guān)市新豐縣、重慶市北碚區(qū)、廣西百色市凌云縣、福州市福清市、馬鞍山市博望區(qū)、肇慶市懷集縣、蘇州市常熟市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、深圳市光明區(qū)、甘孜瀘定縣
宿遷市泗洪縣、忻州市五臺(tái)縣、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣
吉林市磐石市、綿陽(yáng)市江油市、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、文昌市重興鎮(zhèn)、廣安市前鋒區(qū)、日照市莒縣、濰坊市臨朐縣、廣西南寧市賓陽(yáng)縣
贛州市上猶縣、雅安市滎經(jīng)縣、涼山普格縣、渭南市韓城市、晉中市太谷區(qū)
廣西玉林市興業(yè)縣、龍巖市武平縣、安慶市望江縣、滁州市南譙區(qū)、焦作市武陟縣、蕪湖市繁昌區(qū)、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、榆林市子洲縣
銅川市王益區(qū)、無(wú)錫市錫山區(qū)、陽(yáng)泉市礦區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、廣西河池市南丹縣、黔南惠水縣、涼山冕寧縣、焦作市中站區(qū)、廣西梧州市岑溪市
畢節(jié)市黔西市、成都市成華區(qū)、文昌市東郊鎮(zhèn)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、三門峽市湖濱區(qū)
江門市新會(huì)區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、九江市柴桑區(qū)、無(wú)錫市濱湖區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、丹東市元寶區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)
濰坊市諸城市、菏澤市巨野縣、邵陽(yáng)市隆回縣、天水市清水縣、昭通市鹽津縣、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、東莞市謝崗鎮(zhèn)、臨夏臨夏縣、宣城市廣德市
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鄂州市鄂城區(qū)、臨汾市蒲縣、渭南市韓城市、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、蘇州市張家港市、沈陽(yáng)市渾南區(qū)、海東市平安區(qū)、廣元市旺蒼縣、肇慶市封開(kāi)縣、黔南甕安縣
南昌市新建區(qū)、宜春市袁州區(qū)、焦作市馬村區(qū)、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、上海市松江區(qū)、哈爾濱市巴彥縣
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廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、濰坊市臨朐縣、西寧市城北區(qū)、哈爾濱市依蘭縣、太原市尖草坪區(qū)、東莞市沙田鎮(zhèn)、溫州市甌海區(qū)、黔東南劍河縣
安康市石泉縣、廣西防城港市上思縣、七臺(tái)河市勃利縣、東莞市東城街道、贛州市于都縣、商丘市虞城縣
隴南市徽縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、上海市黃浦區(qū)、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、大同市陽(yáng)高縣、重慶市綦江區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、三明市泰寧縣、威海市乳山市
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聊城市東昌府區(qū)、龍巖市武平縣、聊城市陽(yáng)谷縣、金昌市永昌縣、呂梁市興縣、西安市雁塔區(qū)
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忻州市忻府區(qū)、杭州市江干區(qū)、杭州市臨安區(qū)、文山文山市、鷹潭市余江區(qū)
昭通市昭陽(yáng)區(qū)、黔西南普安縣、濮陽(yáng)市清豐縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、南京市建鄴區(qū)、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)
延安市寶塔區(qū)、黔西南貞豐縣、臨沂市沂水縣、宜昌市興山縣、安慶市大觀區(qū)、黔南惠水縣、通化市集安市、昭通市大關(guān)縣、周口市扶溝縣、廣西崇左市江州區(qū)
臨汾市古縣、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、衡陽(yáng)市衡南縣、鹽城市響水縣、臨沂市平邑縣、白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)、酒泉市瓜州縣、淄博市淄川區(qū)、寶雞市麟游縣
徐州市沛縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、聊城市陽(yáng)谷縣、德州市樂(lè)陵市、淮南市鳳臺(tái)縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)
廣西河池市巴馬瑤族自治縣、晉中市靈石縣、通化市通化縣、廣西梧州市蒙山縣、成都市郫都區(qū)、紹興市新昌縣
銅仁市松桃苗族自治縣、重慶市豐都縣、上海市松江區(qū)、北京市順義區(qū)、銅仁市思南縣、紹興市柯橋區(qū)
廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、臨汾市侯馬市、大同市靈丘縣、六安市葉集區(qū)、廣西桂林市秀峰區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)
大連市莊河市、郴州市資興市、雅安市滎經(jīng)縣、淮安市金湖縣、淄博市博山區(qū)、佛山市高明區(qū)
楚雄南華縣、郴州市桂東縣、金華市浦江縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、臺(tái)州市椒江區(qū)、杭州市江干區(qū)、廣州市增城區(qū)、泉州市洛江區(qū)
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安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、遵義市播州區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、濟(jì)南市平陰縣、丹東市振興區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、廣西來(lái)賓市象州縣、玉樹(shù)囊謙縣
淮南市田家庵區(qū)、臺(tái)州市臨海市、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣、蘇州市相城區(qū)、吉林市舒蘭市、西安市碑林區(qū)、武漢市江岸區(qū)
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南通市如皋市、茂名市茂南區(qū)、呂梁市臨縣、淮北市杜集區(qū)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、中山市南朗鎮(zhèn)、隴南市成縣
鄭州市金水區(qū)、株洲市淥口區(qū)、六盤水市水城區(qū)、西安市周至縣、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、馬鞍山市博望區(qū)、連云港市海州區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)
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南昌市進(jìn)賢縣、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、汕頭市濠江區(qū)、南平市建陽(yáng)區(qū)、漢中市略陽(yáng)縣、南充市順慶區(qū)、臨高縣多文鎮(zhèn)、大連市普蘭店區(qū)、溫州市龍港市
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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