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常德市津市市、眉山市仁壽縣、泉州市鯉城區(qū)、延邊圖們市、定西市通渭縣、云浮市新興縣、西雙版納勐?？h
臨汾市洪洞縣、開封市龍亭區(qū)、雅安市漢源縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、廣西百色市田東縣
漳州市南靖縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、雅安市蘆山縣、怒江傈僳族自治州瀘水市、荊州市監(jiān)利市、清遠(yuǎn)市佛岡縣、金華市蘭溪市、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、臨沂市平邑縣
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、眉山市彭山區(qū)、郴州市資興市、涼山雷波縣、東營市河口區(qū)
晉中市太谷區(qū)、昆明市五華區(qū)、淮安市金湖縣、荊門市掇刀區(qū)、贛州市尋烏縣
南陽市鎮(zhèn)平縣、揚(yáng)州市儀征市、麗江市永勝縣、資陽市樂至縣、威海市環(huán)翠區(qū)、株洲市天元區(qū)、畢節(jié)市大方縣、臨沂市平邑縣
淄博市博山區(qū)、盤錦市興隆臺區(qū)、荊州市石首市、北京市海淀區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、沈陽市渾南區(qū)、廣西崇左市寧明縣、寶雞市鳳翔區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)
徐州市睢寧縣、重慶市開州區(qū)、揭陽市惠來縣、廣元市朝天區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、通化市集安市、四平市鐵西區(qū)、綏化市蘭西縣、文山廣南縣
黃石市下陸區(qū)、荊州市公安縣、懷化市中方縣、九江市都昌縣、廣西賀州市平桂區(qū)、廣西柳州市融安縣、臨沂市河?xùn)|區(qū)
東莞市麻涌鎮(zhèn)、長治市黎城縣、文山馬關(guān)縣、臨滄市鳳慶縣、大理祥云縣
黔南甕安縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、麗江市永勝縣、營口市站前區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、廣西南寧市青秀區(qū)、廣西崇左市天等縣、廣安市華鎣市
蕪湖市鏡湖區(qū)、鶴崗市南山區(qū)、長治市上黨區(qū)、西安市藍(lán)田縣、慶陽市寧縣、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、成都市彭州市、白山市渾江區(qū)
安康市寧陜縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、溫州市永嘉縣、萬寧市南橋鎮(zhèn)、宜春市袁州區(qū)
三門峽市盧氏縣、玉樹玉樹市、安順市西秀區(qū)、長治市潞城區(qū)、菏澤市單縣、昆明市安寧市、貴陽市烏當(dāng)區(qū)
昭通市鎮(zhèn)雄縣、大慶市薩爾圖區(qū)、佳木斯市同江市、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
河源市龍川縣、昆明市石林彝族自治縣、臨夏和政縣、舟山市岱山縣、佳木斯市湯原縣、南通市海門區(qū)、陽江市陽春市、臺州市溫嶺市、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、吉安市吉州區(qū)
上海市黃浦區(qū)、六安市霍山縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、齊齊哈爾市拜泉縣、宜昌市枝江市、金華市武義縣、日照市五蓮縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、東莞市洪梅鎮(zhèn)、東莞市橋頭鎮(zhèn)、龍巖市連城縣、荊州市沙市區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、三明市寧化縣、廣西崇左市天等縣
朔州市應(yīng)縣、泉州市金門縣、文山西疇縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、濟(jì)南市章丘區(qū)
嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、東莞市高埗鎮(zhèn)、文山丘北縣、三門峽市陜州區(qū)、德州市平原縣、東營市利津縣
儋州市蘭洋鎮(zhèn)、四平市鐵東區(qū)、盤錦市興隆臺區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、連云港市東?？h、漢中市西鄉(xiāng)縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)
天津市濱海新區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、昆明市尋甸回族彝族自治縣、西寧市城西區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)、廣西北海市銀海區(qū)、聊城市茌平區(qū)、荊門市沙洋縣
九江市德安縣、大連市莊河市、湘潭市湘潭縣、本溪市南芬區(qū)、屯昌縣新興鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、衡陽市衡南縣、瀘州市敘永縣、咸陽市涇陽縣、婁底市婁星區(qū)
南平市武夷山市、廣州市白云區(qū)、莆田市涵江區(qū)、長沙市望城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、黔東南麻江縣
延安市甘泉縣、德陽市綿竹市、雅安市蘆山縣、杭州市濱江區(qū)、黔東南黃平縣、廣西百色市平果市、瀘州市合江縣
廣西河池市大化瑤族自治縣、贛州市寧都縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、銅仁市江口縣、海北剛察縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、定安縣龍門鎮(zhèn)、雙鴨山市尖山區(qū)
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商丘市民權(quán)縣、廣安市岳池縣、池州市石臺縣、廣西南寧市賓陽縣、漢中市佛坪縣、黔東南錦屏縣、棗莊市滕州市、云浮市新興縣、濟(jì)南市長清區(qū)
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宜昌市遠(yuǎn)安縣、昭通市威信縣、撫順市東洲區(qū)、福州市平潭縣、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、廣安市鄰水縣、淄博市沂源縣
齊齊哈爾市碾子山區(qū)、福州市閩清縣、寧波市北侖區(qū)、煙臺市福山區(qū)、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣
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蘇州市太倉市、金華市婺城區(qū)、宿州市靈璧縣、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、淮南市壽縣
廣西來賓市象州縣、寧德市周寧縣、漳州市漳浦縣、淮北市濉溪縣、東方市感城鎮(zhèn)、銅陵市郊區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、信陽市平橋區(qū)、合肥市長豐縣
鐵嶺市銀州區(qū)、葫蘆島市興城市、肇慶市高要區(qū)、五指山市南圣、重慶市沙坪壩區(qū)、重慶市渝中區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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