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六安市葉集區(qū)、果洛瑪沁縣、焦作市沁陽市、昭通市威信縣、保山市隆陽區(qū)、韶關(guān)市樂昌市、周口市淮陽區(qū)、玉樹曲麻萊縣、珠海市斗門區(qū)
中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、定西市臨洮縣、蚌埠市淮上區(qū)、武漢市洪山區(qū)、延邊圖們市
德州市慶云縣、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、黔東南岑鞏縣、湘潭市韶山市、南京市鼓樓區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣
安陽市林州市、五指山市毛道、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、?？谑忻捞m區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)
酒泉市敦煌市、株洲市茶陵縣、遵義市湄潭縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、深圳市龍華區(qū)、安慶市迎江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)
聊城市冠縣、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、重慶市江北區(qū)、襄陽市?？悼h、黔南平塘縣、昆明市東川區(qū)、伊春市南岔縣、長春市朝陽區(qū)
咸陽市渭城區(qū)、南平市光澤縣、定安縣龍河鎮(zhèn)、亳州市利辛縣、上海市閔行區(qū)、平頂山市魯山縣、鄭州市金水區(qū)
朝陽市龍城區(qū)、亳州市利辛縣、丹東市元寶區(qū)、楚雄元謀縣、金華市蘭溪市、東方市八所鎮(zhèn)、昆明市富民縣、湖州市安吉縣、安康市石泉縣、邵陽市雙清區(qū)
福州市臺江區(qū)、金華市永康市、汕頭市潮南區(qū)、呂梁市柳林縣、南昌市青云譜區(qū)、雙鴨山市友誼縣、文山硯山縣、周口市商水縣
白城市鎮(zhèn)賚縣、馬鞍山市含山縣、楚雄元謀縣、長治市上黨區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、洛陽市欒川縣、焦作市解放區(qū)、聊城市茌平區(qū)、南平市政和縣
上海市靜安區(qū)、鶴崗市蘿北縣、長沙市雨花區(qū)、武威市涼州區(qū)、海西蒙古族格爾木市、溫州市平陽縣、北京市通州區(qū)
白銀市白銀區(qū)、酒泉市敦煌市、麗水市慶元縣、通化市集安市、滁州市瑯琊區(qū)、重慶市城口縣、懷化市溆浦縣、定安縣嶺口鎮(zhèn)、瀘州市納溪區(qū)
通化市梅河口市、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、宜春市奉新縣、宜昌市枝江市、湘西州吉首市、蕪湖市無為市、酒泉市肅州區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣
漳州市平和縣、清遠(yuǎn)市陽山縣、信陽市潢川縣、廈門市湖里區(qū)、武威市古浪縣、東莞市東城街道
長治市武鄉(xiāng)縣、阜新市新邱區(qū)、昭通市威信縣、杭州市桐廬縣、西雙版納勐臘縣、駐馬店市遂平縣、臨沂市費(fèi)縣、甘孜巴塘縣
酒泉市肅北蒙古族自治縣、廣安市華鎣市、安陽市文峰區(qū)、福州市羅源縣、資陽市樂至縣
天水市清水縣、白山市臨江市、東營市東營區(qū)、恩施州宣恩縣、昭通市永善縣
營口市大石橋市、雞西市虎林市、嘉興市南湖區(qū)、韶關(guān)市湞江區(qū)、四平市公主嶺市、濱州市博興縣、臨沂市臨沭縣
定西市通渭縣、福州市平潭縣、江門市鶴山市、綏化市北林區(qū)、寶雞市鳳縣、文昌市會文鎮(zhèn)、貴陽市云巖區(qū)、天津市河西區(qū)
普洱市江城哈尼族彝族自治縣、綏化市安達(dá)市、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、晉中市祁縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、湘潭市岳塘區(qū)、安陽市湯陰縣、惠州市龍門縣
濟(jì)寧市微山縣、汕尾市陸河縣、眉山市東坡區(qū)、平?jīng)鍪腥A亭縣、贛州市會昌縣、贛州市尋烏縣、四平市公主嶺市、臨高縣新盈鎮(zhèn)、淮北市烈山區(qū)
永州市零陵區(qū)、福州市馬尾區(qū)、婁底市婁星區(qū)、東莞市企石鎮(zhèn)、牡丹江市穆棱市、漳州市南靖縣、渭南市蒲城縣、張掖市臨澤縣、廈門市湖里區(qū)、駐馬店市確山縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、晉中市祁縣、遵義市紅花崗區(qū)、潮州市饒平縣、洛陽市洛龍區(qū)、哈爾濱市賓縣、儋州市那大鎮(zhèn)、沈陽市渾南區(qū)、濟(jì)南市平陰縣
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張家界市慈利縣、南京市建鄴區(qū)、鄭州市管城回族區(qū)、合肥市蜀山區(qū)、淮南市壽縣、四平市雙遼市、延安市黃陵縣
南陽市方城縣、襄陽市棗陽市、遼陽市弓長嶺區(qū)、黃石市西塞山區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、湘潭市湘潭縣、潮州市湘橋區(qū)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、駐馬店市汝南縣、長治市武鄉(xiāng)縣
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鐵嶺市調(diào)兵山市、漳州市龍文區(qū)、銅仁市江口縣、寧夏銀川市賀蘭縣、池州市青陽縣
黃岡市紅安縣、撫州市宜黃縣、長沙市芙蓉區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣本號鎮(zhèn)
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大同市平城區(qū)、達(dá)州市萬源市、平頂山市郟縣、合肥市廬陽區(qū)、廣元市利州區(qū)、廣西南寧市江南區(qū)、青島市嶗山區(qū)、自貢市自流井區(qū)
臨滄市云縣、贛州市龍南市、哈爾濱市香坊區(qū)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、海西蒙古族都蘭縣、重慶市豐都縣、贛州市章貢區(qū)、廣西桂林市永?？h、綏化市肇東市
遵義市紅花崗區(qū)、南陽市西峽縣、青島市城陽區(qū)、徐州市云龍區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、青島市市南區(qū)
湛江市徐聞縣、定西市渭源縣、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、濱州市沾化區(qū)、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、涼山德昌縣、開封市禹王臺區(qū)、牡丹江市海林市
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酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、黃石市黃石港區(qū)、臨滄市滄源佤族自治縣、婁底市新化縣、大同市左云縣、泉州市安溪縣、齊齊哈爾市甘南縣、鞍山市立山區(qū)、蘭州市永登縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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