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湘西州龍山縣、惠州市龍門縣、安康市紫陽縣、南充市嘉陵區(qū)、南陽市宛城區(qū)、威海市榮成市、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、滁州市鳳陽縣、南充市西充縣
韶關(guān)市武江區(qū)、北京市昌平區(qū)、廣西玉林市北流市、福州市鼓樓區(qū)、忻州市定襄縣、臨沂市沂水縣、懷化市沅陵縣、恩施州鶴峰縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、南通市海門區(qū)、漢中市漢臺區(qū)、黃南同仁市、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)、廣州市增城區(qū)、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
隴南市武都區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、荊州市監(jiān)利市、周口市項(xiàng)城市、榆林市府谷縣、南京市溧水區(qū)、果洛達(dá)日縣、運(yùn)城市芮城縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、肇慶市德慶縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、三沙市西沙區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、大慶市肇州縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、南昌市青云譜區(qū)、鷹潭市貴溪市、泉州市鯉城區(qū)
煙臺市蓬萊區(qū)、開封市通許縣、重慶市豐都縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、朝陽市朝陽縣
新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、武漢市蔡甸區(qū)、湛江市遂溪縣、南京市鼓樓區(qū)、撫州市黎川縣、鶴壁市浚縣、鹽城市鹽都區(qū)、東莞市常平鎮(zhèn)、萬寧市東澳鎮(zhèn)
北京市門頭溝區(qū)、海南共和縣、吉安市青原區(qū)、大理南澗彝族自治縣、潮州市湘橋區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、珠海市金灣區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、呂梁市方山縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)
麗水市云和縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、眉山市彭山區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、黔南羅甸縣、臨高縣多文鎮(zhèn)
定西市通渭縣、莆田市涵江區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、廣州市越秀區(qū)、咸寧市通山縣、梅州市興寧市、營口市老邊區(qū)、湘潭市雨湖區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)
濰坊市昌樂縣、廣州市從化區(qū)、大同市左云縣、萍鄉(xiāng)市上栗縣、中山市港口鎮(zhèn)、重慶市江津區(qū)
懷化市辰溪縣、咸陽市秦都區(qū)、重慶市合川區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、忻州市岢嵐縣、營口市蓋州市
長沙市天心區(qū)、天水市秦安縣、廣西南寧市馬山縣、宣城市郎溪縣、長春市二道區(qū)、五指山市毛道、南陽市桐柏縣
渭南市大荔縣、黔東南黃平縣、七臺河市新興區(qū)、成都市金牛區(qū)、湘西州吉首市
張掖市肅南裕固族自治縣、洛陽市澗西區(qū)、東莞市萬江街道、涼山喜德縣、昭通市大關(guān)縣、上海市靜安區(qū)、鹽城市響水縣
宣城市寧國市、永州市江華瑤族自治縣、延安市子長市、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、金華市磐安縣、宜春市豐城市、湘西州花垣縣、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、哈爾濱市南崗區(qū)
臨沂市蘭山區(qū)、合肥市蜀山區(qū)、丹東市東港市、新鄉(xiāng)市封丘縣、岳陽市岳陽樓區(qū)、綿陽市涪城區(qū)、洛陽市伊川縣、西寧市湟源縣、三明市清流縣、鷹潭市貴溪市
益陽市桃江縣、南平市政和縣、西安市閻良區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、錦州市黑山縣、洛陽市澗西區(qū)、阜新市彰武縣、濟(jì)寧市鄒城市
銅仁市沿河土家族自治縣、阜陽市阜南縣、贛州市石城縣、泰安市東平縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、漯河市郾城區(qū)、臨汾市古縣
河源市和平縣、徐州市云龍區(qū)、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、南平市松溪縣、涼山普格縣
永州市新田縣、安康市嵐皋縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、三明市沙縣區(qū)、宜春市宜豐縣、寧德市蕉城區(qū)、孝感市漢川市、營口市蓋州市、寧波市余姚市、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)
河源市連平縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、臺州市三門縣、阜新市海州區(qū)、煙臺市萊陽市
三亞市海棠區(qū)、鞍山市岫巖滿族自治縣、西安市鄠邑區(qū)、泰州市海陵區(qū)、中山市東鳳鎮(zhèn)
鞍山市海城市、濰坊市坊子區(qū)、揭陽市普寧市、寧德市壽寧縣、重慶市綦江區(qū)、德州市武城縣
連云港市灌云縣、商洛市商南縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、文昌市重興鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、益陽市安化縣、東莞市石碣鎮(zhèn)、六安市舒城縣、成都市都江堰市
日照市東港區(qū)、臨汾市堯都區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、永州市新田縣、九江市修水縣、保山市昌寧縣、上海市金山區(qū)、眉山市東坡區(qū)
江門市鶴山市、黔東南黎平縣、牡丹江市西安區(qū)、廣西崇左市天等縣、鶴壁市?？h、福州市長樂區(qū)、內(nèi)江市東興區(qū)、楚雄永仁縣
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徐州市邳州市、嘉興市桐鄉(xiāng)市、撫順市新?lián)釁^(qū)、安陽市文峰區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、寧夏固原市原州區(qū)
南昌市東湖區(qū)、紹興市柯橋區(qū)、自貢市沿灘區(qū)、六安市舒城縣、武漢市江漢區(qū)、孝感市應(yīng)城市、重慶市萬州區(qū)、洛陽市澗西區(qū)、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、普洱市西盟佤族自治縣
東莞市樟木頭鎮(zhèn)、成都市郫都區(qū)、周口市鹿邑縣、天津市薊州區(qū)、蕪湖市南陵縣、溫州市永嘉縣、聊城市東昌府區(qū)、寧德市霞浦縣
怒江傈僳族自治州福貢縣、深圳市龍華區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、重慶市武隆區(qū)、玉溪市華寧縣、黔東南從江縣、成都市大邑縣、葫蘆島市興城市、昆明市五華區(qū)
衢州市衢江區(qū)、漳州市長泰區(qū)、荊門市京山市、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、十堰市竹溪縣、洛陽市西工區(qū)
阜陽市阜南縣、大連市沙河口區(qū)、九江市濂溪區(qū)、淄博市桓臺縣、牡丹江市寧安市、黃岡市黃梅縣、武漢市武昌區(qū)、楚雄武定縣
南陽市南召縣、廣西崇左市江州區(qū)、重慶市涪陵區(qū)、咸陽市永壽縣、儋州市中和鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、淄博市沂源縣
邵陽市雙清區(qū)、濰坊市安丘市、煙臺市蓬萊區(qū)、荊門市鐘祥市、沈陽市遼中區(qū)、駐馬店市遂平縣
廣西防城港市防城區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、眉山市仁壽縣、常州市天寧區(qū)、青島市平度市、黃石市西塞山區(qū)、肇慶市鼎湖區(qū)、臨汾市堯都區(qū)
益陽市資陽區(qū)、廣西桂林市靈川縣、廣安市岳池縣、黔南羅甸縣、漢中市留壩縣、湖州市安吉縣、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、濰坊市高密市、齊齊哈爾市拜泉縣
忻州市偏關(guān)縣、佛山市三水區(qū)、麗水市蓮都區(qū)、綿陽市鹽亭縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、南昌市進(jìn)賢縣、衢州市常山縣、溫州市甌海區(qū)、東方市四更鎮(zhèn)、臨汾市霍州市
西安市鄠邑區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、三亞市吉陽區(qū)、茂名市高州市、贛州市尋烏縣、長沙市芙蓉區(qū)
宜昌市興山縣、漢中市佛坪縣、佳木斯市向陽區(qū)、廣西柳州市柳南區(qū)、六盤水市六枝特區(qū)、濱州市惠民縣、洛陽市西工區(qū)、綏化市肇東市、安慶市宿松縣
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瓊海市博鰲鎮(zhèn)、張家界市武陵源區(qū)、東莞市麻涌鎮(zhèn)、安康市平利縣、孝感市應(yīng)城市、重慶市南川區(qū)
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中山市橫欄鎮(zhèn)、儋州市中和鎮(zhèn)、無錫市新吳區(qū)、黔東南丹寨縣、營口市大石橋市、朔州市山陰縣、周口市鹿邑縣、廣西河池市天峨縣、揚(yáng)州市儀征市、呂梁市中陽縣
晉中市祁縣、上海市靜安區(qū)、長春市雙陽區(qū)、衡陽市常寧市、重慶市南川區(qū)、襄陽市樊城區(qū)、貴陽市花溪區(qū)、泉州市惠安縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個(gè)“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個(gè)平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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