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大連市西崗區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、益陽(yáng)市赫山區(qū)、湖州市德清縣、宜春市宜豐縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、西安市高陵區(qū)、連云港市連云區(qū)、德陽(yáng)市中江縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)
廣西桂林市臨桂區(qū)、上饒市萬(wàn)年縣、濟(jì)寧市曲阜市、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、信陽(yáng)市息縣
肇慶市鼎湖區(qū)、南京市高淳區(qū)、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、臨汾市侯馬市、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)
蚌埠市龍子湖區(qū)、儋州市大成鎮(zhèn)、云浮市云城區(qū)、德陽(yáng)市中江縣、杭州市江干區(qū)、福州市福清市、駐馬店市上蔡縣、眉山市彭山區(qū)、武漢市江岸區(qū)
嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、西雙版納勐臘縣、海西蒙古族德令哈市、朔州市懷仁市、廣西欽州市欽北區(qū)、十堰市竹溪縣
濟(jì)南市平陰縣、麗江市永勝縣、定西市隴西縣、宜春市萬(wàn)載縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、晉中市靈石縣、甘孜瀘定縣、鶴崗市東山區(qū)、酒泉市玉門(mén)市
忻州市河曲縣、福州市永泰縣、南京市鼓樓區(qū)、宜春市豐城市、廣西防城港市東興市、荊州市沙市區(qū)、齊齊哈爾市泰來(lái)縣、延安市子長(zhǎng)市、紹興市柯橋區(qū)、泉州市豐澤區(qū)
鞍山市海城市、榆林市佳縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、黃山市歙縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、揭陽(yáng)市榕城區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、佳木斯市郊區(qū)
安康市漢陰縣、黔東南天柱縣、日照市五蓮縣、瓊海市大路鎮(zhèn)、湘西州吉首市
內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、珠海市金灣區(qū)、怒江傈僳族自治州瀘水市、白山市靖宇縣、曲靖市馬龍區(qū)、海東市平安區(qū)、天津市河北區(qū)、濟(jì)南市歷城區(qū)
白山市靖宇縣、黔西南貞豐縣、文昌市昌灑鎮(zhèn)、廣西南寧市橫州市、成都市青羊區(qū)、昭通市昭陽(yáng)區(qū)、安慶市桐城市、朔州市右玉縣、朔州市平魯區(qū)、煙臺(tái)市龍口市
玉溪市峨山彝族自治縣、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、寧夏固原市西吉縣、榆林市橫山區(qū)、德州市武城縣、三明市沙縣區(qū)、連云港市灌南縣、天水市張家川回族自治縣、成都市青羊區(qū)、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣
上饒市余干縣、杭州市拱墅區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、上海市閔行區(qū)、蘇州市相城區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、丹東市東港市
雅安市雨城區(qū)、慶陽(yáng)市正寧縣、晉中市平遙縣、黑河市嫩江市、東莞市清溪鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、榆林市定邊縣、紅河元陽(yáng)縣、昭通市魯?shù)榭h
恩施州巴東縣、鄂州市鄂城區(qū)、南平市光澤縣、九江市濂溪區(qū)、衡陽(yáng)市南岳區(qū)、眉山市青神縣、吉林市舒蘭市
紅河紅河縣、重慶市秀山縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、廈門(mén)市同安區(qū)、贛州市章貢區(qū)、楚雄祿豐市、黔南平塘縣
佳木斯市向陽(yáng)區(qū)、漳州市漳浦縣、延邊和龍市、武漢市黃陂區(qū)、馬鞍山市雨山區(qū)
金華市東陽(yáng)市、五指山市水滿(mǎn)、定安縣嶺口鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市清鎮(zhèn)市、東莞市東城街道
廣西貴港市覃塘區(qū)、信陽(yáng)市浉河區(qū)、株洲市醴陵市、晉城市澤州縣、遵義市播州區(qū)、雙鴨山市寶清縣、呂梁市中陽(yáng)縣
溫州市甌海區(qū)、甘南碌曲縣、寧夏銀川市西夏區(qū)、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、六盤(pán)水市六枝特區(qū)
池州市貴池區(qū)、德州市夏津縣、張掖市肅南裕固族自治縣、上饒市玉山縣、恩施州建始縣
荊州市石首市、遵義市赤水市、汕尾市陸河縣、晉中市介休市、眉山市彭山區(qū)
黃岡市浠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、韶關(guān)市湞江區(qū)、南昌市青云譜區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)
呂梁市文水縣、鄭州市滎陽(yáng)市、雞西市雞東縣、臨汾市永和縣、上海市閔行區(qū)、延安市洛川縣、雙鴨山市尖山區(qū)
重慶市大渡口區(qū)、泉州市鯉城區(qū)、寧波市象山縣、青島市城陽(yáng)區(qū)、臨滄市永德縣、宜昌市猇亭區(qū)、重慶市永川區(qū)
萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、遵義市紅花崗區(qū)、曲靖市陸良縣、?？谑协偵絽^(qū)、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、莆田市仙游縣
萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、齊齊哈爾市克山縣、信陽(yáng)市羅山縣、南平市政和縣
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平頂山市衛(wèi)東區(qū)、慶陽(yáng)市華池縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、寧夏固原市西吉縣、曲靖市富源縣、廣西崇左市寧明縣、十堰市丹江口市、南平市光澤縣
哈爾濱市平房區(qū)、天津市武清區(qū)、杭州市上城區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、普洱市景東彝族自治縣、常州市金壇區(qū)、漳州市漳浦縣、朝陽(yáng)市凌源市、汕尾市陸豐市、樂(lè)東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)
儋州市和慶鎮(zhèn)、青島市市北區(qū)、麗水市慶元縣、廣西北海市海城區(qū)、臨沂市費(fèi)縣、無(wú)錫市濱湖區(qū)
無(wú)錫市錫山區(qū)、渭南市潼關(guān)縣、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、邵陽(yáng)市隆回縣、昆明市安寧市、亳州市蒙城縣
湛江市遂溪縣、濮陽(yáng)市范縣、阜陽(yáng)市太和縣、駐馬店市驛城區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、岳陽(yáng)市湘陰縣
鄭州市中牟縣、廣西崇左市江州區(qū)、杭州市拱墅區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、金昌市永昌縣
周口市鹿邑縣、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、渭南市合陽(yáng)縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、綿陽(yáng)市鹽亭縣、肇慶市高要區(qū)、郴州市安仁縣、洛陽(yáng)市伊川縣
衡陽(yáng)市雁峰區(qū)、泰安市新泰市、麗水市青田縣、哈爾濱市依蘭縣、福州市永泰縣、贛州市定南縣、隴南市康縣、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、杭州市淳安縣
東莞市大朗鎮(zhèn)、雅安市名山區(qū)、天津市寶坻區(qū)、達(dá)州市萬(wàn)源市、肇慶市德慶縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市
文昌市文城鎮(zhèn)、臺(tái)州市溫嶺市、德州市臨邑縣、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、樂(lè)山市夾江縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、杭州市桐廬縣
平頂山市郟縣、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、郴州市宜章縣、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、迪慶維西傈僳族自治縣、渭南市華陰市、鐵嶺市鐵嶺縣、遵義市桐梓縣、隴南市徽縣、淮南市大通區(qū)
龍巖市武平縣、咸陽(yáng)市武功縣、周口市太康縣、汕頭市潮南區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、黃岡市武穴市、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)
張掖市高臺(tái)縣、麗江市玉龍納西族自治縣、九江市德安縣、臨滄市永德縣、遼陽(yáng)市太子河區(qū)、菏澤市定陶區(qū)
定西市臨洮縣、龍巖市武平縣、天津市河北區(qū)、荊州市沙市區(qū)、寧波市鄞州區(qū)
重慶市江津區(qū)、葫蘆島市興城市、濟(jì)寧市曲阜市、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、襄陽(yáng)市谷城縣、蕪湖市鳩江區(qū)、汕尾市海豐縣
懷化市溆浦縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、濟(jì)寧市汶上縣、重慶市合川區(qū)
杭州市富陽(yáng)區(qū)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、攀枝花市鹽邊縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、攀枝花市東區(qū)、廣西河池市南丹縣、定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、鹽城市響水縣、邵陽(yáng)市大祥區(qū)
吉安市吉州區(qū)、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、開(kāi)封市龍亭區(qū)、北京市懷柔區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、廣西崇左市扶綏縣、錦州市太和區(qū)、渭南市蒲城縣
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慶陽(yáng)市合水縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、中山市五桂山街道、福州市羅源縣、運(yùn)城市芮城縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、泉州市金門(mén)縣、晉中市昔陽(yáng)縣、青島市膠州市、南通市如東縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶(hù)擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿(mǎn)足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿(mǎn)足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶(hù)側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線(xiàn)必需的PX（物理和X射線(xiàn)）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線(xiàn)類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線(xiàn)負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線(xiàn)、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線(xiàn)、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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