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莆田市仙游縣、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、益陽(yáng)市沅江市、海東市平安區(qū)、攀枝花市西區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、楚雄南華縣、清遠(yuǎn)市清城區(qū)、贛州市大余縣
天津市河西區(qū)、贛州市于都縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、梅州市梅江區(qū)、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、白城市洮北區(qū)、果洛瑪沁縣
自貢市貢井區(qū)、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、南昌市西湖區(qū)、岳陽(yáng)市華容縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、玉溪市通海縣、樂山市峨邊彝族自治縣
廣西百色市凌云縣、鐵嶺市昌圖縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、廣西百色市樂業(yè)縣、梅州市豐順縣、海南貴德縣、廣西玉林市博白縣、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)
綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、重慶市渝中區(qū)、鄭州市管城回族區(qū)、寧夏銀川市永寧縣、大同市靈丘縣、無錫市宜興市、菏澤市定陶區(qū)
呂梁市中陽(yáng)縣、東方市感城鎮(zhèn)、常州市新北區(qū)、榆林市府谷縣、涼山木里藏族自治縣、韶關(guān)市新豐縣、中山市中山港街道、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、無錫市錫山區(qū)、廣西桂林市荔浦市
遂寧市射洪市、洛陽(yáng)市洛寧縣、臨汾市翼城縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、黃南河南蒙古族自治縣、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、黃山市休寧縣、牡丹江市穆棱市、榆林市府谷縣、商洛市山陽(yáng)縣
廣州市越秀區(qū)、九江市武寧縣、果洛久治縣、昆明市富民縣、德州市德城區(qū)、安康市白河縣
咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣、張掖市山丹縣、寶雞市渭濱區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、上饒市信州區(qū)、鐵嶺市昌圖縣、開封市鼓樓區(qū)、周口市西華縣、洛陽(yáng)市偃師區(qū)
溫州市甌海區(qū)、懷化市鶴城區(qū)、東莞市洪梅鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市清鎮(zhèn)市、廣西桂林市秀峰區(qū)、湛江市廉江市、銅仁市德江縣、鷹潭市貴溪市
廣西玉林市北流市、許昌市襄城縣、恩施州利川市、西雙版納勐?？h、揚(yáng)州市儀征市、儋州市雅星鎮(zhèn)、廣西桂林市永?？h、瓊海市潭門鎮(zhèn)
泉州市惠安縣、重慶市九龍坡區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、楚雄牟定縣、運(yùn)城市平陸縣
廣西崇左市扶綏縣、荊門市掇刀區(qū)、嘉興市南湖區(qū)、昆明市東川區(qū)、大同市渾源縣、洛陽(yáng)市欒川縣、昆明市晉寧區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、廣元市旺蒼縣
雞西市雞冠區(qū)、棗莊市市中區(qū)、忻州市偏關(guān)縣、漢中市南鄭區(qū)、衡陽(yáng)市南岳區(qū)、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、周口市西華縣
湖州市安吉縣、大慶市肇州縣、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、韶關(guān)市新豐縣、儋州市王五鎮(zhèn)、九江市德安縣、湛江市霞山區(qū)、遂寧市安居區(qū)
三門峽市義馬市、菏澤市曹縣、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、廣西賀州市富川瑤族自治縣、廣元市朝天區(qū)、遵義市習(xí)水縣、定西市漳縣
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、贛州市石城縣、南平市邵武市、麗水市云和縣、保山市騰沖市、廣西柳州市融安縣、珠海市金灣區(qū)
遵義市赤水市、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、衡陽(yáng)市常寧市、甘南碌曲縣、南昌市灣里區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣
文昌市錦山鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、九江市共青城市、襄陽(yáng)市南漳縣、天津市靜海區(qū)、海北祁連縣、晉城市沁水縣、忻州市五臺(tái)縣
丹東市振安區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、遵義市習(xí)水縣、保山市施甸縣、樂山市犍為縣、咸陽(yáng)市楊陵區(qū)、臨滄市鳳慶縣、鶴壁市淇縣
濟(jì)寧市任城區(qū)、蘇州市太倉(cāng)市、天津市薊州區(qū)、許昌市鄢陵縣、寧夏固原市隆德縣、新鄉(xiāng)市原陽(yáng)縣、南京市建鄴區(qū)
遵義市桐梓縣、洛陽(yáng)市伊川縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、北京市通州區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、五指山市水滿
長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、張家界市桑植縣、隨州市廣水市、長(zhǎng)沙市開福區(qū)、益陽(yáng)市安化縣、常州市天寧區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)
長(zhǎng)治市潞州區(qū)、昆明市五華區(qū)、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣、遼源市東豐縣、莆田市仙游縣、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、西安市碑林區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣
寧夏吳忠市青銅峽市、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、郴州市汝城縣、商洛市商州區(qū)、定西市臨洮縣
徐州市新沂市、齊齊哈爾市訥河市、黃岡市黃州區(qū)、延安市寶塔區(qū)、合肥市肥東縣
邵陽(yáng)市武岡市、上饒市婺源縣、自貢市自流井區(qū)、阜新市彰武縣、紹興市越城區(qū)、懷化市會(huì)同縣、黔東南麻江縣、紹興市柯橋區(qū)、上海市徐匯區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣
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遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、涼山昭覺縣、晉中市平遙縣、廣元市朝天區(qū)、淮安市清江浦區(qū)、黔西南安龍縣、松原市扶余市
普洱市西盟佤族自治縣、酒泉市瓜州縣、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、甘孜巴塘縣、長(zhǎng)治市襄垣縣、鐵嶺市調(diào)兵山市
本溪市桓仁滿族自治縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣、開封市龍亭區(qū)、綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、黃石市大冶市、天津市和平區(qū)
天津市薊州區(qū)、萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、牡丹江市東寧市、安陽(yáng)市龍安區(qū)、海西蒙古族茫崖市、酒泉市肅州區(qū)、武漢市江夏區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、臨滄市鳳慶縣、大連市旅順口區(qū)
麗江市華坪縣、安康市嵐皋縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、忻州市河曲縣、棗莊市山亭區(qū)、晉城市陵川縣
重慶市北碚區(qū)、海東市互助土族自治縣、甘南卓尼縣、大慶市肇源縣、重慶市武隆區(qū)、泰安市泰山區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、信陽(yáng)市商城縣、漳州市云霄縣
雅安市天全縣、寧夏銀川市興慶區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、臨汾市安澤縣、株洲市醴陵市、江門市江海區(qū)、上饒市萬年縣
重慶市巫山縣、紹興市諸暨市、臨夏永靖縣、昆明市富民縣、銅仁市思南縣、晉中市壽陽(yáng)縣、南陽(yáng)市方城縣、黔東南臺(tái)江縣、云浮市羅定市、信陽(yáng)市息縣
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黔南三都水族自治縣、成都市郫都區(qū)、張掖市山丹縣、甘南夏河縣、郴州市安仁縣
揚(yáng)州市高郵市、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、雞西市麻山區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、三明市泰寧縣、文昌市文教鎮(zhèn)
呂梁市臨縣、郴州市安仁縣、南平市松溪縣、撫順市望花區(qū)、成都市青白江區(qū)、巴中市南江縣、廣西河池市金城江區(qū)、杭州市濱江區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市
南平市邵武市、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、天津市河?xùn)|區(qū)、佳木斯市湯原縣、錦州市北鎮(zhèn)市、常德市津市市、玉溪市峨山彝族自治縣、洛陽(yáng)市孟津區(qū)、婁底市婁星區(qū)、儋州市東成鎮(zhèn)
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孝感市大悟縣、西安市蓮湖區(qū)、晉中市左權(quán)縣、畢節(jié)市黔西市、濱州市陽(yáng)信縣、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、綏化市青岡縣、甘孜鄉(xiāng)城縣
內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、延安市延川縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、濰坊市奎文區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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