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臨汾市大寧縣、榆林市定邊縣、朝陽市龍城區(qū)、牡丹江市東安區(qū)、衡陽市蒸湘區(qū)、鄭州市二七區(qū)、韶關(guān)市仁化縣、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、晉中市昔陽縣
邵陽市綏寧縣、黔東南凱里市、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、許昌市鄢陵縣、黑河市遜克縣
周口市西華縣、上海市閔行區(qū)、重慶市綦江區(qū)、徐州市新沂市、榆林市靖邊縣、攀枝花市鹽邊縣、邵陽市新邵縣、廣西百色市那坡縣
玉樹稱多縣、寧德市柘榮縣、蕪湖市弋江區(qū)、蘇州市吳江區(qū)、德州市慶云縣、吉安市新干縣、渭南市白水縣
海西蒙古族茫崖市、綿陽市北川羌族自治縣、儋州市新州鎮(zhèn)、自貢市沿灘區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、七臺河市茄子河區(qū)
東莞市企石鎮(zhèn)、海東市化隆回族自治縣、遂寧市船山區(qū)、海西蒙古族格爾木市、濰坊市寒亭區(qū)
黔南貴定縣、寧德市古田縣、龍巖市新羅區(qū)、吉林市永吉縣、遼陽市文圣區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、九江市共青城市、運城市聞喜縣
廣西賀州市平桂區(qū)、渭南市富平縣、廣西梧州市藤縣、荊州市洪湖市、松原市寧江區(qū)、甘孜巴塘縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)
甘孜九龍縣、哈爾濱市雙城區(qū)、營口市老邊區(qū)、福州市馬尾區(qū)、黔東南鎮(zhèn)遠縣、廣西南寧市橫州市
葫蘆島市興城市、濱州市濱城區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、許昌市建安區(qū)、延安市宜川縣、安康市紫陽縣、成都市都江堰市、廣西柳州市柳南區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)
衢州市龍游縣、江門市江海區(qū)、牡丹江市穆棱市、亳州市利辛縣、張掖市肅南裕固族自治縣
益陽市沅江市、儋州市光村鎮(zhèn)、黑河市五大連池市、鷹潭市余江區(qū)、馬鞍山市和縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、晉中市靈石縣、雞西市城子河區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣
昆明市安寧市、儋州市海頭鎮(zhèn)、遵義市湄潭縣、蕪湖市鳩江區(qū)、瓊海市長坡鎮(zhèn)、晉城市陵川縣、晉中市祁縣、宜昌市點軍區(qū)、昆明市盤龍區(qū)、文昌市抱羅鎮(zhèn)
臨沂市郯城縣、上海市崇明區(qū)、聊城市冠縣、安順市西秀區(qū)、大慶市肇州縣
溫州市平陽縣、蚌埠市五河縣、洛陽市孟津區(qū)、廣西桂林市興安縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)
商丘市柘城縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、鄭州市新密市、廣西崇左市憑祥市、甘孜理塘縣、菏澤市牡丹區(qū)、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、涼山會理市
鐵嶺市清河區(qū)、宜春市上高縣、聊城市陽谷縣、果洛班瑪縣、鞍山市鐵東區(qū)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、定安縣富文鎮(zhèn)、哈爾濱市平房區(qū)、濰坊市壽光市
南京市棲霞區(qū)、五指山市水滿、漯河市臨潁縣、雞西市麻山區(qū)、湛江市吳川市、銅川市耀州區(qū)
廣西北海市鐵山港區(qū)、遼陽市遼陽縣、撫州市南城縣、淮安市淮陰區(qū)、雅安市蘆山縣
宜昌市五峰土家族自治縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)、東莞市長安鎮(zhèn)、德州市慶云縣、廣西桂林市象山區(qū)、吉林市舒蘭市、昆明市宜良縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、焦作市沁陽市、贛州市石城縣
潮州市潮安區(qū)、紹興市上虞區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、濮陽市華龍區(qū)、福州市臺江區(qū)、廣西來賓市興賓區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣
朝陽市凌源市、昭通市大關(guān)縣、邵陽市邵陽縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、連云港市灌南縣、鶴壁市鶴山區(qū)、甘孜爐霍縣、昆明市富民縣、揚州市廣陵區(qū)、重慶市墊江縣
梅州市梅縣區(qū)、邵陽市新寧縣、銅仁市碧江區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、鶴崗市興安區(qū)、大連市長?？h、韶關(guān)市曲江區(qū)
濟寧市梁山縣、平?jīng)鍪星f浪縣、嘉興市海寧市、慶陽市鎮(zhèn)原縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、九江市共青城市
三亞市吉陽區(qū)、日照市嵐山區(qū)、文山文山市、吉安市新干縣、揚州市寶應(yīng)縣、杭州市蕭山區(qū)、寧夏銀川市興慶區(qū)、隨州市曾都區(qū)、楚雄楚雄市
宜賓市高縣、晉中市祁縣、贛州市上猶縣、本溪市溪湖區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)
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武威市天祝藏族自治縣、鹽城市建湖縣、清遠市清城區(qū)、梅州市梅縣區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)、牡丹江市穆棱市、海南同德縣、普洱市景東彝族自治縣、龍巖市長汀縣、吉安市泰和縣
臨滄市臨翔區(qū)、沈陽市和平區(qū)、泰安市寧陽縣、臨汾市翼城縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、韶關(guān)市曲江區(qū)、濰坊市昌邑市、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、上海市黃浦區(qū)
黃岡市黃梅縣、西雙版納勐海縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、襄陽市襄州區(qū)、恩施州宣恩縣、駐馬店市遂平縣
銅川市耀州區(qū)、黃南澤庫縣、武威市天祝藏族自治縣、廣西百色市田林縣、廣西貴港市港北區(qū)、長沙市長沙縣
屯昌縣屯城鎮(zhèn)、焦作市沁陽市、大理云龍縣、三明市沙縣區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)、鞍山市鐵西區(qū)
鶴崗市向陽區(qū)、西安市藍田縣、紅河瀘西縣、定安縣龍門鎮(zhèn)、?？谑协偵絽^(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、臨汾市吉縣、武漢市青山區(qū)、嘉興市嘉善縣
朔州市懷仁市、西安市閻良區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、大興安嶺地區(qū)漠河市、東莞市高埗鎮(zhèn)、惠州市龍門縣
巴中市平昌縣、重慶市榮昌區(qū)、龍巖市長汀縣、雞西市滴道區(qū)、麗水市景寧畬族自治縣、臨高縣臨城鎮(zhèn)
莆田市涵江區(qū)、伊春市友好區(qū)、寶雞市金臺區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、梅州市梅縣區(qū)、鞍山市立山區(qū)
淮南市潘集區(qū)、荊門市東寶區(qū)、贛州市寧都縣、黃山市黟縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、上海市青浦區(qū)、重慶市永川區(qū)
濟南市天橋區(qū)、吉林市昌邑區(qū)、江門市江海區(qū)、宿遷市泗洪縣、焦作市解放區(qū)、麗水市縉云縣、焦作市溫縣、延安市子長市
南平市武夷山市、廈門市集美區(qū)、徐州市沛縣、綿陽市游仙區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、天水市清水縣、延邊安圖縣、南昌市進賢縣、楚雄武定縣
許昌市禹州市、?？谑行阌^(qū)、黑河市愛輝區(qū)、阜新市阜新蒙古族自治縣、重慶市萬州區(qū)、廣西賀州市鐘山縣
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雙鴨山市寶山區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、濟寧市魚臺縣、運城市絳縣、常州市武進區(qū)、延安市延長縣、樂山市市中區(qū)
忻州市定襄縣、銅陵市銅官區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、上饒市玉山縣、沈陽市于洪區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、撫順市望花區(qū)、廣安市武勝縣
西安市碑林區(qū)、文山馬關(guān)縣、濟南市鋼城區(qū)、黃岡市英山縣、淮南市大通區(qū)、廣西柳州市融安縣、重慶市渝北區(qū)、遵義市正安縣
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德州市慶云縣、撫州市資溪縣、廣西柳州市鹿寨縣、寧波市海曙區(qū)、南陽市臥龍區(qū)、榆林市吳堡縣、黃岡市黃梅縣、天津市北辰區(qū)、咸寧市嘉魚縣
哈爾濱市阿城區(qū)、煙臺市海陽市、廣西欽州市欽南區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、渭南市臨渭區(qū)
曲靖市富源縣、蘇州市相城區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、松原市寧江區(qū)、通化市輝南縣、北京市東城區(qū)、資陽市樂至縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、江門市蓬江區(qū)、淮北市杜集區(qū)
忻州市寧武縣、寧波市北侖區(qū)、深圳市南山區(qū)、通化市二道江區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、西安市鄠邑區(qū)
南陽市桐柏縣、海口市龍華區(qū)、廣西崇左市江州區(qū)、西安市新城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、溫州市平陽縣、常德市桃源縣、黔東南丹寨縣
合肥市廬陽區(qū)、焦作市博愛縣、文山馬關(guān)縣、廣西崇左市天等縣、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、泉州市金門縣、云浮市郁南縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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