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甘南合作市、南昌市東湖區(qū)、常德市澧縣、西安市未央?yún)^(qū)、東方市四更鎮(zhèn)、六安市葉集區(qū)、溫州市平陽(yáng)縣、齊齊哈爾市依安縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)
營(yíng)口市大石橋市、吉林市昌邑區(qū)、寧德市柘榮縣、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、常州市武進(jìn)區(qū)
襄陽(yáng)市樊城區(qū)、廣元市旺蒼縣、肇慶市鼎湖區(qū)、廣元市朝天區(qū)、三沙市西沙區(qū)
洛陽(yáng)市老城區(qū)、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、昆明市晉寧區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、重慶市渝中區(qū)、錦州市古塔區(qū)、荊門(mén)市掇刀區(qū)、儋州市海頭鎮(zhèn)
定安縣定城鎮(zhèn)、臺(tái)州市天臺(tái)縣、三明市沙縣區(qū)、甘南迭部縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣
永州市新田縣、齊齊哈爾市克東縣、福州市連江縣、呂梁市汾陽(yáng)市、聊城市臨清市、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、商丘市梁園區(qū)、大連市沙河口區(qū)、云浮市郁南縣
瀘州市合江縣、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、鶴壁市淇縣、上饒市橫峰縣、定西市渭源縣、寧夏固原市隆德縣、青島市黃島區(qū)、昆明市嵩明縣、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、湘潭市湘鄉(xiāng)市
梅州市大埔縣、廣西梧州市蒙山縣、甘孜甘孜縣、大連市中山區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、廣西貴港市平南縣、自貢市沿灘區(qū)
黔東南臺(tái)江縣、吉林市磐石市、漯河市臨潁縣、長(zhǎng)春市榆樹(shù)市、保亭黎族苗族自治縣什玲、涼山甘洛縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、遼源市東遼縣、臨沂市費(fèi)縣、東方市八所鎮(zhèn)
常德市武陵區(qū)、梅州市大埔縣、大慶市大同區(qū)、陽(yáng)泉市盂縣、安慶市岳西縣、韶關(guān)市始興縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、阜陽(yáng)市界首市、焦作市博愛(ài)縣、銅川市耀州區(qū)
伊春市湯旺縣、揚(yáng)州市儀征市、大同市靈丘縣、十堰市房縣、白城市大安市、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、十堰市丹江口市、臨沂市費(fèi)縣、延邊圖們市
江門(mén)市新會(huì)區(qū)、延邊龍井市、西寧市湟中區(qū)、東方市大田鎮(zhèn)、麗江市華坪縣、重慶市大足區(qū)
安康市漢濱區(qū)、大理永平縣、運(yùn)城市芮城縣、本溪市本溪滿(mǎn)族自治縣、西寧市大通回族土族自治縣
德州市臨邑縣、黔東南丹寨縣、臨汾市隰縣、滁州市天長(zhǎng)市、汕尾市海豐縣、合肥市廬江縣、丹東市鳳城市
常州市金壇區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、玉溪市峨山彝族自治縣、連云港市灌云縣、沈陽(yáng)市和平區(qū)
天水市張家川回族自治縣、樂(lè)東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、呂梁市交口縣、鐵嶺市清河區(qū)、撫順市東洲區(qū)、蕪湖市南陵縣、德州市德城區(qū)、深圳市寶安區(qū)
定西市漳縣、中山市大涌鎮(zhèn)、荊州市公安縣、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、迪慶德欽縣
安慶市宜秀區(qū)、天津市武清區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)、遼源市龍山區(qū)、渭南市華州區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、德陽(yáng)市羅江區(qū)、畢節(jié)市大方縣、西寧市城北區(qū)
臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、贛州市于都縣、武漢市東西湖區(qū)、伊春市伊美區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、鶴崗市東山區(qū)、自貢市富順縣、榆林市橫山區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)
徐州市豐縣、衡陽(yáng)市石鼓區(qū)、婁底市新化縣、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣、廣西玉林市博白縣
連云港市灌云縣、玉樹(shù)稱(chēng)多縣、六安市舒城縣、麗水市云和縣、河源市龍川縣、煙臺(tái)市龍口市、寶雞市太白縣、新鄉(xiāng)市延津縣
大慶市大同區(qū)、海東市平安區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、信陽(yáng)市平橋區(qū)、連云港市灌云縣
廣州市番禺區(qū)、合肥市廬江縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、南平市順昌縣、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、廣西桂林市灌陽(yáng)縣
日照市東港區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、南通市如皋市、臨夏臨夏市、咸陽(yáng)市淳化縣、玉樹(shù)曲麻萊縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、齊齊哈爾市泰來(lái)縣、漯河市召陵區(qū)、許昌市長(zhǎng)葛市
臨沂市臨沭縣、酒泉市肅州區(qū)、聊城市東阿縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、巴中市巴州區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、廣西百色市德?？h、濰坊市昌邑市、果洛瑪多縣、東營(yíng)市利津縣
佛山市高明區(qū)、重慶市江津區(qū)、大連市普蘭店區(qū)、宜春市靖安縣、許昌市長(zhǎng)葛市、廣西賀州市平桂區(qū)、九江市湖口縣、天津市北辰區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)
雅安市蘆山縣、潮州市饒平縣、酒泉市瓜州縣、貴陽(yáng)市開(kāi)陽(yáng)縣、寧夏銀川市賀蘭縣、齊齊哈爾市甘南縣
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無(wú)錫市江陰市、濟(jì)寧市曲阜市、合肥市包河區(qū)、延安市志丹縣、周口市太康縣、福州市閩侯縣
寧夏吳忠市同心縣、九江市湖口縣、佛山市三水區(qū)、云浮市云安區(qū)、濟(jì)寧市泗水縣、鐵嶺市開(kāi)原市、黔南惠水縣
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文昌市翁田鎮(zhèn)、武漢市江夏區(qū)、南陽(yáng)市桐柏縣、廣西河池市天峨縣、湘西州花垣縣、甘孜甘孜縣
南京市雨花臺(tái)區(qū)、曲靖市陸良縣、鞍山市千山區(qū)、大連市西崗區(qū)、廣安市鄰水縣
延安市子長(zhǎng)市、湘西州保靖縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、黔南羅甸縣、揚(yáng)州市高郵市、廣西貴港市港南區(qū)
張掖市民樂(lè)縣、濟(jì)南市市中區(qū)、廣西南寧市上林縣、金華市金東區(qū)、汕頭市金平區(qū)、安康市漢濱區(qū)、惠州市惠城區(qū)、蚌埠市蚌山區(qū)、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)
馬鞍山市和縣、貴陽(yáng)市息烽縣、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、黃石市鐵山區(qū)、珠海市香洲區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、內(nèi)江市東興區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀(guān)者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶(hù)擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿(mǎn)足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿(mǎn)足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠(chǎng)商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠(chǎng)商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠(chǎng)商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶(hù)側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線(xiàn)必需的PX（物理和X射線(xiàn)）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線(xiàn)類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線(xiàn)負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠(chǎng)建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線(xiàn)、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線(xiàn)、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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