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武漢市硚口區(qū)、長春市寬城區(qū)、江門市恩平市、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、金華市永康市、定西市安定區(qū)、盤錦市興隆臺區(qū)、舟山市嵊泗縣
寧德市福安市、定安縣定城鎮(zhèn)、畢節(jié)市納雍縣、丹東市寬甸滿族自治縣、咸陽市旬邑縣
黃石市黃石港區(qū)、巴中市南江縣、瀘州市納溪區(qū)、楚雄雙柏縣、安康市白河縣、衡陽市衡南縣、駐馬店市泌陽縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、鶴崗市工農(nóng)區(qū)
廣西河池市都安瑤族自治縣、南陽市南召縣、銅陵市義安區(qū)、廣西河池市東蘭縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、西安市未央?yún)^(qū)、駐馬店市驛城區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)
臨汾市汾西縣、上海市青浦區(qū)、廣西防城港市東興市、焦作市沁陽市、鐵嶺市銀州區(qū)、阜陽市潁上縣
白山市臨江市、洛陽市偃師區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、三亞市天涯區(qū)、邵陽市雙清區(qū)、大理永平縣、武漢市漢南區(qū)、鐵嶺市開原市、黔東南丹寨縣、開封市祥符區(qū)
廣西梧州市藤縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、廣西梧州市長洲區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、三明市尤溪縣、徐州市豐縣、延安市吳起縣、郴州市北湖區(qū)、舟山市嵊泗縣
南京市江寧區(qū)、重慶市武隆區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、營口市老邊區(qū)、漢中市城固縣、宜昌市長陽土家族自治縣、榆林市定邊縣
鄭州市中牟縣、黔西南興仁市、濱州市陽信縣、南昌市東湖區(qū)、四平市公主嶺市、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、玉溪市峨山彝族自治縣、臨高縣博厚鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、南京市六合區(qū)
湘潭市雨湖區(qū)、海西蒙古族天峻縣、玉溪市通?？h、白山市撫松縣、上饒市德興市
沈陽市遼中區(qū)、隴南市西和縣、紹興市上虞區(qū)、駐馬店市遂平縣、儋州市木棠鎮(zhèn)、鐵嶺市鐵嶺縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、營口市西市區(qū)、永州市雙牌縣、洛陽市孟津區(qū)
東莞市麻涌鎮(zhèn)、齊齊哈爾市建華區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、阜新市阜新蒙古族自治縣、廣西玉林市興業(yè)縣、慶陽市正寧縣、泉州市金門縣
白城市洮南市、宜春市奉新縣、呂梁市石樓縣、平頂山市新華區(qū)、銅仁市玉屏侗族自治縣、運城市稷山縣、鄭州市鞏義市、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣
荊州市松滋市、長沙市雨花區(qū)、達(dá)州市大竹縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、無錫市惠山區(qū)、東營市廣饒縣、臨沂市郯城縣
惠州市博羅縣、武漢市東西湖區(qū)、德州市寧津縣、伊春市嘉蔭縣、七臺河市茄子河區(qū)
淄博市博山區(qū)、信陽市潢川縣、宜春市上高縣、廣西梧州市藤縣、文昌市文教鎮(zhèn)、鄭州市上街區(qū)、北京市西城區(qū)、許昌市鄢陵縣
玉溪市新平彝族傣族自治縣、廣西河池市金城江區(qū)、溫州市永嘉縣、棗莊市臺兒莊區(qū)、大同市平城區(qū)、洛陽市伊川縣、上海市徐匯區(qū)
寧夏銀川市賀蘭縣、邵陽市新寧縣、定安縣富文鎮(zhèn)、大理劍川縣、大理賓川縣、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、天津市東麗區(qū)、無錫市新吳區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、徐州市銅山區(qū)
通化市柳河縣、常德市武陵區(qū)、黔南獨山縣、榆林市神木市、綿陽市北川羌族自治縣、阜陽市臨泉縣、廣西柳州市柳北區(qū)、淄博市周村區(qū)
洛陽市偃師區(qū)、遂寧市大英縣、自貢市富順縣、昆明市呈貢區(qū)、成都市大邑縣
大理云龍縣、長沙市瀏陽市、攀枝花市西區(qū)、煙臺市福山區(qū)、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)
溫州市泰順縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、天津市武清區(qū)、麗江市古城區(qū)、呂梁市嵐縣
昆明市嵩明縣、朝陽市北票市、蘇州市張家港市、杭州市拱墅區(qū)、南陽市西峽縣、重慶市城口縣
邵陽市雙清區(qū)、平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、六盤水市水城區(qū)、平頂山市湛河區(qū)、重慶市渝中區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、揭陽市揭東區(qū)、南京市高淳區(qū)
濮陽市清豐縣、江門市臺山市、常德市石門縣、廣西貴港市桂平市、鶴壁市山城區(qū)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、茂名市電白區(qū)、青島市即墨區(qū)、五指山市通什
?？谑旋埲A區(qū)、惠州市惠城區(qū)、阿壩藏族羌族自治州小金縣、蘭州市七里河區(qū)、延安市安塞區(qū)、昆明市石林彝族自治縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、忻州市定襄縣、嘉興市桐鄉(xiāng)市
德州市平原縣、東莞市沙田鎮(zhèn)、東方市東河鎮(zhèn)、重慶市永川區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、深圳市南山區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、咸陽市涇陽縣、商丘市梁園區(qū)
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濰坊市坊子區(qū)、福州市倉山區(qū)、甘南碌曲縣、廣安市鄰水縣、隴南市文縣、甘南合作市、韶關(guān)市仁化縣
德州市德城區(qū)、常德市津市市、運城市臨猗縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、莆田市秀嶼區(qū)、岳陽市汨羅市、銅陵市郊區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
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內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、內(nèi)江市隆昌市、松原市扶余市、東莞市沙田鎮(zhèn)、廣西北海市合浦縣、阜新市彰武縣、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、廣西桂林市陽朔縣
瓊海市嘉積鎮(zhèn)、晉中市太谷區(qū)、隨州市隨縣、漳州市龍海區(qū)、臨沂市沂水縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗
黃南河南蒙古族自治縣、紅河個舊市、松原市寧江區(qū)、白城市通榆縣、文山硯山縣
儋州市那大鎮(zhèn)、定西市岷縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、七臺河市新興區(qū)、揭陽市惠來縣
益陽市沅江市、儋州市光村鎮(zhèn)、黑河市五大連池市、鷹潭市余江區(qū)、馬鞍山市和縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、晉中市靈石縣、雞西市城子河區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣
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營口市鲅魚圈區(qū)、忻州市靜樂縣、大理鶴慶縣、株洲市天元區(qū)、黔南惠水縣、雅安市蘆山縣、中山市東區(qū)街道、文昌市會文鎮(zhèn)
畢節(jié)市納雍縣、重慶市永川區(qū)、邵陽市武岡市、鐵嶺市昌圖縣、宜春市高安市、陽江市江城區(qū)
定安縣龍湖鎮(zhèn)、濱州市博興縣、鄭州市新密市、安順市普定縣、黔南甕安縣、宜昌市猇亭區(qū)、寧德市福鼎市、曲靖市宣威市、麗水市慶元縣
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揭陽市普寧市、東營市廣饒縣、信陽市平橋區(qū)、廣西南寧市上林縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、鞍山市千山區(qū)、安慶市宜秀區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、日照市五蓮縣、延邊安圖縣
江門市臺山市、鶴壁市淇濱區(qū)、涼山喜德縣、白城市通榆縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、大理永平縣、洛陽市西工區(qū)、臨汾市霍州市
寧夏固原市彭陽縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、麗水市遂昌縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、文昌市東閣鎮(zhèn)
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萬寧市后安鎮(zhèn)、呂梁市柳林縣、宣城市績溪縣、無錫市濱湖區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、寧波市北侖區(qū)、濟(jì)寧市微山縣、懷化市芷江侗族自治縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、湘潭市湘鄉(xiāng)市
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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