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南充市高坪區(qū)、甘南合作市、南充市順慶區(qū)、廣安市華鎣市、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
漢中市佛坪縣、漳州市詔安縣、宜賓市長寧縣、朔州市懷仁市、涼山普格縣
渭南市臨渭區(qū)、鷹潭市貴溪市、金華市磐安縣、溫州市龍灣區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、成都市新津區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、運城市聞喜縣、黔西南貞豐縣
儋州市海頭鎮(zhèn)、徐州市云龍區(qū)、婁底市雙峰縣、南平市建甌市、贛州市龍南市、金華市婺城區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、棗莊市市中區(qū)
長治市潞州區(qū)、運城市稷山縣、大連市甘井子區(qū)、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、太原市尖草坪區(qū)、商丘市睢陽區(qū)、宜昌市興山縣、貴陽市南明區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、德州市德城區(qū)
天津市東麗區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、莆田市荔城區(qū)、渭南市澄城縣、五指山市水滿、鹽城市射陽縣
廣西百色市靖西市、昭通市威信縣、忻州市忻府區(qū)、成都市雙流區(qū)、孝感市云夢縣、西寧市湟中區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、大同市云州區(qū)、岳陽市平江縣、南陽市鎮(zhèn)平縣
榆林市佳縣、菏澤市曹縣、汕頭市潮陽區(qū)、果洛瑪沁縣、威海市環(huán)翠區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、漢中市寧強縣、東營市利津縣、肇慶市廣寧縣
貴陽市白云區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、天津市河北區(qū)、襄陽市谷城縣、宜賓市南溪區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、涼山西昌市、安陽市北關(guān)區(qū)
廣西南寧市橫州市、酒泉市敦煌市、金華市東陽市、渭南市富平縣、資陽市樂至縣、淮北市杜集區(qū)、株洲市淥口區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)
雞西市雞冠區(qū)、棗莊市市中區(qū)、忻州市偏關(guān)縣、漢中市南鄭區(qū)、衡陽市南岳區(qū)、長治市武鄉(xiāng)縣、周口市西華縣
岳陽市岳陽樓區(qū)、安慶市迎江區(qū)、大理賓川縣、寧夏吳忠市鹽池縣、揚州市邗江區(qū)、寧夏吳忠市同心縣、畢節(jié)市織金縣、延安市富縣
玉溪市峨山彝族自治縣、長治市長子縣、寧夏固原市西吉縣、榆林市橫山區(qū)、德州市武城縣、三明市沙縣區(qū)、連云港市灌南縣、天水市張家川回族自治縣、成都市青羊區(qū)、長治市武鄉(xiāng)縣
北京市平谷區(qū)、亳州市利辛縣、安康市白河縣、綏化市綏棱縣、長春市寬城區(qū)、沈陽市沈河區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、畢節(jié)市織金縣、贛州市上猶縣、連云港市灌云縣
永州市零陵區(qū)、葫蘆島市連山區(qū)、陽泉市礦區(qū)、資陽市安岳縣、銅仁市松桃苗族自治縣、綏化市慶安縣、恩施州宣恩縣、東方市大田鎮(zhèn)、昆明市五華區(qū)
岳陽市君山區(qū)、定西市渭源縣、南昌市安義縣、大理劍川縣、湛江市坡頭區(qū)、滁州市明光市、湛江市遂溪縣、益陽市安化縣、徐州市云龍區(qū)
廣西來賓市象州縣、寧德市周寧縣、漳州市漳浦縣、淮北市濉溪縣、東方市感城鎮(zhèn)、銅陵市郊區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、信陽市平橋區(qū)、合肥市長豐縣
聊城市茌平區(qū)、濰坊市昌樂縣、定西市岷縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、濟南市市中區(qū)
盤錦市雙臺子區(qū)、黑河市五大連池市、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、宿州市靈璧縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、重慶市大渡口區(qū)、吉安市安福縣、重慶市黔江區(qū)、聊城市茌平區(qū)
涼山會理市、上饒市廣信區(qū)、周口市西華縣、衢州市常山縣、黃岡市黃州區(qū)、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、寧德市柘榮縣
重慶市云陽縣、上海市金山區(qū)、鶴壁市淇縣、阜陽市界首市、汕頭市潮陽區(qū)、廣西梧州市岑溪市、東莞市寮步鎮(zhèn)
寶雞市陳倉區(qū)、濟南市萊蕪區(qū)、黃石市西塞山區(qū)、撫州市廣昌縣、上饒市橫峰縣
茂名市茂南區(qū)、廣西百色市靖西市、文昌市翁田鎮(zhèn)、合肥市包河區(qū)、北京市房山區(qū)、南陽市南召縣、保山市昌寧縣、德陽市羅江區(qū)
忻州市五臺縣、廣西柳州市柳南區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、臨沂市蘭山區(qū)、濰坊市臨朐縣
杭州市濱江區(qū)、九江市共青城市、廣州市荔灣區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、榆林市橫山區(qū)
榆林市府谷縣、濟寧市金鄉(xiāng)縣、撫州市金溪縣、上海市閔行區(qū)、宿州市泗縣、綿陽市鹽亭縣、紅河石屏縣
廣西賀州市富川瑤族自治縣、甘孜道孚縣、鐵嶺市西豐縣、臨汾市安澤縣、綿陽市游仙區(qū)、洛陽市洛龍區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)
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樂山市馬邊彝族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、天津市津南區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、吉安市青原區(qū)、大理賓川縣、白城市大安市
直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、廣西桂林市永?？h、佳木斯市富錦市、濱州市惠民縣、綏化市望奎縣、寧夏固原市原州區(qū)、梅州市梅江區(qū)、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣
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上饒市德興市、宜昌市當(dāng)陽市、樂山市沐川縣、臨沂市平邑縣、慶陽市環(huán)縣、定安縣翰林鎮(zhèn)、五指山市通什、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、晉城市陵川縣、六盤水市六枝特區(qū)
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澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、渭南市華州區(qū)、滁州市明光市、臨夏康樂縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、長春市寬城區(qū)、廣州市海珠區(qū)、安慶市太湖縣、哈爾濱市南崗區(qū)、慶陽市慶城縣
黔南長順縣、泰州市姜堰區(qū)、鄭州市上街區(qū)、黑河市五大連池市、錦州市黑山縣、贛州市于都縣、襄陽市?？悼h、梅州市蕉嶺縣、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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