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五指山市毛道、三明市沙縣區(qū)、廣西北海市合浦縣、文山馬關(guān)縣、阜陽市界首市、中山市阜沙鎮(zhèn)、贛州市龍南市
寧夏固原市隆德縣、廣州市增城區(qū)、贛州市興國縣、安慶市望江縣、張掖市民樂縣、張家界市武陵源區(qū)
大慶市龍鳳區(qū)、銅仁市石阡縣、南陽市西峽縣、滁州市來安縣、白城市通榆縣、天津市紅橋區(qū)、涼山甘洛縣、黔東南麻江縣、成都市新津區(qū)、成都市溫江區(qū)
內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、儋州市中和鎮(zhèn)、淮北市杜集區(qū)、六盤水市盤州市、阜新市阜新蒙古族自治縣、臨滄市鳳慶縣、咸寧市通城縣、寧夏銀川市興慶區(qū)、臨沂市蘭陵縣
陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、武漢市江夏區(qū)、南陽市新野縣、海南興?？h、廣西賀州市富川瑤族自治縣、荊州市江陵縣、黃岡市黃梅縣
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中山市南頭鎮(zhèn)、十堰市竹溪縣、涼山布拖縣、威海市環(huán)翠區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)
文昌市龍樓鎮(zhèn)、慶陽市華池縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、呂梁市孝義市、東莞市莞城街道、洛陽市嵩縣
臨汾市大寧縣、寧德市蕉城區(qū)、綏化市青岡縣、吉安市遂川縣、?？谑忻捞m區(qū)、四平市鐵東區(qū)
甘南卓尼縣、吉安市吉安縣、佳木斯市樺南縣、懷化市沅陵縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、陽泉市平定縣、馬鞍山市雨山區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)、三明市沙縣區(qū)
東莞市常平鎮(zhèn)、張掖市臨澤縣、海西蒙古族茫崖市、通化市柳河縣、曲靖市宣威市、西雙版納景洪市、盤錦市雙臺子區(qū)、重慶市酉陽縣、吉林市樺甸市、畢節(jié)市金沙縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、廣西玉林市博白縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、楚雄大姚縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、葫蘆島市連山區(qū)、駐馬店市平輿縣、黔南都勻市、丹東市鳳城市
黃南尖扎縣、宜昌市枝江市、揚州市邗江區(qū)、宣城市宣州區(qū)、長沙市望城區(qū)、眉山市洪雅縣、襄陽市宜城市、上饒市婺源縣
洛陽市西工區(qū)、宜昌市西陵區(qū)、杭州市西湖區(qū)、海西蒙古族都蘭縣、成都市武侯區(qū)、文昌市東閣鎮(zhèn)
海北祁連縣、牡丹江市海林市、青島市膠州市、開封市禹王臺區(qū)、曲靖市宣威市、大理鶴慶縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、上海市寶山區(qū)、太原市小店區(qū)、資陽市雁江區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、宜昌市猇亭區(qū)、臨沂市沂南縣、上海市普陀區(qū)、延安市黃龍縣、鞍山市鐵東區(qū)、九江市廬山市
聊城市茌平區(qū)、濰坊市昌樂縣、定西市岷縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、濟(jì)南市市中區(qū)
伊春市伊美區(qū)、恩施州建始縣、鄂州市梁子湖區(qū)、泰州市泰興市、白山市渾江區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、寧夏銀川市靈武市
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南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、三明市永安市、南昌市青山湖區(qū)、運城市鹽湖區(qū)、鹽城市東臺市
嘉興市海鹽縣、渭南市合陽縣、鄭州市登封市、贛州市信豐縣、榆林市橫山區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、淄博市淄川區(qū)、忻州市原平市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、阜新市阜新蒙古族自治縣
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咸陽市旬邑縣、黃石市西塞山區(qū)、通化市集安市、日照市莒縣、昭通市彝良縣、文昌市東路鎮(zhèn)、漢中市略陽縣、哈爾濱市道里區(qū)、宜春市高安市、廣西柳州市魚峰區(qū)
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合肥市瑤海區(qū)、郴州市臨武縣、蘇州市張家港市、漳州市華安縣、沈陽市大東區(qū)、伊春市伊美區(qū)、東方市大田鎮(zhèn)、武漢市江岸區(qū)、杭州市上城區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)
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廣西崇左市龍州縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、達(dá)州市大竹縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、荊州市江陵縣
澄邁縣老城鎮(zhèn)、蚌埠市蚌山區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、岳陽市云溪區(qū)、南京市溧水區(qū)、撫順市新?lián)釁^(qū)、北京市延慶區(qū)、周口市商水縣、西安市新城區(qū)、福州市鼓樓區(qū)
南平市邵武市、文山廣南縣、湛江市吳川市、蘇州市吳江區(qū)、寧波市奉化區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、安陽市湯陰縣、直轄縣仙桃市、雞西市梨樹區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣
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合肥市廬江縣、咸陽市渭城區(qū)、伊春市鐵力市、淮北市相山區(qū)、撫州市金溪縣、太原市晉源區(qū)、聊城市東阿縣、黔南獨山縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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