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安陽市林州市、昆明市東川區(qū)、金昌市金川區(qū)、溫州市甌海區(qū)、駐馬店市確山縣、白城市大安市、重慶市南川區(qū)、銅仁市印江縣、黃岡市紅安縣
?？谑协偵絽^(qū)、伊春市豐林縣、渭南市合陽縣、通化市集安市、吉安市遂川縣
玉樹雜多縣、濟(jì)南市市中區(qū)、揭陽市普寧市、通化市二道江區(qū)、湖州市德清縣、寧德市霞浦縣
嘉興市平湖市、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、信陽市商城縣、衡陽市常寧市、黃岡市浠水縣
萬寧市南橋鎮(zhèn)、撫順市新?lián)釁^(qū)、上海市金山區(qū)、開封市杞縣、商洛市洛南縣
朝陽市北票市、吉林市昌邑區(qū)、延安市宜川縣、黃岡市英山縣、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)
三門峽市靈寶市、楚雄南華縣、雅安市雨城區(qū)、榆林市子洲縣、齊齊哈爾市依安縣
呂梁市柳林縣、榆林市橫山區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、杭州市富陽區(qū)、三明市清流縣、沈陽市康平縣、儋州市東成鎮(zhèn)、臨汾市洪洞縣、營(yíng)口市站前區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
襄陽市棗陽市、阜新市彰武縣、韶關(guān)市武江區(qū)、遂寧市船山區(qū)、咸陽市旬邑縣、鷹潭市余江區(qū)、寧波市奉化區(qū)、六安市舒城縣
武威市涼州區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、南平市建陽區(qū)、咸陽市興平市
聊城市東阿縣、松原市長(zhǎng)嶺縣、沈陽市新民市、雅安市寶興縣、十堰市鄖西縣、德陽市綿竹市、廣西桂林市象山區(qū)
福州市閩侯縣、開封市鼓樓區(qū)、永州市道縣、忻州市忻府區(qū)、連云港市海州區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)、本溪市明山區(qū)
白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、寧夏固原市西吉縣、寶雞市千陽縣、晉城市高平市、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)
鄭州市中原區(qū)、青島市即墨區(qū)、哈爾濱市尚志市、福州市永泰縣、江門市恩平市、黔東南凱里市、中山市東升鎮(zhèn)、龍巖市新羅區(qū)
自貢市貢井區(qū)、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、南昌市西湖區(qū)、岳陽市華容縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、玉溪市通?？h、樂山市峨邊彝族自治縣
甘南臨潭縣、黃石市大冶市、晉中市祁縣、蘇州市太倉市、巴中市恩陽區(qū)、攀枝花市西區(qū)、遵義市鳳岡縣、上海市金山區(qū)
雙鴨山市友誼縣、臨汾市襄汾縣、重慶市南岸區(qū)、楚雄祿豐市、儋州市大成鎮(zhèn)、隴南市宕昌縣、濟(jì)南市歷下區(qū)、榆林市橫山區(qū)、北京市石景山區(qū)、瀘州市納溪區(qū)
攀枝花市東區(qū)、岳陽市云溪區(qū)、蕪湖市弋江區(qū)、蘇州市昆山市、貴陽市息烽縣、青島市城陽區(qū)
汕頭市濠江區(qū)、五指山市毛道、蚌埠市龍子湖區(qū)、葫蘆島市建昌縣、贛州市會(huì)昌縣、永州市藍(lán)山縣、黔西南安龍縣、常州市金壇區(qū)、東莞市企石鎮(zhèn)
淄博市張店區(qū)、涼山布拖縣、蕪湖市南陵縣、東方市大田鎮(zhèn)、海東市平安區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)
福州市福清市、中山市三角鎮(zhèn)、大理巍山彝族回族自治縣、麗江市古城區(qū)、平頂山市新華區(qū)、上饒市鉛山縣、商丘市柘城縣
鄭州市中牟縣、黔西南興仁市、濱州市陽信縣、南昌市東湖區(qū)、四平市公主嶺市、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、玉溪市峨山彝族自治縣、臨高縣博厚鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、南京市六合區(qū)
朔州市平魯區(qū)、甘孜德格縣、梅州市豐順縣、昭通市威信縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、阜新市新邱區(qū)、茂名市高州市
大連市金州區(qū)、合肥市包河區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、泰州市泰興市、忻州市靜樂縣
六安市舒城縣、重慶市榮昌區(qū)、天津市薊州區(qū)、哈爾濱市巴彥縣、樂山市馬邊彝族自治縣、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、無錫市新吳區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、文山丘北縣、南平市邵武市
海東市民和回族土族自治縣、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、瓊海市陽江鎮(zhèn)、三沙市南沙區(qū)、大慶市紅崗區(qū)
臨沂市蒙陰縣、渭南市韓城市、麗水市縉云縣、酒泉市玉門市、廣西河池市金城江區(qū)、寧夏固原市西吉縣、楚雄元謀縣、荊州市洪湖市
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海西蒙古族烏蘭縣、大連市沙河口區(qū)、南陽市淅川縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、綏化市綏棱縣、濟(jì)寧市梁山縣、常德市石門縣、黃南尖扎縣
內(nèi)江市隆昌市、汕尾市陸豐市、南平市邵武市、東莞市企石鎮(zhèn)、揚(yáng)州市寶應(yīng)縣
內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、鹽城市響水縣、海南興?？h、眉山市東坡區(qū)、大同市渾源縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、玉溪市易門縣、貴陽市修文縣、北京市平谷區(qū)、安慶市宿松縣
株洲市茶陵縣、福州市馬尾區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、商丘市寧陵縣、雙鴨山市友誼縣、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、湖州市長(zhǎng)興縣、綏化市明水縣、蘭州市皋蘭縣
鷹潭市余江區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、菏澤市鄄城縣、上饒市廣信區(qū)、瀘州市古藺縣、上海市黃浦區(qū)、吉林市永吉縣、甘孜雅江縣、長(zhǎng)沙市開福區(qū)
資陽市安岳縣、上海市崇明區(qū)、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、綏化市慶安縣、朔州市右玉縣、上饒市鉛山縣
淮北市相山區(qū)、榆林市佳縣、南充市嘉陵區(qū)、武漢市武昌區(qū)、商丘市睢縣、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、呂梁市交口縣
麗水市青田縣、三門峽市陜州區(qū)、徐州市沛縣、廣西南寧市武鳴區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、河源市源城區(qū)、長(zhǎng)春市朝陽區(qū)、廣西防城港市東興市
寧德市屏南縣、遼陽市遼陽縣、甘南瑪曲縣、臨汾市翼城縣、荊門市鐘祥市、貴陽市清鎮(zhèn)市、宿遷市沭陽縣、肇慶市鼎湖區(qū)、廣西南寧市江南區(qū)
濰坊市青州市、盤錦市盤山縣、湘西州花垣縣、吉安市吉安縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)
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廣安市鄰水縣、六安市霍山縣、廣西桂林市臨桂區(qū)、雅安市寶興縣、寧波市鄞州區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、大連市旅順口區(qū)
晉城市沁水縣、五指山市番陽、九江市武寧縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣、岳陽市平江縣、湖州市長(zhǎng)興縣、青島市黃島區(qū)、晉中市和順縣、十堰市丹江口市
六安市霍山縣、黑河市嫩江市、大同市靈丘縣、東方市江邊鄉(xiāng)、商丘市梁園區(qū)、銅陵市樅陽縣、南昌市新建區(qū)、東莞市沙田鎮(zhèn)、臨汾市堯都區(qū)、沈陽市新民市
德宏傣族景頗族自治州芒市、甘孜九龍縣、瀘州市合江縣、梅州市豐順縣、駐馬店市泌陽縣、廣西玉林市興業(yè)縣、周口市鄲城縣
黃岡市武穴市、臺(tái)州市三門縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、安陽市滑縣、七臺(tái)河市桃山區(qū)、荊州市江陵縣、貴陽市修文縣、伊春市伊美區(qū)
渭南市大荔縣、哈爾濱市巴彥縣、池州市東至縣、宜春市奉新縣、上海市黃浦區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、廣西崇左市大新縣
廣州市越秀區(qū)、開封市順河回族區(qū)、天津市津南區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、定安縣龍湖鎮(zhèn)、遂寧市大英縣、重慶市城口縣、文昌市重興鎮(zhèn)、吉林市永吉縣
渭南市華陰市、中山市黃圃鎮(zhèn)、鞍山市鐵西區(qū)、上海市嘉定區(qū)、合肥市肥東縣、天水市秦州區(qū)、肇慶市端州區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、遵義市仁懷市
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麗水市景寧畬族自治縣、廣西百色市那坡縣、杭州市下城區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、成都市金牛區(qū)、六安市霍山縣、福州市永泰縣、棗莊市山亭區(qū)、佛山市禪城區(qū)、新余市分宜縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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