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宜春市樟樹(shù)市、榆林市吳堡縣、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、廣西崇左市大新縣、廣西河池市南丹縣、臺(tái)州市椒江區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、營(yíng)口市鲅魚(yú)圈區(qū)、上海市黃浦區(qū)、鞍山市岫巖滿(mǎn)族自治縣
江門(mén)市臺(tái)山市、文昌市潭牛鎮(zhèn)、大理祥云縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、金華市金東區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、延安市延川縣、黑河市五大連池市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、鞍山市臺(tái)安縣
常州市溧陽(yáng)市、隴南市康縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、上饒市橫峰縣
太原市萬(wàn)柏林區(qū)、齊齊哈爾市龍江縣、大連市普蘭店區(qū)、東莞市石碣鎮(zhèn)、蘇州市常熟市
大連市西崗區(qū)、張家界市武陵源區(qū)、深圳市羅湖區(qū)、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、淮北市烈山區(qū)、雞西市密山市、甘孜稻城縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、鶴崗市綏濱縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、汕尾市陸豐市、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)
郴州市蘇仙區(qū)、佳木斯市湯原縣、蘇州市張家港市、廣西賀州市昭平縣、巴中市通江縣、阜新市清河門(mén)區(qū)、大同市云岡區(qū)、楚雄楚雄市、河源市東源縣、上海市楊浦區(qū)
安康市鎮(zhèn)坪縣、武威市民勤縣、昭通市昭陽(yáng)區(qū)、廣安市華鎣市、大理南澗彝族自治縣、牡丹江市東寧市、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣、海北海晏縣
棗莊市市中區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、海南貴南縣、南昌市南昌縣、成都市大邑縣
廣西崇左市憑祥市、六盤(pán)水市盤(pán)州市、雙鴨山市友誼縣、昭通市永善縣、大理漾濞彝族自治縣、黃岡市黃州區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、重慶市北碚區(qū)
達(dá)州市萬(wàn)源市、宿遷市沭陽(yáng)縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、黔西南安龍縣、汕頭市澄海區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、麗水市景寧畬族自治縣
紅河石屏縣、撫州市南城縣、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、瀘州市合江縣、張掖市山丹縣、大同市平城區(qū)
駐馬店市確山縣、黑河市五大連池市、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、楚雄祿豐市、淮安市淮安區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、蚌埠市龍子湖區(qū)
大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、攀枝花市仁和區(qū)、駐馬店市確山縣、洛陽(yáng)市新安縣、延安市寶塔區(qū)、延安市宜川縣、常州市天寧區(qū)、湖州市德清縣、佛山市禪城區(qū)
曲靖市富源縣、株洲市淥口區(qū)、晉中市靈石縣、重慶市榮昌區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、松原市扶余市、大同市云州區(qū)、大慶市肇源縣、西安市新城區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、許昌市禹州市、南昌市南昌縣、撫州市黎川縣、廣西玉林市容縣
黔西南興仁市、黃石市鐵山區(qū)、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、麗水市云和縣、南平市浦城縣、張家界市武陵源區(qū)、溫州市泰順縣、眉山市彭山區(qū)
海西蒙古族茫崖市、宜賓市屏山縣、錦州市義縣、紅河開(kāi)遠(yuǎn)市、渭南市臨渭區(qū)、襄陽(yáng)市襄城區(qū)、大慶市讓胡路區(qū)
長(zhǎng)治市潞城區(qū)、遵義市赤水市、太原市杏花嶺區(qū)、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣、渭南市富平縣
寧德市周寧縣、安康市漢濱區(qū)、太原市迎澤區(qū)、自貢市貢井區(qū)、安康市紫陽(yáng)縣、大同市云州區(qū)、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)
惠州市惠東縣、宜賓市南溪區(qū)、鶴崗市南山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿(mǎn)洲里市、松原市寧江區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、中山市南區(qū)街道、錦州市黑山縣
黔東南從江縣、西雙版納景洪市、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、周口市鄲城縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)
大慶市紅崗區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、寶雞市岐山縣、荊門(mén)市鐘祥市
青島市市南區(qū)、通化市東昌區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、吉安市新干縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗
荊門(mén)市東寶區(qū)、眉山市青神縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、雙鴨山市友誼縣、黃山市屯溪區(qū)、江門(mén)市新會(huì)區(qū)、安康市紫陽(yáng)縣、濟(jì)寧市鄒城市
濟(jì)南市商河縣、貴陽(yáng)市修文縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、樂(lè)山市市中區(qū)、龍巖市連城縣、麗江市永勝縣、日照市東港區(qū)
廣元市利州區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、南充市營(yíng)山縣、甘南夏河縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、淮安市漣水縣、寧夏銀川市西夏區(qū)
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內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、臨夏臨夏市、畢節(jié)市納雍縣、葫蘆島市南票區(qū)、鞍山市臺(tái)安縣、甘南合作市、溫州市泰順縣、棗莊市山亭區(qū)、阜陽(yáng)市潁上縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、紹興市諸暨市、咸陽(yáng)市乾縣、紹興市上虞區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、衢州市江山市、遵義市仁懷市、徐州市睢寧縣、菏澤市單縣
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揭陽(yáng)市普寧市、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、臨夏永靖縣、洛陽(yáng)市新安縣、鹽城市建湖縣、安康市漢濱區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)、泉州市晉江市、南充市儀隴縣、福州市鼓樓區(qū)
汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、吉安市永新縣、錦州市古塔區(qū)、海北剛察縣、重慶市石柱土家族自治縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、撫順市順城區(qū)、揚(yáng)州市儀征市
定安縣龍河鎮(zhèn)、資陽(yáng)市安岳縣、淄博市博山區(qū)、宜春市萬(wàn)載縣、黃石市下陸區(qū)
黔東南凱里市、運(yùn)城市聞喜縣、聊城市高唐縣、臨沂市郯城縣、齊齊哈爾市甘南縣、呂梁市柳林縣、懷化市中方縣、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)
綿陽(yáng)市江油市、運(yùn)城市平陸縣、天水市麥積區(qū)、臺(tái)州市玉環(huán)市、商洛市鎮(zhèn)安縣、營(yíng)口市西市區(qū)、晉中市壽陽(yáng)縣
十堰市張灣區(qū)、深圳市寶安區(qū)、廣西桂林市灌陽(yáng)縣、廣西百色市田東縣、撫順市撫順縣、儋州市大成鎮(zhèn)、恩施州來(lái)鳳縣、十堰市房縣、廣安市武勝縣
淮安市洪澤區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、日照市東港區(qū)、三明市明溪縣、韶關(guān)市湞江區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、濱州市無(wú)棣縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、駐馬店市上蔡縣、朔州市平魯區(qū)、洛陽(yáng)市洛寧縣、丹東市振安區(qū)、黃石市下陸區(qū)
岳陽(yáng)市云溪區(qū)、重慶市南川區(qū)、廣安市廣安區(qū)、東莞市莞城街道、海南貴德縣、五指山市通什、大同市云州區(qū)、深圳市寶安區(qū)、張掖市高臺(tái)縣
東莞市南城街道、福州市福清市、長(zhǎng)春市二道區(qū)、鶴崗市東山區(qū)、九江市武寧縣、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、邵陽(yáng)市綏寧縣、重慶市忠縣、湘西州古丈縣、信陽(yáng)市息縣
濱州市濱城區(qū)、大理永平縣、寧波市寧?？h、寶雞市千陽(yáng)縣、菏澤市鄆城縣、朔州市懷仁市
紅河蒙自市、邵陽(yáng)市邵東市、淮南市田家庵區(qū)、株洲市天元區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、重慶市南川區(qū)、大理巍山彝族回族自治縣、鹽城市東臺(tái)市、渭南市潼關(guān)縣
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合肥市長(zhǎng)豐縣、廣西崇左市天等縣、鐵嶺市清河區(qū)、焦作市解放區(qū)、淄博市周村區(qū)、福州市羅源縣、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)
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廣西柳州市柳北區(qū)、重慶市彭水苗族土家族自治縣、西雙版納景洪市、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)
中山市阜沙鎮(zhèn)、五指山市南圣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、楚雄元謀縣、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、恩施州恩施市、濰坊市寒亭區(qū)、蚌埠市蚌山區(qū)
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南充市嘉陵區(qū)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、福州市閩清縣、廣州市南沙區(qū)、寧夏固原市彭陽(yáng)縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、臨夏永靖縣、商洛市商州區(qū)、黑河市五大連池市
普洱市思茅區(qū)、臨汾市古縣、福州市羅源縣、甘南迭部縣、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣
鹽城市東臺(tái)市、樂(lè)山市夾江縣、湖州市吳興區(qū)、菏澤市定陶區(qū)、南陽(yáng)市方城縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶(hù)擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿(mǎn)足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿(mǎn)足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶(hù)側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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