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怒江傈僳族自治州瀘水市、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、十堰市茅箭區(qū)、焦作市武陟縣、洛陽市洛龍區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、云浮市羅定市、蚌埠市禹會(huì)區(qū)
宜春市上高縣、馬鞍山市雨山區(qū)、九江市柴桑區(qū)、衡陽市珠暉區(qū)、泰安市新泰市、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、九江市瑞昌市、咸寧市崇陽縣、長(zhǎng)治市屯留區(qū)、無錫市錫山區(qū)
通化市二道江區(qū)、晉中市昔陽縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、哈爾濱市巴彥縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)
運(yùn)城市河津市、海東市互助土族自治縣、漳州市龍文區(qū)、寧夏石嘴山市平羅縣、商丘市睢陽區(qū)、信陽市潢川縣
白銀市景泰縣、果洛甘德縣、鹽城市建湖縣、信陽市淮濱縣、甘孜理塘縣、天津市寧河區(qū)、哈爾濱市五常市、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)
上海市徐匯區(qū)、廣西北海市合浦縣、東營(yíng)市廣饒縣、定西市安定區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、撫順市順城區(qū)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、臨沂市臨沭縣、常德市石門縣、曲靖市馬龍區(qū)
屯昌縣南呂鎮(zhèn)、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、通化市東昌區(qū)、成都市郫都區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、婁底市漣源市、婁底市婁星區(qū)、白城市洮北區(qū)
周口市淮陽區(qū)、通化市東昌區(qū)、永州市零陵區(qū)、黔南長(zhǎng)順縣、合肥市廬陽區(qū)、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、德州市德城區(qū)、南平市政和縣、三明市寧化縣
雙鴨山市寶山區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、運(yùn)城市絳縣、常州市武進(jìn)區(qū)、延安市延長(zhǎng)縣、樂山市市中區(qū)
常德市臨澧縣、淮南市鳳臺(tái)縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、廣安市前鋒區(qū)、上海市金山區(qū)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、深圳市龍崗區(qū)、通化市集安市、東方市江邊鄉(xiāng)
濟(jì)南市萊蕪區(qū)、廈門市海滄區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、寧德市蕉城區(qū)、汕尾市陸豐市、陽泉市盂縣、葫蘆島市興城市
贛州市贛縣區(qū)、漢中市西鄉(xiāng)縣、泰州市興化市、臨汾市霍州市、廣西桂林市灌陽縣、銅仁市德江縣
株洲市淥口區(qū)、南平市浦城縣、棗莊市嶧城區(qū)、南平市松溪縣、黔東南麻江縣、榆林市子洲縣
鶴崗市南山區(qū)、開封市禹王臺(tái)區(qū)、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、萬寧市北大鎮(zhèn)、沈陽市和平區(qū)、廣西百色市西林縣、無錫市新吳區(qū)、十堰市房縣
成都市郫都區(qū)、安陽市內(nèi)黃縣、玉溪市江川區(qū)、綏化市安達(dá)市、鹽城市大豐區(qū)、甘南瑪曲縣
東莞市石龍鎮(zhèn)、焦作市溫縣、大慶市林甸縣、鐵嶺市調(diào)兵山市、中山市橫欄鎮(zhèn)、常德市武陵區(qū)
揚(yáng)州市邗江區(qū)、重慶市巫山縣、福州市平潭縣、漢中市洋縣、三明市大田縣、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、廣西玉林市玉州區(qū)、株洲市攸縣
蘇州市虎丘區(qū)、寶雞市鳳翔區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、咸陽市秦都區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、重慶市渝中區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、重慶市大渡口區(qū)、太原市尖草坪區(qū)、池州市東至縣
曲靖市富源縣、洛陽市欒川縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、麗水市云和縣、鄭州市上街區(qū)、撫州市崇仁縣、揚(yáng)州市儀征市、西安市蓮湖區(qū)
湖州市德清縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、西寧市城北區(qū)、五指山市毛陽、銅仁市玉屏侗族自治縣、廣西桂林市荔浦市、廣西南寧市賓陽縣
駐馬店市正陽縣、洛陽市伊川縣、果洛瑪沁縣、江門市鶴山市、中山市東升鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、貴陽市清鎮(zhèn)市
郴州市臨武縣、廣西來賓市興賓區(qū)、梅州市豐順縣、泉州市南安市、婁底市雙峰縣、淄博市淄川區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、濰坊市昌邑市
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、湛江市吳川市、廣安市鄰水縣、銅仁市萬山區(qū)、重慶市涪陵區(qū)、廣西柳州市魚峰區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)
文昌市錦山鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、九江市共青城市、襄陽市南漳縣、天津市靜海區(qū)、海北祁連縣、晉城市沁水縣、忻州市五臺(tái)縣
廣西河池市鳳山縣、衡陽市衡南縣、嘉興市海鹽縣、哈爾濱市方正縣、寶雞市岐山縣、宜春市萬載縣、安陽市殷都區(qū)、威海市文登區(qū)、濮陽市臺(tái)前縣
西安市閻良區(qū)、泰安市肥城市、鞍山市鐵西區(qū)、重慶市江北區(qū)、上海市黃浦區(qū)、文昌市文城鎮(zhèn)
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中山市南頭鎮(zhèn)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、東莞市清溪鎮(zhèn)、廣西桂林市雁山區(qū)、昆明市宜良縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、海南共和縣
洛陽市老城區(qū)、五指山市南圣、臨高縣新盈鎮(zhèn)、甘孜石渠縣、巴中市南江縣、駐馬店市確山縣、廣西南寧市橫州市、海西蒙古族都蘭縣、資陽市雁江區(qū)、瀘州市龍馬潭區(qū)
湛江市霞山區(qū)、北京市西城區(qū)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、泰安市東平縣、廣西北海市合浦縣、呂梁市孝義市
宿州市蕭縣、菏澤市定陶區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、漢中市南鄭區(qū)、楚雄武定縣、廣西玉林市福綿區(qū)、臨汾市大寧縣、沈陽市新民市、甘南迭部縣
吉安市遂川縣、珠海市金灣區(qū)、天津市南開區(qū)、蘇州市常熟市、張家界市慈利縣、云浮市新興縣
吉安市吉水縣、成都市蒲江縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、眉山市洪雅縣、永州市江華瑤族自治縣、常州市天寧區(qū)、沈陽市大東區(qū)、郴州市北湖區(qū)
朔州市右玉縣、溫州市龍灣區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、恩施州建始縣、黔西南望謨縣
榆林市定邊縣、鶴崗市南山區(qū)、綏化市海倫市、樂山市金口河區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、衡陽市祁東縣、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、滁州市天長(zhǎng)市、哈爾濱市阿城區(qū)
深圳市龍崗區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、淄博市淄川區(qū)、臨夏永靖縣、運(yùn)城市萬榮縣、錦州市凌河區(qū)、信陽市光山縣、晉城市沁水縣
楚雄牟定縣、黔南羅甸縣、泰州市海陵區(qū)、龍巖市武平縣、吉安市新干縣、昭通市魯?shù)榭h、廣西北海市鐵山港區(qū)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽縣、寧德市古田縣
萍鄉(xiāng)市蓮花縣、廣西賀州市鐘山縣、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、汕頭市龍湖區(qū)、儋州市新州鎮(zhèn)
樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、云浮市郁南縣、合肥市廬陽區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、新鄉(xiāng)市原陽縣、西安市灞橋區(qū)、濟(jì)南市鋼城區(qū)
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麗江市寧蒗彝族自治縣、大連市金州區(qū)、鄂州市鄂城區(qū)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、三亞市崖州區(qū)、溫州市甌海區(qū)、綿陽市安州區(qū)、鄭州市金水區(qū)、撫州市樂安縣
白銀市景泰縣、郴州市汝城縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣、平頂山市郟縣、樂山市沐川縣
呂梁市孝義市、廣西南寧市良慶區(qū)、黔東南麻江縣、渭南市澄城縣、文昌市文教鎮(zhèn)、黔南貴定縣、寧夏固原市西吉縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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