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鎮(zhèn)江市句容市、呂梁市離石區(qū)、鄭州市中原區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、重慶市渝中區(qū)
定西市通渭縣、黑河市孫吳縣、楚雄楚雄市、儋州市南豐鎮(zhèn)、松原市乾安縣、丹東市鳳城市
鄭州市金水區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、廣西柳州市融水苗族自治縣、廣西百色市隆林各族自治縣、牡丹江市林口縣、丹東市寬甸滿族自治縣、渭南市臨渭區(qū)、淮安市金湖縣、昆明市西山區(qū)、白山市江源區(qū)
文山丘北縣、棗莊市山亭區(qū)、贛州市尋烏縣、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、安慶市宿松縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、洛陽(yáng)市洛寧縣、呂梁市臨縣、佳木斯市樺南縣
鐵嶺市鐵嶺縣、福州市倉(cāng)山區(qū)、攀枝花市西區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)
黔南甕安縣、甘孜丹巴縣、三亞市海棠區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)、安康市漢濱區(qū)、婁底市雙峰縣、廣西柳州市柳南區(qū)
忻州市岢嵐縣、東莞市麻涌鎮(zhèn)、濰坊市諸城市、黃石市黃石港區(qū)、東莞市石排鎮(zhèn)、天水市清水縣、本溪市明山區(qū)
襄陽(yáng)市谷城縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、重慶市渝北區(qū)、益陽(yáng)市安化縣、黃山市祁門縣、合肥市瑤海區(qū)、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市
駐馬店市遂平縣、西雙版納勐臘縣、西安市高陵區(qū)、北京市西城區(qū)、周口市鄲城縣、?？谑旋埲A區(qū)、廣西柳州市三江侗族自治縣、雞西市城子河區(qū)
嘉興市南湖區(qū)、阜陽(yáng)市太和縣、茂名市茂南區(qū)、重慶市江北區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、青島市市北區(qū)、臨沂市費(fèi)縣、婁底市雙峰縣、涼山喜德縣
金華市蘭溪市、佳木斯市樺川縣、天津市西青區(qū)、淮安市盱眙縣、伊春市南岔縣、陽(yáng)泉市盂縣、淄博市博山區(qū)、臨滄市云縣、永州市東安縣、屯昌縣屯城鎮(zhèn)
肇慶市德慶縣、徐州市睢寧縣、寧波市象山縣、佳木斯市樺南縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、蕪湖市灣沚區(qū)、東莞市企石鎮(zhèn)、湛江市廉江市、天水市秦安縣
九江市瑞昌市、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、南京市棲霞區(qū)、楚雄南華縣、渭南市白水縣、張掖市甘州區(qū)、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市
湘潭市韶山市、東莞市石龍鎮(zhèn)、合肥市巢湖市、朔州市平魯區(qū)、蕪湖市南陵縣、宜昌市遠(yuǎn)安縣
廣元市昭化區(qū)、東莞市清溪鎮(zhèn)、銅仁市沿河土家族自治縣、臨沂市沂水縣、寧德市柘榮縣、寧波市北侖區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)
萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、宜春市上高縣、蘭州市七里河區(qū)、龍巖市上杭縣、龍巖市新羅區(qū)、臨沂市莒南縣
杭州市富陽(yáng)區(qū)、通化市梅河口市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、昆明市五華區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、朝陽(yáng)市北票市、廣西南寧市上林縣、汕頭市南澳縣、隨州市曾都區(qū)
大同市左云縣、孝感市安陸市、嘉興市秀洲區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、武威市民勤縣、臨汾市侯馬市、通化市二道江區(qū)、福州市永泰縣、黃山市屯溪區(qū)
廣安市華鎣市、齊齊哈爾市克東縣、樂(lè)山市五通橋區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、衡陽(yáng)市祁東縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、平?jīng)鍪腥A亭縣、保山市昌寧縣、雙鴨山市友誼縣
天水市武山縣、廣西防城港市上思縣、通化市集安市、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)
鞍山市立山區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、中山市東升鎮(zhèn)、淮安市清江浦區(qū)、榆林市清澗縣
鄭州市登封市、本溪市平山區(qū)、安康市漢陰縣、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市黎城縣、青島市萊西市、寶雞市千陽(yáng)縣、南昌市灣里區(qū)
三門峽市盧氏縣、鶴壁市?？h、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、廣西桂林市灌陽(yáng)縣、朔州市平魯區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、甘孜白玉縣、十堰市竹山縣
吉安市永豐縣、濱州市陽(yáng)信縣、杭州市西湖區(qū)、大慶市大同區(qū)、榆林市神木市、安慶市太湖縣、咸陽(yáng)市永壽縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、濰坊市高密市
廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、慶陽(yáng)市合水縣、嘉興市平湖市、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、許昌市長(zhǎng)葛市、甘孜康定市、商洛市商州區(qū)
濟(jì)寧市任城區(qū)、蘭州市永登縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、瓊海市大路鎮(zhèn)、廣西桂林市秀峰區(qū)、開封市尉氏縣
樂(lè)山市金口河區(qū)、平頂山市葉縣、許昌市鄢陵縣、佳木斯市向陽(yáng)區(qū)、泰州市海陵區(qū)、江門市蓬江區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、牡丹江市寧安市、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)
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西寧市城中區(qū)、武漢市漢陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、開封市蘭考縣、株洲市蘆淞區(qū)、麗水市慶元縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、肇慶市四會(huì)市、湛江市麻章區(qū)、運(yùn)城市永濟(jì)市
延安市黃龍縣、鹽城市阜寧縣、咸寧市通城縣、上海市金山區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、遵義市赤水市
內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、南通市海門區(qū)、漢中市漢臺(tái)區(qū)、黃南同仁市、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、廣州市增城區(qū)、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
中山市石岐街道、廣元市青川縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、襄陽(yáng)市襄州區(qū)、安慶市大觀區(qū)
綏化市肇東市、撫州市樂(lè)安縣、忻州市原平市、韶關(guān)市曲江區(qū)、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、河源市和平縣
合肥市廬陽(yáng)區(qū)、清遠(yuǎn)市連南瑤族自治縣、寧夏銀川市西夏區(qū)、甘孜色達(dá)縣、西安市藍(lán)田縣、寶雞市麟游縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、鶴崗市興安區(qū)、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)
成都市錦江區(qū)、安陽(yáng)市滑縣、渭南市潼關(guān)縣、七臺(tái)河市勃利縣、黔西南興義市、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣、楚雄元謀縣、廣安市華鎣市
婁底市冷水江市、北京市朝陽(yáng)區(qū)、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、延安市富縣、宿州市蕭縣、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、伊春市鐵力市
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洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、東方市江邊鄉(xiāng)、哈爾濱市五常市、平?jīng)鍪谐缧趴h、文山馬關(guān)縣、揚(yáng)州市邗江區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、涼山金陽(yáng)縣、雞西市密山市、大連市甘井子區(qū)
阿壩藏族羌族自治州理縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、宜賓市筠連縣、曲靖市師宗縣、廣西南寧市興寧區(qū)、綏化市北林區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)
三沙市南沙區(qū)、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、菏澤市單縣、泉州市永春縣、衡陽(yáng)市衡南縣
渭南市大荔縣、廣西河池市南丹縣、孝感市大悟縣、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、金華市蘭溪市、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、云浮市云城區(qū)
蘇州市吳江區(qū)、池州市東至縣、綏化市望奎縣、寧德市福鼎市、寧夏固原市隆德縣、東方市八所鎮(zhèn)、榆林市子洲縣、上海市寶山區(qū)
南平市建甌市、舟山市岱山縣、運(yùn)城市稷山縣、遂寧市安居區(qū)、廣西玉林市陸川縣
撫州市資溪縣、鐵嶺市調(diào)兵山市、益陽(yáng)市桃江縣、大同市渾源縣、南充市西充縣、泉州市石獅市、合肥市蜀山區(qū)、樂(lè)山市金口河區(qū)、昆明市宜良縣
中山市阜沙鎮(zhèn)、莆田市荔城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、廣西欽州市欽南區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、重慶市黔江區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗
寧德市古田縣、臨汾市汾西縣、廣西梧州市蒼梧縣、吉安市安福縣、宣城市寧國(guó)市、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、西安市碑林區(qū)、鷹潭市余江區(qū)
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廣西北海市合浦縣、信陽(yáng)市商城縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、寧德市屏南縣、東莞市東坑鎮(zhèn)、宜春市上高縣、中山市神灣鎮(zhèn)
甘南卓尼縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、攀枝花市西區(qū)、西安市蓮湖區(qū)、瀘州市瀘縣、衡陽(yáng)市南岳區(qū)、宜昌市枝江市、濰坊市安丘市、宣城市績(jī)溪縣、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)
常德市石門縣、廣西河池市東蘭縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、菏澤市單縣、荊州市松滋市、汕頭市南澳縣、安陽(yáng)市殷都區(qū)
濰坊市奎文區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、榆林市府谷縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、鹽城市濱?？h、重慶市武隆區(qū)
榆林市佳縣、菏澤市曹縣、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、果洛瑪沁縣、威海市環(huán)翠區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、漢中市寧強(qiáng)縣、東營(yíng)市利津縣、肇慶市廣寧縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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