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廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、蘭州市城關區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、阜新市清河門區(qū)、運城市絳縣、晉中市介休市、煙臺市萊州市
廣西貴港市覃塘區(qū)、信陽市浉河區(qū)、株洲市醴陵市、晉城市澤州縣、遵義市播州區(qū)、雙鴨山市寶清縣、呂梁市中陽縣
忻州市五寨縣、襄陽市宜城市、衢州市柯城區(qū)、吉安市新干縣、安陽市殷都區(qū)、連云港市贛榆區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)
涼山昭覺縣、樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、昆明市呈貢區(qū)、長治市潞州區(qū)、常德市津市市、渭南市白水縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣
南京市玄武區(qū)、達州市渠縣、滁州市明光市、云浮市云安區(qū)、晉中市介休市
定安縣新竹鎮(zhèn)、儋州市王五鎮(zhèn)、汕頭市南澳縣、呂梁市嵐縣、寧夏吳忠市鹽池縣、鎮(zhèn)江市潤州區(qū)
內蒙古興安盟阿爾山市、蘇州市姑蘇區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、東營市廣饒縣、德州市武城縣、南平市武夷山市、平頂山市魯山縣、淮南市鳳臺縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣
淄博市張店區(qū)、衢州市開化縣、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、汕頭市潮南區(qū)、河源市連平縣、巴中市巴州區(qū)
廣西玉林市福綿區(qū)、自貢市大安區(qū)、嘉興市海寧市、泉州市石獅市、泰安市肥城市、商丘市睢陽區(qū)、紅河綠春縣、楚雄元謀縣
平涼市崇信縣、煙臺市牟平區(qū)、株洲市茶陵縣、忻州市岢嵐縣、濟南市萊蕪區(qū)、三門峽市義馬市、南京市浦口區(qū)、潮州市潮安區(qū)
黃岡市黃梅縣、河源市東源縣、贛州市于都縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、東莞市黃江鎮(zhèn)
焦作市博愛縣、上海市黃浦區(qū)、撫順市新賓滿族自治縣、四平市鐵東區(qū)、清遠市連山壯族瑤族自治縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、吉林市船營區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣
屯昌縣南坤鎮(zhèn)、淮安市淮陰區(qū)、陽江市陽西縣、連云港市連云區(qū)、南陽市鎮(zhèn)平縣、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、深圳市羅湖區(qū)
荊門市沙洋縣、廣西北海市合浦縣、宿州市蕭縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣、天津市北辰區(qū)、溫州市文成縣、呂梁市交城縣、內蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)
鄭州市新密市、贛州市定南縣、曲靖市師宗縣、內蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、三明市泰寧縣、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、南平市延平區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣
忻州市忻府區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、西寧市湟源縣、眉山市青神縣、揭陽市揭東區(qū)、儋州市光村鎮(zhèn)、六安市霍邱縣、榆林市神木市
岳陽市平江縣、曲靖市陸良縣、撫州市臨川區(qū)、惠州市博羅縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、延安市甘泉縣
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德陽市綿竹市、池州市青陽縣、安順市西秀區(qū)、晉中市昔陽縣、南陽市西峽縣、內江市威遠縣、玉溪市通?？h、青島市城陽區(qū)
商洛市柞水縣、重慶市江北區(qū)、邵陽市雙清區(qū)、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、駐馬店市正陽縣
廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、平頂山市寶豐縣、信陽市新縣、中山市黃圃鎮(zhèn)、云浮市云城區(qū)、煙臺市龍口市
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甘孜雅江縣、內蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、蚌埠市淮上區(qū)、延邊圖們市、三門峽市澠池縣、清遠市連山壯族瑤族自治縣、安康市白河縣、成都市蒲江縣、廣西梧州市萬秀區(qū)
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深圳半導體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導體新秀，成為2025中國國際半導體設備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設備新品，包括外延沉積設備EPI（峨眉山）、原子層沉積設備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設備PVD（普陀山）、刻蝕設備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設備CVD（長白山）。
這家新銳國產半導體設備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導體裝備及零部件、電子制造設備的研發(fā)、制造、銷售與服務。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術由深圳市重大產業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導體制造工藝中至關重要的技術節(jié)點。如EPI外延層技術是先進制程和第三代半導體的關鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學氣相沉積是半導體制造中需求量最大的設備之一，設備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領域此前由國際龍頭主導，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設備由ASM和TEL主導，市占率合計超60%；在PVD領域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設備采用獨特的反應腔設計，能夠實現(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術參數(shù)已接近國際領先水平。而新一代涂膠顯影設備則突破國外技術壟斷，在分辨率和產能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設備。公司此前宣布，已完成13類關鍵量檢測產品開發(fā)，并在國內邏輯、存儲和化合物的主要半導體制造企業(yè)開始量產應用。
新凱來此次展出的產品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領域，通過照片和模型的方式展示了光學檢測產品岳麗山BFI、光學量測產品天門山IBO、PX量測產品沂蒙山AFM、功率檢測產品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產全過程，對工藝改進、量產爬坡的良率提升和控制都至關重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導體檢測和量測設備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導體制造設備中占比約為13%。其中，中國大陸半導體量測檢測設備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內半導體檢測和量測設備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產廠商的市場份額尚不及5%，但國產化進程已經開始提速，主要廠商的國內市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產品可分為兩大類：一類是技術難度較高的光學量檢測產品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產品基本完成客戶側驗證，2025年進入量產狀態(tài)。
另一類是國內此前空白但產線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產品已進入量產交付，功率檢測產品也進入了規(guī)模應用。
新凱來的技術儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結構、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設備”、“工藝腔室及工藝處理設備”、“進氣分流器、吹掃結構及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設備產品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經更領先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內廠商除了技術上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設備已形成“設備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產業(yè)上長于設計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導體制造的產業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產業(yè)鏈整合等方式打造半導體產業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產業(yè)投資集團部署了多個半導體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產線、華潤微電子特色工藝集成電路生產線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產基地、方正微電子率先在國內以“VIDM”模式打通第三代半導體全產業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導體領域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設備將在第三代半導體領域實現(xiàn)量產，深圳半導體產業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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