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甘孜稻城縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、大同市廣靈縣、鐵嶺市昌圖縣、涼山金陽(yáng)縣、廣西桂林市靈川縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、巴中市南江縣、泰州市興化市、錦州市義縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、黃石市陽(yáng)新縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、晉中市和順縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、許昌市魏都區(qū)、遵義市桐梓縣、大同市新榮區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、九江市廬山市、臨汾市安澤縣、廣州市番禺區(qū)
朝陽(yáng)市北票市、齊齊哈爾市依安縣、大同市廣靈縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、焦作市中站區(qū)、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、衡陽(yáng)市石鼓區(qū)、周口市項(xiàng)城市、福州市閩清縣、杭州市江干區(qū)
亳州市蒙城縣、天津市薊州區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、黔東南臺(tái)江縣、雞西市城子河區(qū)、佳木斯市同江市、東莞市石碣鎮(zhèn)、資陽(yáng)市安岳縣
煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、廣西來(lái)賓市忻城縣、黃岡市浠水縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、南充市閬中市、文昌市翁田鎮(zhèn)
陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、三明市寧化縣、甘孜德格縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、上饒市德興市、合肥市肥西縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)、南平市政和縣
常德市津市市、渭南市潼關(guān)縣、延安市延長(zhǎng)縣、鄂州市梁子湖區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、德州市寧津縣、廣西梧州市蒙山縣、雅安市名山區(qū)、廣西北海市合浦縣
廣西柳州市城中區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、宿遷市泗洪縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、廣西北海市合浦縣、廈門市海滄區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、福州市平潭縣、臨滄市滄源佤族自治縣、廣西南寧市興寧區(qū)
淮北市相山區(qū)、張掖市甘州區(qū)、杭州市江干區(qū)、荊門市鐘祥市、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、鷹潭市貴溪市、淄博市周村區(qū)、汕頭市澄海區(qū)
商丘市永城市、濟(jì)南市歷城區(qū)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、廣安市鄰水縣、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、保山市施甸縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)
萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、宜春市上高縣、蘭州市七里河區(qū)、龍巖市上杭縣、龍巖市新羅區(qū)、臨沂市莒南縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、漳州市薌城區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、武漢市硚口區(qū)、濱州市惠民縣
平頂山市郟縣、益陽(yáng)市安化縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、瀘州市瀘縣、天水市甘谷縣、南平市建甌市、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、廣西北海市鐵山港區(qū)
棗莊市山亭區(qū)、黃岡市羅田縣、南陽(yáng)市新野縣、吉安市吉安縣、龍巖市新羅區(qū)、大同市平城區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣
信陽(yáng)市息縣、雅安市名山區(qū)、呂梁市方山縣、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、定西市渭源縣、東莞市萬(wàn)江街道、信陽(yáng)市商城縣、哈爾濱市巴彥縣、永州市新田縣、福州市羅源縣
廣州市白云區(qū)、甘孜瀘定縣、昭通市大關(guān)縣、定西市隴西縣、銅川市印臺(tái)區(qū)、十堰市茅箭區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、瀘州市瀘縣、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、中山市東區(qū)街道
聊城市莘縣、黔東南臺(tái)江縣、重慶市豐都縣、南昌市青山湖區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗
邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、廣西桂林市興安縣、平頂山市湛河區(qū)、福州市連江縣、廣西河池市鳳山縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、雙鴨山市寶清縣
洛陽(yáng)市欒川縣、商丘市虞城縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、蘭州市七里河區(qū)、合肥市巢湖市、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、雅安市寶興縣、宜昌市猇亭區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、瀘州市納溪區(qū)
太原市古交市、雅安市天全縣、安慶市太湖縣、呂梁市離石區(qū)、廣西桂林市灌陽(yáng)縣、西安市碑林區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)
紹興市柯橋區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、大同市云岡區(qū)、陽(yáng)泉市平定縣、黃山市徽州區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、咸陽(yáng)市永壽縣
大理劍川縣、撫順市新賓滿族自治縣、蘭州市榆中縣、廣西南寧市隆安縣、韶關(guān)市南雄市、隨州市隨縣
黔西南興仁市、西安市高陵區(qū)、大理漾濞彝族自治縣、吉安市廬陵新區(qū)、南陽(yáng)市鄧州市
韶關(guān)市武江區(qū)、北京市昌平區(qū)、廣西玉林市北流市、福州市鼓樓區(qū)、忻州市定襄縣、臨沂市沂水縣、懷化市沅陵縣、恩施州鶴峰縣
撫順市清原滿族自治縣、廣西來(lái)賓市武宣縣、廣西南寧市興寧區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、西安市灞橋區(qū)、鹽城市阜寧縣、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)
漯河市郾城區(qū)、合肥市廬陽(yáng)區(qū)、玉樹囊謙縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、婁底市新化縣、天水市秦州區(qū)、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、昆明市安寧市、惠州市惠東縣
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文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、九江市湖口縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、通化市柳河縣、紹興市新昌縣、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣
婁底市冷水江市、晉城市澤州縣、宜賓市敘州區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、涼山越西縣、廣安市華鎣市、廣州市花都區(qū)
玉樹囊謙縣、樂(lè)山市沐川縣、漢中市洋縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、鶴壁市?？h、亳州市渦陽(yáng)縣、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、青島市城陽(yáng)區(qū)、屯昌縣新興鎮(zhèn)、達(dá)州市渠縣
龍巖市新羅區(qū)、揭陽(yáng)市揭西縣、南陽(yáng)市社旗縣、六安市金安區(qū)、昆明市官渡區(qū)、臨沂市沂水縣
咸陽(yáng)市三原縣、宿遷市沭陽(yáng)縣、晉中市平遙縣、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、肇慶市高要區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)、臨汾市隰縣、延邊和龍市、西安市雁塔區(qū)
江門市開平市、安康市旬陽(yáng)市、廣西河池市大化瑤族自治縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、贛州市尋烏縣、張家界市武陵源區(qū)、鄭州市上街區(qū)、茂名市電白區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣
邵陽(yáng)市北塔區(qū)、南平市順昌縣、雅安市寶興縣、黃岡市蘄春縣、漢中市洋縣、鞍山市鐵西區(qū)、鶴崗市興安區(qū)
昭通市綏江縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、畢節(jié)市織金縣、鄭州市登封市、海南貴南縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、呂梁市臨縣
上海市閔行區(qū)、杭州市桐廬縣、大理賓川縣、楚雄武定縣、九江市潯陽(yáng)區(qū)、金昌市永昌縣、汕頭市潮南區(qū)
東莞市麻涌鎮(zhèn)、信陽(yáng)市息縣、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、中山市阜沙鎮(zhèn)、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)
廣西玉林市福綿區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、大連市長(zhǎng)?？h、安康市嵐皋縣、德宏傣族景頗族自治州芒市、濰坊市壽光市、龍巖市連城縣、丹東市寬甸滿族自治縣
新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、黔南三都水族自治縣、大理南澗彝族自治縣、寶雞市千陽(yáng)縣、襄陽(yáng)市谷城縣、池州市青陽(yáng)縣、漢中市寧強(qiáng)縣、朔州市朔城區(qū)
綿陽(yáng)市安州區(qū)、三沙市西沙區(qū)、無(wú)錫市江陰市、樂(lè)山市市中區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、渭南市蒲城縣、張家界市桑植縣
東莞市南城街道、運(yùn)城市新絳縣、雞西市雞冠區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、甘孜石渠縣、臨汾市堯都區(qū)、廣西防城港市東興市、黔南都勻市
長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、寶雞市麟游縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、宜昌市猇亭區(qū)、合肥市長(zhǎng)豐縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、呂梁市中陽(yáng)縣、黃岡市紅安縣
開封市尉氏縣、臨沂市蘭陵縣、肇慶市封開縣、運(yùn)城市垣曲縣、東莞市東坑鎮(zhèn)
邵陽(yáng)市雙清區(qū)、六安市裕安區(qū)、深圳市寶安區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣、曲靖市馬龍區(qū)、四平市公主嶺市、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、東莞市常平鎮(zhèn)
吉安市吉州區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、廣西玉林市北流市、吉林市豐滿區(qū)、大同市廣靈縣、四平市鐵西區(qū)、隴南市康縣、重慶市沙坪壩區(qū)
西安市未央?yún)^(qū)、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、麗江市華坪縣、郴州市桂陽(yáng)縣、南陽(yáng)市西峽縣、昆明市五華區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、大同市新榮區(qū)、天津市寶坻區(qū)
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株洲市茶陵縣、南陽(yáng)市唐河縣、雅安市名山區(qū)、梅州市興寧市、鄭州市鞏義市、大慶市讓胡路區(qū)、西安市高陵區(qū)
中山市東鳳鎮(zhèn)、延邊汪清縣、紅河開遠(yuǎn)市、自貢市自流井區(qū)、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、臨沂市蒙陰縣、伊春市嘉蔭縣、綏化市綏棱縣、郴州市蘇仙區(qū)、德陽(yáng)市綿竹市
宿遷市泗洪縣、湘西州鳳凰縣、廣西欽州市欽北區(qū)、南陽(yáng)市方城縣、鷹潭市月湖區(qū)、莆田市秀嶼區(qū)、孝感市孝昌縣、肇慶市端州區(qū)、天津市寧河區(qū)
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寧夏銀川市金鳳區(qū)、杭州市建德市、廣西百色市西林縣、廣西柳州市融安縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣、寧波市余姚市、臨汾市翼城縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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