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張家界市桑植縣、東莞市東城街道、青島市李滄區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、惠州市惠陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗
廣西南寧市橫州市、恩施州利川市、駐馬店市正陽(yáng)縣、馬鞍山市當(dāng)涂縣、怒江傈僳族自治州瀘水市、攀枝花市鹽邊縣、煙臺(tái)市棲霞市、涼山西昌市
宜賓市珙縣、太原市晉源區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、鹽城市建湖縣、綏化市望奎縣、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、嘉興市海寧市
成都市彭州市、綏化市蘭西縣、長(zhǎng)治市沁源縣、重慶市酉陽(yáng)縣、淮南市潘集區(qū)
榆林市府谷縣、黔東南三穗縣、永州市冷水灘區(qū)、昭通市彝良縣、安慶市迎江區(qū)
澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、甘南卓尼縣、滁州市鳳陽(yáng)縣、銅川市王益區(qū)、天津市東麗區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、海西蒙古族格爾木市、廣西百色市西林縣
天水市麥積區(qū)、荊州市江陵縣、湘潭市湘潭縣、撫順市清原滿族自治縣、菏澤市曹縣、永州市江華瑤族自治縣、松原市扶余市、重慶市巫溪縣、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、大同市廣靈縣
上海市浦東新區(qū)、黔東南麻江縣、佳木斯市樺川縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、三明市寧化縣
白城市鎮(zhèn)賚縣、馬鞍山市含山縣、楚雄元謀縣、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、洛陽(yáng)市欒川縣、焦作市解放區(qū)、聊城市茌平區(qū)、南平市政和縣
重慶市巫溪縣、運(yùn)城市稷山縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、雞西市麻山區(qū)、大連市中山區(qū)、哈爾濱市賓縣、合肥市廬江縣
宜春市上高縣、哈爾濱市南崗區(qū)、自貢市自流井區(qū)、漢中市城固縣、渭南市白水縣
成都市崇州市、淄博市沂源縣、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、平?jīng)鍪徐o寧縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市
安慶市潛山市、東莞市石排鎮(zhèn)、儋州市排浦鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市沈河區(qū)、廣西北海市海城區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)
云浮市羅定市、安康市嵐皋縣、德陽(yáng)市旌陽(yáng)區(qū)、信陽(yáng)市淮濱縣、黔東南從江縣、?？谑旋埲A區(qū)、信陽(yáng)市潢川縣、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)
宿州市蕭縣、泰安市東平縣、廣西欽州市欽南區(qū)、濱州市鄒平市、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、黔東南榕江縣、信陽(yáng)市浉河區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、黃石市西塞山區(qū)
寶雞市鳳翔區(qū)、吉林市樺甸市、深圳市南山區(qū)、重慶市巴南區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣、駐馬店市驛城區(qū)、平頂山市郟縣、鶴壁市淇縣、東莞市萬(wàn)江街道
煙臺(tái)市芝罘區(qū)、菏澤市牡丹區(qū)、永州市東安縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、黃岡市蘄春縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)
阜陽(yáng)市潁州區(qū)、鄭州市鞏義市、運(yùn)城市河津市、廣西貴港市港南區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、大同市云岡區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、天津市西青區(qū)、陽(yáng)泉市城區(qū)、恩施州巴東縣
鄭州市新鄭市、牡丹江市西安區(qū)、青島市市南區(qū)、泰州市高港區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、鞍山市臺(tái)安縣、南平市延平區(qū)、十堰市鄖西縣
齊齊哈爾市建華區(qū)、商丘市永城市、湘西州鳳凰縣、十堰市張灣區(qū)、黔南惠水縣、棗莊市山亭區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、襄陽(yáng)市谷城縣、贛州市石城縣
伊春市南岔縣、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、大理永平縣、文昌市東路鎮(zhèn)、太原市清徐縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、淮安市漣水縣、南平市松溪縣、無(wú)錫市濱湖區(qū)
寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、重慶市銅梁區(qū)、廣西桂林市全州縣、東莞市橋頭鎮(zhèn)、錦州市凌海市、雙鴨山市寶山區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、黔東南榕江縣
寧夏銀川市永寧縣、丹東市鳳城市、西安市碑林區(qū)、晉中市榆次區(qū)、東莞市石排鎮(zhèn)、佛山市順德區(qū)、哈爾濱市巴彥縣、畢節(jié)市金沙縣
湖州市吳興區(qū)、金華市武義縣、巴中市南江縣、榆林市佳縣、重慶市武隆區(qū)、綏化市慶安縣、漳州市云霄縣
臨高縣多文鎮(zhèn)、甘孜瀘定縣、臺(tái)州市仙居縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、肇慶市端州區(qū)、西雙版納勐臘縣、海東市循化撒拉族自治縣、甘孜九龍縣、重慶市巫溪縣
上饒市余干縣、杭州市拱墅區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、上海市閔行區(qū)、蘇州市相城區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、丹東市東港市
昭通市鎮(zhèn)雄縣、吉安市永新縣、海西蒙古族格爾木市、寧德市霞浦縣、慶陽(yáng)市鎮(zhèn)原縣、遂寧市安居區(qū)、盤(pán)錦市大洼區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)
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丹東市元寶區(qū)、寧夏銀川市西夏區(qū)、大理云龍縣、菏澤市巨野縣、達(dá)州市渠縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、東方市東河鎮(zhèn)、咸寧市通山縣、五指山市毛道、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣
上海市徐匯區(qū)、廣西北海市合浦縣、東營(yíng)市廣饒縣、定西市安定區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)
鄭州市中牟縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、鶴崗市蘿北縣、太原市晉源區(qū)、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)
屯昌縣坡心鎮(zhèn)、濱州市惠民縣、楚雄楚雄市、廣西崇左市大新縣、荊州市石首市、馬鞍山市含山縣、忻州市保德縣、達(dá)州市萬(wàn)源市、伊春市伊美區(qū)
昭通市綏江縣、黃岡市黃梅縣、晉中市榆次區(qū)、襄陽(yáng)市宜城市、濟(jì)寧市曲阜市、雞西市梨樹(shù)區(qū)、宜賓市珙縣
酒泉市肅州區(qū)、棗莊市山亭區(qū)、榆林市綏德縣、十堰市鄖西縣、中山市坦洲鎮(zhèn)
駐馬店市遂平縣、杭州市余杭區(qū)、亳州市譙城區(qū)、哈爾濱市延壽縣、荊門(mén)市掇刀區(qū)、榆林市佳縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、四平市鐵東區(qū)
臨汾市曲沃縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州小金縣、焦作市武陟縣、臺(tái)州市天臺(tái)縣、泰安市岱岳區(qū)、黔東南丹寨縣、安順市西秀區(qū)、上海市寶山區(qū)
中山市南朗鎮(zhèn)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、宿遷市宿豫區(qū)、無(wú)錫市惠山區(qū)、保山市昌寧縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、六安市霍邱縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)
阜陽(yáng)市潁州區(qū)、襄陽(yáng)市襄州區(qū)、海北祁連縣、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、保山市騰沖市、廣西桂林市疊彩區(qū)、天津市武清區(qū)、洛陽(yáng)市老城區(qū)
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揭陽(yáng)市榕城區(qū)、衢州市柯城區(qū)、十堰市竹山縣、海西蒙古族都蘭縣、南平市武夷山市
廈門(mén)市同安區(qū)、河源市紫金縣、中山市中山港街道、昆明市安寧市、晉中市左權(quán)縣、西安市閻良區(qū)、宿遷市宿城區(qū)
雞西市虎林市、三門(mén)峽市澠池縣、鄭州市新鄭市、成都市崇州市、呂梁市離石區(qū)、寶雞市太白縣
錦州市凌河區(qū)、臨沂市沂水縣、長(zhǎng)治市平順縣、銅仁市碧江區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、黔南獨(dú)山縣、江門(mén)市鶴山市、北京市西城區(qū)、三亞市崖州區(qū)、鹽城市亭湖區(qū)
宣城市寧國(guó)市、永州市江華瑤族自治縣、延安市子長(zhǎng)市、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、金華市磐安縣、宜春市豐城市、湘西州花垣縣、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、哈爾濱市南崗區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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