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吉安市永豐縣、哈爾濱市道外區(qū)、郴州市桂陽(yáng)縣、雞西市城子河區(qū)、開(kāi)封市禹王臺(tái)區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣、荊州市監(jiān)利市、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)
邵陽(yáng)市大祥區(qū)、上海市普陀區(qū)、鄭州市二七區(qū)、常州市天寧區(qū)、巴中市恩陽(yáng)區(qū)
遂寧市安居區(qū)、天津市靜海區(qū)、伊春市烏翠區(qū)、宣城市旌德縣、廣西柳州市融安縣、文昌市鋪前鎮(zhèn)、臨汾市大寧縣、盤(pán)錦市大洼區(qū)、揚(yáng)州市江都區(qū)、長(zhǎng)春市榆樹(shù)市
甘孜道孚縣、廣西玉林市北流市、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、哈爾濱市平房區(qū)、楚雄楚雄市、淄博市淄川區(qū)、忻州市保德縣、黔南羅甸縣
鹽城市東臺(tái)市、鞍山市岫巖滿(mǎn)族自治縣、三明市沙縣區(qū)、牡丹江市綏芬河市、晉中市榆社縣、牡丹江市寧安市
齊齊哈爾市建華區(qū)、保山市龍陵縣、運(yùn)城市臨猗縣、南充市高坪區(qū)、丹東市鳳城市、九江市濂溪區(qū)
宜昌市猇亭區(qū)、太原市古交市、呂梁市柳林縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、葫蘆島市龍港區(qū)、涼山昭覺(jué)縣、怒江傈僳族自治州福貢縣
內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、漢中市勉縣、恩施州來(lái)鳳縣、十堰市房縣、榆林市綏德縣、瓊海市萬(wàn)泉鎮(zhèn)、延安市富縣、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)
清遠(yuǎn)市英德市、福州市永泰縣、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、商丘市民權(quán)縣、黃南尖扎縣、綏化市肇東市、深圳市鹽田區(qū)、泰安市泰山區(qū)
汕頭市龍湖區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、東莞市企石鎮(zhèn)、銅陵市義安區(qū)、漯河市臨潁縣、東營(yíng)市利津縣、紹興市嵊州市
上饒市廣信區(qū)、阜新市清河門(mén)區(qū)、臨沂市郯城縣、鹽城市濱?？h、漢中市略陽(yáng)縣
萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、通化市通化縣、黔東南丹寨縣、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、上饒市鄱陽(yáng)縣、北京市昌平區(qū)、甘南碌曲縣
南充市南部縣、淄博市淄川區(qū)、上饒市鉛山縣、衡陽(yáng)市南岳區(qū)、宿州市靈璧縣、普洱市思茅區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、南充市閬中市
昆明市呈貢區(qū)、綿陽(yáng)市安州區(qū)、海東市互助土族自治縣、白沙黎族自治縣元門(mén)鄉(xiāng)、濟(jì)寧市兗州區(qū)
海西蒙古族烏蘭縣、大連市沙河口區(qū)、南陽(yáng)市淅川縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、綏化市綏棱縣、濟(jì)寧市梁山縣、常德市石門(mén)縣、黃南尖扎縣
遂寧市蓬溪縣、涼山西昌市、大慶市讓胡路區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、宣城市寧國(guó)市、平頂山市新華區(qū)、北京市大興區(qū)、齊齊哈爾市克山縣、寧波市余姚市、呂梁市臨縣
太原市小店區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、濰坊市昌樂(lè)縣、廣元市昭化區(qū)
揚(yáng)州市儀征市、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、惠州市龍門(mén)縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、保山市騰沖市、西安市高陵區(qū)、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、衡陽(yáng)市雁峰區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、佳木斯市樺川縣
鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、銅仁市沿河土家族自治縣、中山市橫欄鎮(zhèn)、駐馬店市西平縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、寶雞市眉縣、麗水市縉云縣
東莞市高埗鎮(zhèn)、昆明市盤(pán)龍區(qū)、贛州市尋烏縣、德陽(yáng)市什邡市、白銀市靖遠(yuǎn)縣、遵義市湄潭縣、涼山寧南縣、朔州市平魯區(qū)、西寧市湟中區(qū)
哈爾濱市道里區(qū)、渭南市蒲城縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、撫州市臨川區(qū)、宜春市樟樹(shù)市、許昌市建安區(qū)、白山市江源區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)、臺(tái)州市路橋區(qū)
蚌埠市五河縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、廣西防城港市防城區(qū)、懷化市辰溪縣、廣州市白云區(qū)
晉中市和順縣、昆明市安寧市、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、昭通市巧家縣、南陽(yáng)市桐柏縣、鷹潭市余江區(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、菏澤市巨野縣、六安市舒城縣、臨沂市沂南縣
廣西北海市合浦縣、定西市岷縣、紅河紅河縣、呂梁市興縣、臨沂市莒南縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)
資陽(yáng)市樂(lè)至縣、三門(mén)峽市湖濱區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、荊門(mén)市京山市、廣西北海市鐵山港區(qū)
西寧市湟源縣、江門(mén)市新會(huì)區(qū)、天津市東麗區(qū)、湘潭市湘潭縣、吉林市樺甸市、中山市小欖鎮(zhèn)、贛州市南康區(qū)、宿遷市宿城區(qū)
臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、盤(pán)錦市大洼區(qū)、寧波市海曙區(qū)、三亞市天涯區(qū)、紅河綠春縣、呂梁市方山縣
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儋州市新州鎮(zhèn)、韶關(guān)市曲江區(qū)、南平市政和縣、長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、寧夏銀川市興慶區(qū)、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、云浮市云安區(qū)
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襄陽(yáng)市南漳縣、重慶市榮昌區(qū)、廣西百色市那坡縣、武威市民勤縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗
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德陽(yáng)市廣漢市、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、濟(jì)南市天橋區(qū)、盤(pán)錦市興隆臺(tái)區(qū)、三明市沙縣區(qū)、武漢市蔡甸區(qū)
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昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、雅安市寶興縣、廣西桂林市荔浦市、中山市東鳳鎮(zhèn)、葫蘆島市龍港區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、宜昌市猇亭區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、菏澤市曹縣、天津市河西區(qū)
澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、衡陽(yáng)市南岳區(qū)、臨夏臨夏縣、漳州市漳浦縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、江門(mén)市江海區(qū)、廣西柳州市三江侗族自治縣
茂名市化州市、儋州市大成鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市邵東市、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、南陽(yáng)市宛城區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、天津市河北區(qū)
雅安市天全縣、寧夏銀川市興慶區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、臨汾市安澤縣、株洲市醴陵市、江門(mén)市江海區(qū)、上饒市萬(wàn)年縣
湘西州花垣縣、玉樹(shù)雜多縣、遵義市習(xí)水縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、佛山市禪城區(qū)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)
漳州市龍文區(qū)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、商丘市民權(quán)縣
天津市武清區(qū)、成都市新津區(qū)、錦州市黑山縣、漳州市華安縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)
宿州市碭山縣、淮南市謝家集區(qū)、錦州市黑山縣、渭南市臨渭區(qū)、滁州市南譙區(qū)
安康市白河縣、黔南長(zhǎng)順縣、南陽(yáng)市桐柏縣、寧夏吳忠市同心縣、忻州市靜樂(lè)縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、錦州市太和區(qū)、湛江市徐聞縣、樂(lè)山市井研縣
福州市馬尾區(qū)、忻州市忻府區(qū)、丹東市振興區(qū)、南充市高坪區(qū)、齊齊哈爾市拜泉縣、伊春市友好區(qū)、麗水市景寧畬族自治縣、中山市東區(qū)街道、聊城市高唐縣
五指山市通什、煙臺(tái)市萊山區(qū)、南昌市新建區(qū)、煙臺(tái)市龍口市、達(dá)州市大竹縣、襄陽(yáng)市老河口市、大連市莊河市、濟(jì)南市市中區(qū)、雞西市恒山區(qū)、大同市天鎮(zhèn)縣
太原市小店區(qū)、潮州市湘橋區(qū)、寧德市屏南縣、鞍山市海城市、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶(hù)擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿(mǎn)足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿(mǎn)足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶(hù)側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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