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瀘州市納溪區(qū)、黔南平塘縣、湘西州永順縣、廣安市岳池縣、黔東南劍河縣、廣西來(lái)賓市象州縣、溫州市洞頭區(qū)、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)
贛州市上猶縣、臨汾市古縣、郴州市安仁縣、玉溪市易門(mén)縣、南平市松溪縣、玉溪市峨山彝族自治縣、漢中市留壩縣、臨汾市侯馬市、隨州市廣水市、溫州市龍港市
廣西玉林市福綿區(qū)、白沙黎族自治縣元門(mén)鄉(xiāng)、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、青島市平度市、保山市施甸縣、黃山市黟縣
曲靖市陸良縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、平?jīng)鍪袥艽h、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、渭南市臨渭區(qū)、新鄉(xiāng)市延津縣、南通市崇川區(qū)、孝感市孝昌縣、四平市雙遼市
廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、青島市萊西市、周口市項(xiàng)城市、重慶市巫溪縣、廣安市華鎣市
鶴崗市興安區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、麗江市華坪縣、益陽(yáng)市南縣、隨州市曾都區(qū)
益陽(yáng)市赫山區(qū)、西安市閻良區(qū)、阜陽(yáng)市潁上縣、?？谑忻捞m區(qū)、泰州市海陵區(qū)、撫順市東洲區(qū)、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)
咸陽(yáng)市渭城區(qū)、青島市嶗山區(qū)、廣西桂林市平樂(lè)縣、張家界市桑植縣、吉安市萬(wàn)安縣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、濰坊市寒亭區(qū)、吉安市新干縣
延邊安圖縣、普洱市思茅區(qū)、撫州市南城縣、懷化市溆浦縣、成都市青白江區(qū)、廣西北海市合浦縣
天津市北辰區(qū)、深圳市龍崗區(qū)、懷化市洪江市、大理洱源縣、眉山市丹棱縣、濱州市濱城區(qū)、上海市閔行區(qū)、成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市
哈爾濱市賓縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、寧波市象山縣、佳木斯市湯原縣、汕尾市城區(qū)
邵陽(yáng)市城步苗族自治縣、晉城市沁水縣、泰州市興化市、隴南市禮縣、重慶市萬(wàn)州區(qū)、周口市沈丘縣
廣西柳州市柳南區(qū)、蚌埠市蚌山區(qū)、瀘州市瀘縣、遵義市赤水市、達(dá)州市宣漢縣
嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、東莞市高埗鎮(zhèn)、文山丘北縣、三門(mén)峽市陜州區(qū)、德州市平原縣、東營(yíng)市利津縣
寧波市鄞州區(qū)、青島市萊西市、恩施州來(lái)鳳縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、北京市朝陽(yáng)區(qū)、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、銅仁市石阡縣、濟(jì)南市平陰縣、綏化市蘭西縣、儋州市南豐鎮(zhèn)
廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、廣西崇左市天等縣、咸陽(yáng)市武功縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、綿陽(yáng)市平武縣、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、達(dá)州市宣漢縣、天津市西青區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、衢州市常山縣
萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、海東市平安區(qū)、安慶市太湖縣、渭南市華州區(qū)、成都市大邑縣、湛江市霞山區(qū)、十堰市竹山縣、金華市武義縣、天津市寧河區(qū)
大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、黔東南三穗縣、天津市南開(kāi)區(qū)、中山市五桂山街道、武漢市硚口區(qū)
長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、杭州市上城區(qū)、懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣、廣西柳州市融水苗族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、中山市南頭鎮(zhèn)、棗莊市薛城區(qū)
涼山喜德縣、黃石市下陸區(qū)、黃南澤庫(kù)縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、成都市金堂縣、重慶市奉節(jié)縣、韶關(guān)市南雄市、廣西防城港市東興市、寧德市周寧縣、懷化市通道侗族自治縣
甘孜丹巴縣、重慶市北碚區(qū)、駐馬店市遂平縣、安慶市太湖縣、徐州市沛縣、雅安市名山區(qū)
蘇州市吳江區(qū)、南通市通州區(qū)、福州市馬尾區(qū)、連云港市東?？h、濰坊市坊子區(qū)
郴州市資興市、佳木斯市同江市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、婁底市婁星區(qū)、榆林市佳縣、菏澤市巨野縣、忻州市寧武縣、渭南市大荔縣
滁州市定遠(yuǎn)縣、金華市永康市、茂名市信宜市、安康市平利縣、太原市陽(yáng)曲縣、西寧市城西區(qū)、德州市慶云縣、德州市寧津縣、樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)
東莞市橋頭鎮(zhèn)、徐州市新沂市、玉溪市通海縣、漢中市城固縣、泰州市高港區(qū)、南充市閬中市、涼山會(huì)理市、上海市徐匯區(qū)
臺(tái)州市玉環(huán)市、北京市豐臺(tái)區(qū)、上海市奉賢區(qū)、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、營(yíng)口市站前區(qū)、達(dá)州市渠縣、廣西貴港市港南區(qū)、懷化市通道侗族自治縣、七臺(tái)河市勃利縣
寶雞市金臺(tái)區(qū)、廣西柳州市三江侗族自治縣、南平市延平區(qū)、齊齊哈爾市訥河市、甘孜理塘縣、重慶市合川區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、河源市紫金縣、攀枝花市西區(qū)、衢州市常山縣
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咸陽(yáng)市渭城區(qū)、隨州市隨縣、廣西梧州市岑溪市、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)
朝陽(yáng)市龍城區(qū)、嘉興市嘉善縣、贛州市會(huì)昌縣、寧夏銀川市靈武市、臨高縣多文鎮(zhèn)、阜新市細(xì)河區(qū)、遵義市綏陽(yáng)縣
長(zhǎng)治市沁縣、孝感市云夢(mèng)縣、普洱市景谷傣族彝族自治縣、酒泉市肅州區(qū)、長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、昭通市大關(guān)縣、東莞市萬(wàn)江街道、淮南市鳳臺(tái)縣、長(zhǎng)春市德惠市、廣西桂林市疊彩區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、牡丹江市穆棱市、平?jīng)鍪谐缧趴h、信陽(yáng)市平橋區(qū)、十堰市竹溪縣、揭陽(yáng)市普寧市、贛州市南康區(qū)
漳州市薌城區(qū)、黔南甕安縣、信陽(yáng)市潢川縣、菏澤市鄆城縣、淮南市潘集區(qū)、松原市扶余市
上海市閔行區(qū)、杭州市桐廬縣、大理賓川縣、楚雄武定縣、九江市潯陽(yáng)區(qū)、金昌市永昌縣、汕頭市潮南區(qū)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、玉溪市澄江市、臨夏臨夏市、黃山市黃山區(qū)、長(zhǎng)治市沁源縣、三明市將樂(lè)縣、寧夏銀川市靈武市、淄博市沂源縣、東莞市沙田鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、贛州市石城縣、南平市邵武市、麗水市云和縣、保山市騰沖市、廣西柳州市融安縣、珠海市金灣區(qū)
重慶市永川區(qū)、德陽(yáng)市廣漢市、綿陽(yáng)市平武縣、廣西賀州市鐘山縣、龍巖市新羅區(qū)、鹽城市響水縣、眉山市仁壽縣、信陽(yáng)市羅山縣
大理鶴慶縣、楚雄祿豐市、信陽(yáng)市淮濱縣、攀枝花市西區(qū)、濟(jì)寧市泗水縣、綏化市海倫市、湘潭市湘鄉(xiāng)市、晉中市榆社縣、晉城市沁水縣、天水市秦州區(qū)
荊門(mén)市沙洋縣、寶雞市鳳翔區(qū)、大理鶴慶縣、菏澤市曹縣、臨沂市平邑縣、汕頭市濠江區(qū)、臺(tái)州市臨海市、泰安市寧陽(yáng)縣、惠州市博羅縣
運(yùn)城市鹽湖區(qū)、成都市青羊區(qū)、雅安市寶興縣、鐵嶺市清河區(qū)、永州市雙牌縣、馬鞍山市雨山區(qū)、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)
綿陽(yáng)市安州區(qū)、白山市靖宇縣、漳州市東山縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)、巴中市平昌縣、六安市裕安區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)
安康市寧陜縣、樂(lè)山市夾江縣、德州市德城區(qū)、肇慶市端州區(qū)、內(nèi)江市資中縣
三門(mén)峽市義馬市、廣西南寧市上林縣、云浮市郁南縣、呂梁市孝義市、臺(tái)州市仙居縣、臨沂市羅莊區(qū)、本溪市平山區(qū)、開(kāi)封市順河回族區(qū)、蘇州市常熟市
濟(jì)寧市汶上縣、武威市古浪縣、漳州市薌城區(qū)、海北海晏縣、湛江市吳川市、寧夏固原市彭陽(yáng)縣、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)
阿壩藏族羌族自治州小金縣、松原市扶余市、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、連云港市連云區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、普洱市西盟佤族自治縣、寶雞市金臺(tái)區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、常州市新北區(qū)、成都市金堂縣
黃岡市黃梅縣、達(dá)州市開(kāi)江縣、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、四平市鐵東區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、常德市石門(mén)縣、焦作市博愛(ài)縣
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煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、開(kāi)封市通許縣、重慶市豐都縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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