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內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、吉安市永豐縣、清遠(yuǎn)市英德市、衡陽(yáng)市常寧市、錦州市太和區(qū)
贛州市瑞金市、三明市永安市、廣州市黃埔區(qū)、重慶市大足區(qū)、龍巖市永定區(qū)、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、東方市江邊鄉(xiāng)、伊春市烏翠區(qū)、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)
廣西百色市西林縣、洛陽(yáng)市澗西區(qū)、成都市錦江區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、南通市如皋市、廣西玉林市北流市
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、呂梁市交城縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、海北海晏縣、武漢市新洲區(qū)、無(wú)錫市宜興市
邵陽(yáng)市北塔區(qū)、南平市順昌縣、雅安市寶興縣、黃岡市蘄春縣、漢中市洋縣、鞍山市鐵西區(qū)、鶴崗市興安區(qū)
萬(wàn)寧市和樂(lè)鎮(zhèn)、福州市倉(cāng)山區(qū)、湛江市雷州市、衢州市柯城區(qū)、樂(lè)山市沙灣區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、寧德市蕉城區(qū)、廣西百色市德保縣
中山市東鳳鎮(zhèn)、宜昌市西陵區(qū)、黃岡市紅安縣、菏澤市巨野縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)、甘孜石渠縣、溫州市龍港市、蘇州市吳中區(qū)
茂名市電白區(qū)、北京市海淀區(qū)、信陽(yáng)市新縣、滁州市明光市、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、呂梁市中陽(yáng)縣、渭南市華陰市、廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、永州市東安縣、咸寧市赤壁市
樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、南通市崇川區(qū)、滁州市明光市、常州市鐘樓區(qū)、菏澤市定陶區(qū)、定西市臨洮縣、遼陽(yáng)市文圣區(qū)、廣西柳州市三江侗族自治縣、雅安市滎經(jīng)縣
株洲市淥口區(qū)、南平市浦城縣、棗莊市嶧城區(qū)、南平市松溪縣、黔東南麻江縣、榆林市子洲縣
婁底市冷水江市、焦作市解放區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、重慶市潼南區(qū)、綏化市肇東市、鄭州市中牟縣
本溪市南芬區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、內(nèi)江市東興區(qū)、直轄縣潛江市、宿遷市宿城區(qū)、荊州市沙市區(qū)、鄭州市管城回族區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、鞍山市立山區(qū)、牡丹江市東安區(qū)
寧夏石嘴山市平羅縣、鞍山市鐵西區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、黔西南望謨縣、陽(yáng)泉市礦區(qū)
通化市通化縣、常德市津市市、儋州市木棠鎮(zhèn)、重慶市江津區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、廣西柳州市城中區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)
泉州市鯉城區(qū)、廈門市湖里區(qū)、西安市蓮湖區(qū)、惠州市惠東縣、五指山市南圣、黃山市歙縣、安康市寧陜縣、宜春市上高縣、宜賓市高縣
常德市武陵區(qū)、黃石市大冶市、宜春市靖安縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、昆明市富民縣、恩施州鶴峰縣、海南共和縣、恩施州咸豐縣
東莞市虎門鎮(zhèn)、達(dá)州市大竹縣、菏澤市單縣、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、六安市霍山縣、張家界市永定區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、撫順市望花區(qū)、六安市霍邱縣
內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、阜陽(yáng)市太和縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、重慶市彭水苗族土家族自治縣、寧夏銀川市靈武市、瀘州市古藺縣、海北祁連縣
阜陽(yáng)市界首市、齊齊哈爾市建華區(qū)、汕頭市南澳縣、遂寧市安居區(qū)、恩施州宣恩縣
廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、連云港市灌云縣、臨汾市吉縣、濮陽(yáng)市清豐縣、湛江市雷州市
襄陽(yáng)市宜城市、重慶市沙坪壩區(qū)、天水市張家川回族自治縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、黔南平塘縣、深圳市福田區(qū)、曲靖市宣威市
伊春市伊美區(qū)、黃岡市羅田縣、廣元市青川縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、甘孜鄉(xiāng)城縣、宜昌市宜都市、銅川市王益區(qū)、寧德市霞浦縣、商丘市梁園區(qū)
岳陽(yáng)市云溪區(qū)、天津市靜海區(qū)、北京市石景山區(qū)、鄭州市新鄭市、南充市順慶區(qū)、佳木斯市同江市、合肥市長(zhǎng)豐縣、邵陽(yáng)市大祥區(qū)
襄陽(yáng)市谷城縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、重慶市渝北區(qū)、益陽(yáng)市安化縣、黃山市祁門縣、合肥市瑤海區(qū)、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市
杭州市江干區(qū)、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、廣西柳州市柳南區(qū)、連云港市海州區(qū)、泉州市金門縣
黃南澤庫(kù)縣、通化市二道江區(qū)、昭通市鹽津縣、滁州市瑯琊區(qū)、漢中市略陽(yáng)縣、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、邵陽(yáng)市綏寧縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、湛江市霞山區(qū)
懷化市沅陵縣、開(kāi)封市杞縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、菏澤市牡丹區(qū)、青島市嶗山區(qū)
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荊州市監(jiān)利市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、內(nèi)江市東興區(qū)、盤錦市盤山縣、北京市東城區(qū)、銅陵市郊區(qū)、贛州市興國(guó)縣、資陽(yáng)市樂(lè)至縣
西寧市城東區(qū)、鶴崗市蘿北縣、涼山木里藏族自治縣、泉州市南安市、慶陽(yáng)市慶城縣、中山市阜沙鎮(zhèn)、濟(jì)寧市梁山縣、寶雞市隴縣
許昌市禹州市、宜賓市高縣、懷化市溆浦縣、河源市源城區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、蚌埠市蚌山區(qū)、泉州市惠安縣
廣西河池市宜州區(qū)、永州市新田縣、朔州市右玉縣、忻州市靜樂(lè)縣、五指山市毛陽(yáng)、吉安市廬陵新區(qū)、東營(yíng)市墾利區(qū)、淄博市周村區(qū)
宜昌市西陵區(qū)、遂寧市安居區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、重慶市大足區(qū)、西雙版納景洪市
廣西貴港市平南縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、云浮市云城區(qū)、張掖市民樂(lè)縣、平?jīng)鍪星f浪縣、文昌市東路鎮(zhèn)、東方市三家鎮(zhèn)
昆明市五華區(qū)、廣西南寧市上林縣、定西市渭源縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、呂梁市嵐縣
黃岡市英山縣、平?jīng)鍪星f浪縣、棗莊市市中區(qū)、廣西梧州市蒼梧縣、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、臺(tái)州市路橋區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、忻州市五寨縣、黔東南黎平縣、雙鴨山市嶺東區(qū)
棗莊市山亭區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、撫順市望花區(qū)、三明市尤溪縣、合肥市肥東縣
陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、天水市秦州區(qū)、西寧市湟中區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、南平市延平區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、徐州市銅山區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)
天津市寧河區(qū)、重慶市渝中區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、重慶市潼南區(qū)、甘孜爐霍縣、湛江市霞山區(qū)、萬(wàn)寧市和樂(lè)鎮(zhèn)、汕尾市陸豐市、眉山市青神縣、日照市五蓮縣
臨夏臨夏市、伊春市湯旺縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、咸寧市咸安區(qū)、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣
海東市樂(lè)都區(qū)、安康市白河縣、衢州市常山縣、廣西百色市田林縣、廣西北海市合浦縣、江門市新會(huì)區(qū)、重慶市巫溪縣、麗水市青田縣、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)
廣西河池市巴馬瑤族自治縣、阿壩藏族羌族自治州茂縣、德州市寧津縣、長(zhǎng)治市沁縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、文昌市東閣鎮(zhèn)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、恩施州鶴峰縣、蕪湖市灣沚區(qū)
許昌市建安區(qū)、東莞市橋頭鎮(zhèn)、湛江市廉江市、新鄉(xiāng)市原陽(yáng)縣、郴州市蘇仙區(qū)、寶雞市太白縣、宜春市高安市、東莞市鳳崗鎮(zhèn)
廣西玉林市容縣、安康市旬陽(yáng)市、嘉興市嘉善縣、資陽(yáng)市雁江區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、漳州市龍文區(qū)、西寧市城東區(qū)、南京市高淳區(qū)、忻州市定襄縣
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鄭州市鞏義市、寧夏吳忠市同心縣、臨汾市汾西縣、成都市錦江區(qū)、撫順市東洲區(qū)、青島市平度市、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)
貴陽(yáng)市南明區(qū)、保山市昌寧縣、連云港市灌南縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、常德市桃源縣
文昌市翁田鎮(zhèn)、紅河彌勒市、西安市新城區(qū)、婁底市冷水江市、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、綿陽(yáng)市平武縣、太原市晉源區(qū)
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瀘州市納溪區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、隴南市武都區(qū)、本溪市平山區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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