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西雙版納勐?？h、漢中市略陽縣、周口市淮陽區(qū)、贛州市于都縣、福州市福清市、沈陽市皇姑區(qū)、忻州市定襄縣
廣西柳州市融水苗族自治縣、慶陽市華池縣、錦州市黑山縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、鶴壁市浚縣、衡陽市衡南縣、臨沂市蘭山區(qū)
孝感市大悟縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、涼山甘洛縣、九江市廬山市、湛江市吳川市、郴州市臨武縣
通化市輝南縣、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、廣西欽州市浦北縣、廣西崇左市江州區(qū)、海東市平安區(qū)、青島市李滄區(qū)、煙臺市牟平區(qū)、大慶市肇源縣
濟(jì)南市平陰縣、曲靖市羅平縣、郴州市蘇仙區(qū)、鶴崗市興山區(qū)、濮陽市臺前縣、杭州市上城區(qū)、江門市臺山市、臨汾市古縣、湘潭市韶山市、黃岡市黃州區(qū)
保山市隆陽區(qū)、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、宜春市樟樹市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、蘭州市榆中縣、長沙市望城區(qū)
德州市德城區(qū)、南通市海安市、遵義市赤水市、南充市順慶區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、太原市小店區(qū)、鞍山市立山區(qū)、贛州市會昌縣、常州市溧陽市、廣西北海市合浦縣
漢中市南鄭區(qū)、普洱市思茅區(qū)、邵陽市洞口縣、廣西南寧市賓陽縣、宜昌市枝江市
煙臺市蓬萊區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、南昌市青山湖區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、宣城市績溪縣、泰安市岱岳區(qū)、甘孜康定市、濟(jì)寧市泗水縣
重慶市大足區(qū)、眉山市東坡區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、眉山市仁壽縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗
南昌市進(jìn)賢縣、珠海市香洲區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、陽泉市城區(qū)、梅州市梅縣區(qū)、涼山鹽源縣、三明市明溪縣
呂梁市石樓縣、撫州市宜黃縣、泉州市德化縣、宿遷市泗洪縣、無錫市錫山區(qū)、紅河綠春縣、宿州市靈璧縣、上海市松江區(qū)、遵義市匯川區(qū)
黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、甘孜白玉縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、東莞市寮步鎮(zhèn)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、無錫市宜興市、甘南碌曲縣
杭州市蕭山區(qū)、舟山市岱山縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、漢中市洋縣、廣西河池市金城江區(qū)
安慶市望江縣、株洲市淥口區(qū)、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、隴南市徽縣、寶雞市金臺區(qū)、阜陽市潁州區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、襄陽市南漳縣、惠州市博羅縣、鹽城市大豐區(qū)
吉林市豐滿區(qū)、洛陽市汝陽縣、郴州市資興市、撫順市撫順縣、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、廣西賀州市平桂區(qū)、寶雞市扶風(fēng)縣、珠海市斗門區(qū)、常州市金壇區(qū)、瓊海市陽江鎮(zhèn)
伊春市嘉蔭縣、重慶市大渡口區(qū)、保山市龍陵縣、寧夏銀川市靈武市、徐州市新沂市、定西市通渭縣、榆林市綏德縣
西寧市大通回族土族自治縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、宜昌市西陵區(qū)、泉州市惠安縣、三沙市西沙區(qū)、廣西玉林市興業(yè)縣、延安市安塞區(qū)、三門峽市陜州區(qū)、定西市臨洮縣
甘孜道孚縣、大同市渾源縣、紅河彌勒市、保山市昌寧縣、紅河建水縣
昭通市魯?shù)榭h、寧波市江北區(qū)、營口市老邊區(qū)、寧夏石嘴山市平羅縣、信陽市商城縣、大理南澗彝族自治縣、東莞市大朗鎮(zhèn)
廣西賀州市昭平縣、樂山市馬邊彝族自治縣、伊春市南岔縣、黔東南榕江縣、臨汾市汾西縣、齊齊哈爾市拜泉縣、聊城市臨清市、紅河蒙自市、佳木斯市同江市
襄陽市樊城區(qū)、成都市青白江區(qū)、張掖市高臺縣、恩施州來鳳縣、重慶市奉節(jié)縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、佳木斯市湯原縣、菏澤市鄄城縣、綿陽市安州區(qū)、武威市涼州區(qū)
隴南市文縣、益陽市赫山區(qū)、上海市嘉定區(qū)、濰坊市奎文區(qū)、朔州市朔城區(qū)、黔東南榕江縣、廣西桂林市靈川縣
中山市石岐街道、朔州市右玉縣、通化市東昌區(qū)、三門峽市湖濱區(qū)、泰安市泰山區(qū)
屯昌縣南呂鎮(zhèn)、宿遷市宿豫區(qū)、大理南澗彝族自治縣、松原市寧江區(qū)、黔東南從江縣、東莞市東城街道、溫州市鹿城區(qū)、鄭州市鞏義市、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)
濟(jì)南市天橋區(qū)、濟(jì)寧市梁山縣、池州市青陽縣、樂山市五通橋區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、錦州市義縣
昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、婁底市冷水江市、贛州市安遠(yuǎn)縣、白山市江源區(qū)、朔州市應(yīng)縣、攀枝花市米易縣
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銅仁市思南縣、長沙市瀏陽市、安康市旬陽市、綿陽市三臺縣、泰安市寧陽縣、玉樹治多縣、馬鞍山市雨山區(qū)、成都市溫江區(qū)、重慶市江津區(qū)、酒泉市金塔縣
黃岡市黃州區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、七臺河市桃山區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)、廣西百色市隆林各族自治縣、福州市平潭縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、南京市玄武區(qū)、運(yùn)城市永濟(jì)市、榆林市吳堡縣
宜賓市屏山縣、紅河綠春縣、贛州市上猶縣、黔西南貞豐縣、南昌市青山湖區(qū)、宣城市績溪縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、儋州市排浦鎮(zhèn)
海東市平安區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、廣西柳州市鹿寨縣、聊城市臨清市、駐馬店市正陽縣、廣州市從化區(qū)、衡陽市珠暉區(qū)、紅河彌勒市、昭通市大關(guān)縣
遵義市赤水市、日照市莒縣、蘭州市安寧區(qū)、連云港市灌云縣、洛陽市西工區(qū)、常州市溧陽市、荊門市鐘祥市、臨沂市羅莊區(qū)
襄陽市樊城區(qū)、三門峽市靈寶市、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、廣西北海市海城區(qū)、徐州市銅山區(qū)、白城市鎮(zhèn)賚縣、長治市襄垣縣
蘇州市昆山市、甘南碌曲縣、邵陽市武岡市、東莞市黃江鎮(zhèn)、重慶市秀山縣、牡丹江市穆棱市、伊春市烏翠區(qū)
本溪市明山區(qū)、甘南卓尼縣、梅州市興寧市、涼山越西縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、汕頭市潮陽區(qū)、衡陽市石鼓區(qū)、阜陽市潁州區(qū)、河源市東源縣
廣西桂林市秀峰區(qū)、岳陽市臨湘市、阜新市彰武縣、溫州市龍港市、貴陽市白云區(qū)
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臺州市路橋區(qū)、廣西柳州市柳北區(qū)、廣西貴港市平南縣、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、南昌市青云譜區(qū)、荊門市沙洋縣、白城市洮北區(qū)、松原市寧江區(qū)、白銀市平川區(qū)
廣西欽州市欽北區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、本溪市本溪滿族自治縣、廣州市白云區(qū)、黔南惠水縣、伊春市大箐山縣、樂山市夾江縣、廣西北海市合浦縣、樂山市市中區(qū)、合肥市肥西縣
福州市晉安區(qū)、昆明市宜良縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、忻州市五臺縣、雙鴨山市尖山區(qū)、徐州市賈汪區(qū)
廣州市白云區(qū)、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、宜昌市宜都市、長治市武鄉(xiāng)縣、阜新市彰武縣、汕頭市龍湖區(qū)
玉樹治多縣、丹東市振安區(qū)、寶雞市扶風(fēng)縣、黔東南施秉縣、黔南都勻市、漯河市召陵區(qū)、瀘州市古藺縣、池州市青陽縣、濰坊市壽光市
定安縣龍河鎮(zhèn)、臨夏永靖縣、甘孜瀘定縣、湘潭市湘潭縣、阜陽市界首市、廣西南寧市興寧區(qū)、重慶市綦江區(qū)
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中山市神灣鎮(zhèn)、濟(jì)南市天橋區(qū)、滁州市全椒縣、本溪市溪湖區(qū)、攀枝花市西區(qū)、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、威海市文登區(qū)、濱州市沾化區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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