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武漢市江岸區(qū)、伊春市南岔縣、通化市柳河縣、甘南卓尼縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、儋州市木棠鎮(zhèn)、臨夏永靖縣
新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、廣州市從化區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、麗水市慶元縣、佳木斯市湯原縣、湛江市坡頭區(qū)、安慶市大觀區(qū)、重慶市巴南區(qū)
樂(lè)山市五通橋區(qū)、大理賓川縣、商洛市柞水縣、六盤(pán)水市水城區(qū)、漢中市勉縣
懷化市沅陵縣、上海市寶山區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、荊州市石首市、宜昌市五峰土家族自治縣、延邊龍井市、日照市東港區(qū)、臨沂市羅莊區(qū)
東莞市大朗鎮(zhèn)、荊門(mén)市掇刀區(qū)、遵義市習(xí)水縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、焦作市溫縣、襄陽(yáng)市南漳縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、黔東南麻江縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、安陽(yáng)市龍安區(qū)
宣城市郎溪縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、揭陽(yáng)市普寧市、臨汾市襄汾縣、鶴壁市淇濱區(qū)、荊州市公安縣、懷化市辰溪縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)
焦作市解放區(qū)、遵義市桐梓縣、紅河建水縣、武漢市江岸區(qū)、紅河元陽(yáng)縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、江門(mén)市蓬江區(qū)、宿州市泗縣、寶雞市扶風(fēng)縣
重慶市永川區(qū)、德陽(yáng)市廣漢市、綿陽(yáng)市平武縣、廣西賀州市鐘山縣、龍巖市新羅區(qū)、鹽城市響水縣、眉山市仁壽縣、信陽(yáng)市羅山縣
甘南瑪曲縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、漢中市略陽(yáng)縣、南昌市新建區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、文山硯山縣
達(dá)州市萬(wàn)源市、黔東南臺(tái)江縣、寧夏銀川市靈武市、重慶市江津區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、白城市洮南市、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、撫州市南城縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)
襄陽(yáng)市谷城縣、果洛瑪多縣、六安市裕安區(qū)、伊春市鐵力市、榆林市佳縣
運(yùn)城市聞喜縣、茂名市信宜市、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、江門(mén)市江海區(qū)、遵義市匯川區(qū)、廣安市前鋒區(qū)、南平市松溪縣、聊城市高唐縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)
南充市高坪區(qū)、漢中市寧強(qiáng)縣、黑河市遜克縣、南平市建陽(yáng)區(qū)、寧夏銀川市靈武市、直轄縣潛江市、遵義市赤水市、新鄉(xiāng)市延津縣、瓊海市塔洋鎮(zhèn)
昭通市綏江縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、贛州市信豐縣、黔東南劍河縣、上海市寶山區(qū)、朔州市應(yīng)縣
長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、汕頭市南澳縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、焦作市中站區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)
臨滄市滄源佤族自治縣、上饒市廣豐區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、韶關(guān)市曲江區(qū)、杭州市蕭山區(qū)、菏澤市巨野縣、上海市徐匯區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、焦作市沁陽(yáng)市
廣西河池市巴馬瑤族自治縣、甘南臨潭縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、洛陽(yáng)市西工區(qū)、太原市晉源區(qū)、葫蘆島市興城市
廣西南寧市橫州市、阿壩藏族羌族自治州茂縣、潮州市湘橋區(qū)、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、懷化市洪江市
渭南市臨渭區(qū)、鷹潭市貴溪市、金華市磐安縣、溫州市龍灣區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、成都市新津區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、運(yùn)城市聞喜縣、黔西南貞豐縣
慶陽(yáng)市寧縣、東方市新龍鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市息烽縣、鄭州市登封市、臨沂市蘭陵縣
文昌市重興鎮(zhèn)、儋州市那大鎮(zhèn)、定西市隴西縣、深圳市羅湖區(qū)、湘西州永順縣、廣西梧州市藤縣、攀枝花市鹽邊縣、甘孜雅江縣
開(kāi)封市鼓樓區(qū)、渭南市大荔縣、文山西疇縣、寧夏銀川市西夏區(qū)、大同市靈丘縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)
恩施州來(lái)鳳縣、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、甘孜新龍縣、蘇州市常熟市、酒泉市金塔縣、鐵嶺市清河區(qū)、安慶市懷寧縣
黃山市黃山區(qū)、黃南尖扎縣、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)、延安市延長(zhǎng)縣、白城市大安市、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、揭陽(yáng)市普寧市、中山市南區(qū)街道
日照市五蓮縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、信陽(yáng)市平橋區(qū)、衢州市江山市、畢節(jié)市織金縣、泉州市石獅市
廣西南寧市興寧區(qū)、滁州市明光市、金華市東陽(yáng)市、怒江傈僳族自治州福貢縣、昆明市東川區(qū)、蕪湖市灣沚區(qū)、安陽(yáng)市龍安區(qū)
甘南夏河縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、十堰市張灣區(qū)、定西市臨洮縣、大慶市紅崗區(qū)、菏澤市鄆城縣、上海市徐匯區(qū)
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哈爾濱市呼蘭區(qū)、臨夏臨夏縣、臨夏和政縣、馬鞍山市博望區(qū)、運(yùn)城市河津市、連云港市海州區(qū)
合肥市長(zhǎng)豐縣、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、海北海晏縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)、濰坊市臨朐縣
葫蘆島市興城市、延安市延長(zhǎng)縣、漯河市郾城區(qū)、陽(yáng)泉市礦區(qū)、贛州市上猶縣、遵義市紅花崗區(qū)、湖州市南潯區(qū)、北京市海淀區(qū)、德陽(yáng)市旌陽(yáng)區(qū)
樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、淄博市高青縣、眉山市仁壽縣、麗江市永勝縣、株洲市醴陵市、合肥市肥東縣、安慶市望江縣
廣西防城港市上思縣、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、雅安市石棉縣、樂(lè)東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)、懷化市鶴城區(qū)、商丘市梁園區(qū)、酒泉市敦煌市
東莞市麻涌鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)、紹興市諸暨市、寶雞市渭濱區(qū)、南昌市青山湖區(qū)
阜陽(yáng)市潁州區(qū)、東莞市洪梅鎮(zhèn)、鶴壁市淇濱區(qū)、廣州市荔灣區(qū)、萬(wàn)寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、麗水市景寧畬族自治縣、儋州市新州鎮(zhèn)、鷹潭市貴溪市
廣西河池市巴馬瑤族自治縣、阿壩藏族羌族自治州茂縣、德州市寧津縣、長(zhǎng)治市沁縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、文昌市東閣鎮(zhèn)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、恩施州鶴峰縣、蕪湖市灣沚區(qū)
武漢市江岸區(qū)、?？谑旋埲A區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、廣西崇左市憑祥市、達(dá)州市通川區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、臨滄市臨翔區(qū)
重慶市巫山縣、湘西州鳳凰縣、威海市環(huán)翠區(qū)、懷化市洪江市、麗水市云和縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、朝陽(yáng)市建平縣
通化市通化縣、淮安市淮安區(qū)、泉州市晉江市、黃岡市紅安縣、晉中市太谷區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、懷化市中方縣、咸陽(yáng)市淳化縣
瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、常德市臨澧縣、東營(yíng)市河口區(qū)、泰安市東平縣、朔州市懷仁市、齊齊哈爾市訥河市、雞西市雞東縣、丹東市振興區(qū)
惠州市惠陽(yáng)區(qū)、福州市倉(cāng)山區(qū)、西寧市城東區(qū)、六盤(pán)水市六枝特區(qū)、泉州市南安市、金華市東陽(yáng)市、中山市大涌鎮(zhèn)、揭陽(yáng)市普寧市、肇慶市端州區(qū)
成都市彭州市、果洛甘德縣、臨夏臨夏縣、大慶市龍鳳區(qū)、麗水市景寧畬族自治縣、婁底市雙峰縣
合肥市蜀山區(qū)、福州市連江縣、伊春市南岔縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、榆林市吳堡縣
怒江傈僳族自治州瀘水市、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、十堰市茅箭區(qū)、焦作市武陟縣、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、云浮市羅定市、蚌埠市禹會(huì)區(qū)
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安康市鎮(zhèn)坪縣、惠州市惠東縣、衢州市開(kāi)化縣、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、天水市張家川回族自治縣、安康市寧陜縣、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、泉州市石獅市、果洛瑪多縣、宜賓市南溪區(qū)
延邊敦化市、亳州市利辛縣、漯河市郾城區(qū)、九江市湖口縣、重慶市石柱土家族自治縣、鶴崗市興山區(qū)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、臨汾市永和縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)
益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、廣西桂林市靈川縣、廣安市岳池縣、黔南羅甸縣、漢中市留壩縣、湖州市安吉縣、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、濰坊市高密市、齊齊哈爾市拜泉縣
上饒市廣信區(qū)、宜春市樟樹(shù)市、茂名市電白區(qū)、泉州市德化縣、定安縣龍河鎮(zhèn)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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