400服務(wù)電話：400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
澳門和香港一肖一碼一一特一中,澳門天天免費(fèi)精準(zhǔn)大全
澳門和香港一肖一碼一一特一中,探索未知領(lǐng)域獲取獨(dú)家信息指南
澳門和香港一肖一碼一一特一中,最新政策解讀助力企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展：(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
澳門和香港一肖一碼一一特一中,2025年新奧正版免費(fèi)(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
澳門和香港一肖一碼一一特一中,探索創(chuàng)新科技助力智慧城市建設(shè)新路徑
澳門和香港一肖一碼一一特一中,科技新突破助力環(huán)保產(chǎn)業(yè)升級(jí)
維修后設(shè)備性能測(cè)試報(bào)告優(yōu)化：我們不斷優(yōu)化設(shè)備維修后性能測(cè)試報(bào)告的內(nèi)容和格式，確?？蛻裟軌蚋忧逦亓私庠O(shè)備性能狀況。
智能家居集成服務(wù)，幫助您將家電融入智能家居系統(tǒng)。
澳門和香港一肖一碼一一特一中,2025澳門精準(zhǔn)正版免費(fèi)大全四不像
澳門和香港一肖一碼一一特一中,維修服務(wù)電話全國(guó)服務(wù)區(qū)域：
漢中市西鄉(xiāng)縣、三明市沙縣區(qū)、果洛瑪沁縣、珠海市香洲區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗
渭南市富平縣、馬鞍山市和縣、宿遷市沭陽(yáng)縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、齊齊哈爾市龍江縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、龍巖市漳平市、襄陽(yáng)市宜城市、綏化市安達(dá)市
樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、溫州市永嘉縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、開(kāi)封市蘭考縣、韶關(guān)市新豐縣、肇慶市懷集縣、中山市民眾鎮(zhèn)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、東莞市洪梅鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗
內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、雅安市蘆山縣、咸寧市通城縣、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、吉安市廬陵新區(qū)、涼山美姑縣、焦作市孟州市、迪慶香格里拉市、廣西桂林市荔浦市、伊春市豐林縣
廣西桂林市永福縣、濟(jì)南市天橋區(qū)、延安市洛川縣、榆林市吳堡縣、池州市東至縣、中山市神灣鎮(zhèn)、宜春市萬(wàn)載縣
金華市磐安縣、淮安市洪澤區(qū)、郴州市宜章縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、黔南貴定縣
湛江市遂溪縣、周口市淮陽(yáng)區(qū)、九江市濂溪區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣、海口市瓊山區(qū)、鄭州市金水區(qū)、菏澤市巨野縣、晉中市祁縣、寧德市古田縣
邵陽(yáng)市雙清區(qū)、六安市裕安區(qū)、深圳市寶安區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣、曲靖市馬龍區(qū)、四平市公主嶺市、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、東莞市常平鎮(zhèn)
南陽(yáng)市南召縣、晉中市昔陽(yáng)縣、眉山市東坡區(qū)、恩施州宣恩縣、聊城市陽(yáng)谷縣、金昌市永昌縣、南京市江寧區(qū)、濱州市濱城區(qū)、淮安市淮安區(qū)、迪慶德欽縣
岳陽(yáng)市平江縣、重慶市奉節(jié)縣、運(yùn)城市絳縣、洛陽(yáng)市新安縣、榆林市神木市、許昌市襄城縣
黃岡市紅安縣、撫州市宜黃縣、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)
平頂山市魯山縣、達(dá)州市通川區(qū)、佳木斯市湯原縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、南京市棲霞區(qū)
青島市即墨區(qū)、?？谑行阌^(qū)、普洱市景東彝族自治縣、臺(tái)州市路橋區(qū)、忻州市繁峙縣、中山市五桂山街道、德州市夏津縣、開(kāi)封市尉氏縣、哈爾濱市雙城區(qū)、臨沂市蒙陰縣
宣城市旌德縣、孝感市漢川市、延邊琿春市、濰坊市奎文區(qū)、眉山市洪雅縣、吉林市永吉縣
鹽城市鹽都區(qū)、直轄縣天門市、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、海南貴德縣、贛州市興國(guó)縣
衡陽(yáng)市衡山縣、云浮市云城區(qū)、遼陽(yáng)市燈塔市、十堰市茅箭區(qū)、湛江市麻章區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗
攀枝花市米易縣、濰坊市諸城市、安順市平壩區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、昆明市東川區(qū)、黑河市孫吳縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、重慶市江北區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、連云港市海州區(qū)、天津市武清區(qū)、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、丹東市鳳城市
杭州市下城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、河源市紫金縣、廣西來(lái)賓市忻城縣、榆林市吳堡縣、資陽(yáng)市安岳縣、丹東市鳳城市
安慶市迎江區(qū)、汕頭市金平區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市、淮南市大通區(qū)、徐州市邳州市、廣西百色市西林縣
蘇州市昆山市、廣西貴港市港南區(qū)、宜春市奉新縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、白銀市會(huì)寧縣、榆林市吳堡縣、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)
駐馬店市驛城區(qū)、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市息烽縣、運(yùn)城市永濟(jì)市、青島市黃島區(qū)、朔州市朔城區(qū)、湘西州瀘溪縣
天津市寶坻區(qū)、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、南通市如東縣、涼山木里藏族自治縣、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、牡丹江市海林市、哈爾濱市南崗區(qū)、東方市大田鎮(zhèn)
普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、東方市四更鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市康平縣、綏化市望奎縣、齊齊哈爾市泰來(lái)縣
懷化市會(huì)同縣、朔州市朔城區(qū)、咸陽(yáng)市武功縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、池州市貴池區(qū)、南通市海安市、哈爾濱市尚志市、忻州市保德縣、黔西南冊(cè)亨縣、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣
鷹潭市貴溪市、懷化市芷江侗族自治縣、西寧市城東區(qū)、棗莊市市中區(qū)、安慶市潛山市、文山廣南縣、淄博市高青縣、宜昌市遠(yuǎn)安縣
岳陽(yáng)市平江縣、渭南市白水縣、阜陽(yáng)市太和縣、蘭州市城關(guān)區(qū)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、九江市潯陽(yáng)區(qū)
400服務(wù)電話：400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
澳門和香港一肖一碼一一特一中,探索未知領(lǐng)域獲取獨(dú)家信息指南
澳門和香港一肖一碼一一特一中,澳門一肖一碼100%準(zhǔn)確,新版本
澳門和香港一肖一碼一一特一中,2025年澳門正版免費(fèi)大全：(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
澳門和香港一肖一碼一一特一中,2025年澳門天天彩大全(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
澳門和香港一肖一碼一一特一中,新2025正版精準(zhǔn)免費(fèi)資料
澳門和香港一肖一碼一一特一中,科技賦能未來(lái)生活新體驗(yàn)
客戶教育課程，提升家電使用技能：我們定期舉辦客戶教育課程，邀請(qǐng)專業(yè)講師為客戶講解家電使用技巧、保養(yǎng)方法和故障排除等知識(shí)，提升客戶的使用技能。
家電維修知識(shí)視頻教程，輕松學(xué)習(xí)：我們制作家電維修知識(shí)視頻教程，通過(guò)直觀、生動(dòng)的方式，幫助客戶輕松學(xué)習(xí)家電維修和保養(yǎng)知識(shí)。
澳門和香港一肖一碼一一特一中,2025新澳正版今晚資料
澳門和香港一肖一碼一一特一中,維修服務(wù)電話全國(guó)服務(wù)區(qū)域：
阜新市細(xì)河區(qū)、聊城市莘縣、宣城市郎溪縣、成都市青白江區(qū)、咸寧市通城縣、廣西崇左市憑祥市
咸陽(yáng)市興平市、郴州市桂陽(yáng)縣、昆明市官渡區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市渾南區(qū)
十堰市鄖西縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、遵義市桐梓縣、北京市延慶區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、德州市寧津縣
內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、自貢市大安區(qū)、梅州市蕉嶺縣、阿壩藏族羌族自治州茂縣、淮南市鳳臺(tái)縣、運(yùn)城市夏縣、襄陽(yáng)市老河口市、綿陽(yáng)市鹽亭縣、平頂山市新華區(qū)
寧德市古田縣、眉山市洪雅縣、南昌市南昌縣、甘孜巴塘縣、威海市榮成市、廣西北海市鐵山港區(qū)、牡丹江市東寧市、岳陽(yáng)市云溪區(qū)
吉林市蛟河市、西寧市湟源縣、黔南龍里縣、泉州市德化縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、懷化市辰溪縣、廣西百色市右江區(qū)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、攀枝花市鹽邊縣、銅川市王益區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、金昌市金川區(qū)、鹽城市濱?？h、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、焦作市溫縣、樂(lè)東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)
廣州市越秀區(qū)、開(kāi)封市順河回族區(qū)、天津市津南區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、定安縣龍湖鎮(zhèn)、遂寧市大英縣、重慶市城口縣、文昌市重興鎮(zhèn)、吉林市永吉縣
臨汾市洪洞縣、榆林市子洲縣、眉山市丹棱縣、麗水市松陽(yáng)縣、婁底市雙峰縣
青島市李滄區(qū)、咸寧市赤壁市、?？谑忻捞m區(qū)、七臺(tái)河市勃利縣、慶陽(yáng)市慶城縣
商洛市商州區(qū)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、重慶市萬(wàn)州區(qū)、重慶市酉陽(yáng)縣、駐馬店市新蔡縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、咸陽(yáng)市淳化縣
衡陽(yáng)市石鼓區(qū)、臺(tái)州市黃巖區(qū)、榆林市清澗縣、雅安市名山區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、吉安市永豐縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、西寧市城西區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、甘孜瀘定縣、咸寧市崇陽(yáng)縣、贛州市龍南市、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、畢節(jié)市織金縣
呂梁市離石區(qū)、紅河彌勒市、廣州市越秀區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、牡丹江市林口縣、湛江市坡頭區(qū)
衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、麗水市慶元縣、朔州市山陰縣、商丘市夏邑縣、成都市成華區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、無(wú)錫市惠山區(qū)
沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、成都市新都區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、自貢市自流井區(qū)、連云港市連云區(qū)、牡丹江市海林市、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)
日照市五蓮縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、信陽(yáng)市平橋區(qū)、衢州市江山市、畢節(jié)市織金縣、泉州市石獅市
咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、重慶市潼南區(qū)、滁州市全椒縣、龍巖市漳平市、伊春市烏翠區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、周口市太康縣、鶴崗市綏濱縣、湛江市赤坎區(qū)
廣西百色市平果市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、懷化市洪江市、宜春市奉新縣、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、宜賓市長(zhǎng)寧縣、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、吉安市安?？h、鐵嶺市昌圖縣
九江市濂溪區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、濰坊市臨朐縣、臺(tái)州市溫嶺市、普洱市景東彝族自治縣、甘孜石渠縣
廣西防城港市上思縣、大理大理市、深圳市龍華區(qū)、玉樹(shù)治多縣、白銀市白銀區(qū)
臺(tái)州市三門縣、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、荊州市松滋市、阿壩藏族羌族自治州理縣、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、宿遷市宿豫區(qū)、曲靖市富源縣、延邊和龍市
臨沂市蒙陰縣、肇慶市端州區(qū)、雅安市蘆山縣、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、開(kāi)封市順河回族區(qū)、渭南市蒲城縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、鶴崗市興安區(qū)、濱州市陽(yáng)信縣、衡陽(yáng)市南岳區(qū)
汕尾市海豐縣、重慶市石柱土家族自治縣、天水市武山縣、雞西市密山市、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、文山馬關(guān)縣、金華市磐安縣、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)
韶關(guān)市武江區(qū)、北京市昌平區(qū)、廣西玉林市北流市、福州市鼓樓區(qū)、忻州市定襄縣、臨沂市沂水縣、懷化市沅陵縣、恩施州鶴峰縣
常州市新北區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、鹽城市射陽(yáng)縣、長(zhǎng)治市平順縣、成都市青白江區(qū)、大連市西崗區(qū)、茂名市電白區(qū)
哈爾濱市五常市、七臺(tái)河市新興區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)、臨夏康樂(lè)縣、吉林市磐石市
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
相關(guān)推薦：
