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平頂山市葉縣、甘孜九龍縣、宜春市高安市、榆林市佳縣、哈爾濱市平房區(qū)、漢中市略陽縣、文昌市東郊鎮(zhèn)
畢節(jié)市織金縣、常德市津市市、天津市薊州區(qū)、東莞市萬江街道、瓊海市龍江鎮(zhèn)、大連市中山區(qū)
昭通市彝良縣、連云港市東?？h、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、莆田市秀嶼區(qū)、衡陽市衡陽縣、濰坊市昌樂縣、襄陽市?？悼h、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、潮州市饒平縣
福州市永泰縣、宜昌市興山縣、安康市嵐皋縣、嘉興市南湖區(qū)、遂寧市蓬溪縣、許昌市禹州市、忻州市五臺縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、蕪湖市鳩江區(qū)
懷化市麻陽苗族自治縣、中山市大涌鎮(zhèn)、淮安市清江浦區(qū)、大同市廣靈縣、樂東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)、淮南市潘集區(qū)、贛州市信豐縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗
汕尾市陸豐市、溫州市蒼南縣、大連市長?？h、大同市左云縣、畢節(jié)市納雍縣、內(nèi)蒙古包頭市固陽縣、贛州市全南縣
綿陽市梓潼縣、溫州市泰順縣、臨汾市翼城縣、杭州市西湖區(qū)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、雞西市密山市、株洲市天元區(qū)、永州市道縣、汕尾市海豐縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、宣城市寧國市、甘孜德格縣、臨沂市沂水縣、成都市龍泉驛區(qū)、蘭州市紅古區(qū)
攀枝花市米易縣、達州市通川區(qū)、安康市白河縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、南昌市南昌縣、涼山金陽縣、昆明市宜良縣
德州市寧津縣、四平市鐵東區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、伊春市烏翠區(qū)、黔南龍里縣、濟寧市曲阜市
淮南市八公山區(qū)、文昌市抱羅鎮(zhèn)、大同市靈丘縣、蘇州市吳中區(qū)、黔南平塘縣
隴南市宕昌縣、臨汾市隰縣、貴陽市南明區(qū)、洛陽市欒川縣、儋州市大成鎮(zhèn)、哈爾濱市五常市
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、牡丹江市寧安市、延邊汪清縣、攀枝花市鹽邊縣、鄭州市新鄭市、懷化市洪江市、廣西崇左市扶綏縣、荊州市荊州區(qū)
涼山美姑縣、海北剛察縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、雙鴨山市寶山區(qū)、長春市寬城區(qū)、天津市北辰區(qū)、舟山市岱山縣、阜陽市潁泉區(qū)、廣西百色市樂業(yè)縣、丹東市東港市
延安市洛川縣、邵陽市邵東市、襄陽市老河口市、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、上饒市廣信區(qū)、臨汾市蒲縣、撫州市廣昌縣
麗江市玉龍納西族自治縣、隴南市宕昌縣、泰州市海陵區(qū)、東方市感城鎮(zhèn)、咸寧市崇陽縣、婁底市新化縣、梅州市興寧市、漯河市舞陽縣
煙臺市海陽市、廣西桂林市永?？h、梅州市蕉嶺縣、中山市小欖鎮(zhèn)、宜賓市敘州區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣、忻州市寧武縣、運城市永濟市
迪慶維西傈僳族自治縣、成都市彭州市、呂梁市離石區(qū)、撫州市南豐縣、泰州市靖江市、岳陽市平江縣、昆明市富民縣、宜賓市長寧縣
南平市松溪縣、忻州市神池縣、重慶市綦江區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、湘西州保靖縣、臺州市臨海市
天津市東麗區(qū)、鞍山市岫巖滿族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、榆林市米脂縣、揭陽市榕城區(qū)、東莞市虎門鎮(zhèn)、懷化市洪江市
信陽市新縣、綿陽市游仙區(qū)、周口市扶溝縣、眉山市仁壽縣、寧波市慈溪市、遼陽市遼陽縣、成都市蒲江縣、延邊敦化市、焦作市山陽區(qū)
吉安市峽江縣、甘孜道孚縣、周口市扶溝縣、北京市西城區(qū)、廣西貴港市覃塘區(qū)、安陽市文峰區(qū)
上饒市廣信區(qū)、南平市浦城縣、眉山市丹棱縣、遵義市赤水市、大興安嶺地區(qū)漠河市、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、襄陽市棗陽市、湘西州瀘溪縣、蘭州市七里河區(qū)
中山市小欖鎮(zhèn)、齊齊哈爾市富?？h、東莞市虎門鎮(zhèn)、哈爾濱市松北區(qū)、咸寧市赤壁市、贛州市會昌縣、重慶市萬州區(qū)、連云港市海州區(qū)、定西市通渭縣、成都市都江堰市
南充市儀隴縣、宿遷市宿城區(qū)、漢中市佛坪縣、德陽市中江縣、吉安市永豐縣
東營市東營區(qū)、大慶市讓胡路區(qū)、文山西疇縣、臨汾市襄汾縣、麗江市永勝縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、瀘州市敘永縣、沈陽市大東區(qū)、湖州市南潯區(qū)、德陽市綿竹市、咸寧市崇陽縣
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銅仁市石阡縣、張家界市桑植縣、銅陵市樅陽縣、東莞市石排鎮(zhèn)、東營市河口區(qū)、寶雞市陳倉區(qū)
曲靖市師宗縣、大慶市讓胡路區(qū)、長治市平順縣、孝感市安陸市、福州市倉山區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、大慶市林甸縣
天津市薊州區(qū)、濟南市萊蕪區(qū)、延邊圖們市、漢中市城固縣、大理云龍縣、涼山冕寧縣、贛州市安遠縣、滁州市天長市、大理大理市
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南通市如皋市、臨沂市平邑縣、岳陽市平江縣、遵義市余慶縣、商洛市商州區(qū)、濰坊市高密市、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市樂平市、重慶市銅梁區(qū)
南充市閬中市、濟南市鋼城區(qū)、張掖市山丹縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、西雙版納景洪市、營口市西市區(qū)、廣西貴港市港北區(qū)、黃南尖扎縣
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哈爾濱市松北區(qū)、岳陽市君山區(qū)、廣西南寧市隆安縣、哈爾濱市方正縣、昆明市安寧市、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、佛山市南海區(qū)、保山市施甸縣、宣城市旌德縣、紹興市越城區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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