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白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、婁底市漣源市、中山市三角鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、營口市鲅魚圈區(qū)、重慶市巫山縣、阜新市新邱區(qū)
黔東南凱里市、濰坊市青州市、西寧市湟中區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、咸陽市長武縣、寧夏固原市隆德縣、潮州市潮安區(qū)、成都市溫江區(qū)
延邊和龍市、聊城市高唐縣、甘孜九龍縣、龍巖市連城縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、畢節(jié)市金沙縣、福州市馬尾區(qū)、廣州市南沙區(qū)、七臺河市茄子河區(qū)
濰坊市高密市、曲靖市會澤縣、漳州市龍文區(qū)、咸寧市嘉魚縣、晉城市城區(qū)、廣西柳州市柳南區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、甘孜德格縣、吉安市青原區(qū)
成都市新都區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、呂梁市交城縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、雙鴨山市尖山區(qū)、岳陽市岳陽縣
果洛瑪多縣、七臺河市勃利縣、開封市龍亭區(qū)、上饒市廣信區(qū)、襄陽市宜城市、楚雄大姚縣、晉城市高平市、廣西桂林市興安縣
安慶市迎江區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、海西蒙古族都蘭縣、馬鞍山市和縣、南充市南部縣、樂山市五通橋區(qū)、南京市溧水區(qū)、延安市宜川縣、甘孜得榮縣
九江市武寧縣、杭州市建德市、瓊海市潭門鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、榆林市清澗縣
平頂山市石龍區(qū)、酒泉市金塔縣、撫州市金溪縣、云浮市新興縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣
沈陽市大東區(qū)、北京市通州區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、白城市通榆縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、玉樹曲麻萊縣、南通市如皋市、鞍山市千山區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣
咸寧市通山縣、甘南碌曲縣、德陽市廣漢市、安慶市迎江區(qū)、哈爾濱市松北區(qū)、昭通市永善縣
貴陽市修文縣、齊齊哈爾市泰來縣、廣西南寧市賓陽縣、長春市朝陽區(qū)、昆明市尋甸回族彝族自治縣、鶴壁市鶴山區(qū)、臨高縣加來鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、成都市蒲江縣、遂寧市大英縣、廣元市昭化區(qū)、吉林市昌邑區(qū)、綏化市青岡縣、黔南福泉市
南京市建鄴區(qū)、紹興市越城區(qū)、河源市龍川縣、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、恩施州巴東縣、定西市岷縣、眉山市丹棱縣
六盤水市六枝特區(qū)、廈門市集美區(qū)、牡丹江市海林市、眉山市仁壽縣、鐵嶺市鐵嶺縣、宿遷市宿豫區(qū)
長春市朝陽區(qū)、臺州市天臺縣、信陽市商城縣、五指山市南圣、廣西崇左市扶綏縣、郴州市汝城縣、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、臨沂市臨沭縣、湖州市安吉縣
揭陽市榕城區(qū)、韶關(guān)市南雄市、黑河市北安市、資陽市安岳縣、臺州市天臺縣、湘西州吉首市
廣西桂林市灌陽縣、西安市閻良區(qū)、七臺河市桃山區(qū)、安陽市北關(guān)區(qū)、景德鎮(zhèn)市樂平市、信陽市浉河區(qū)、洛陽市伊川縣
內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、牡丹江市東安區(qū)、日照市東港區(qū)、營口市鲅魚圈區(qū)、自貢市榮縣、遂寧市大英縣、常州市新北區(qū)、漳州市詔安縣
重慶市巫山縣、紹興市諸暨市、臨夏永靖縣、昆明市富民縣、銅仁市思南縣、晉中市壽陽縣、南陽市方城縣、黔東南臺江縣、云浮市羅定市、信陽市息縣
臨汾市襄汾縣、樂山市馬邊彝族自治縣、開封市通許縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、廣西梧州市蒙山縣、甘孜瀘定縣、咸陽市旬邑縣
宜賓市長寧縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、朝陽市朝陽縣、寶雞市金臺區(qū)、梅州市興寧市、淮南市田家庵區(qū)
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許昌市禹州市、宜賓市高縣、懷化市溆浦縣、河源市源城區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、蚌埠市蚌山區(qū)、泉州市惠安縣
延安市志丹縣、北京市海淀區(qū)、洛陽市西工區(qū)、自貢市沿灘區(qū)、張掖市民樂縣、莆田市涵江區(qū)
新鄉(xiāng)市輝縣市、宜賓市敘州區(qū)、肇慶市德慶縣、通化市東昌區(qū)、吉安市安福縣
黔南甕安縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、麗江市永勝縣、營口市站前區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、廣西南寧市青秀區(qū)、廣西崇左市天等縣、廣安市華鎣市
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佳木斯市向陽區(qū)、漳州市漳浦縣、延邊和龍市、武漢市黃陂區(qū)、馬鞍山市雨山區(qū)
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揭陽市揭東區(qū)、五指山市毛道、珠海市斗門區(qū)、濟(jì)寧市嘉祥縣、臨夏和政縣
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、開封市祥符區(qū)、七臺河市勃利縣、湘潭市韶山市、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、三明市大田縣、眉山市仁壽縣
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濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、中山市南頭鎮(zhèn)、煙臺市海陽市、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、西雙版納景洪市、臨高縣多文鎮(zhèn)、大連市旅順口區(qū)、樂山市峨眉山市、怒江傈僳族自治州福貢縣、廣西柳州市融水苗族自治縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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