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昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、黃南河南蒙古族自治縣、甘南臨潭縣、丹東市寬甸滿族自治縣、漢中市寧強縣、忻州市保德縣、上饒市橫峰縣、臨沂市羅莊區(qū)、金昌市永昌縣、運城市平陸縣
黃岡市英山縣、宜昌市遠安縣、廣安市廣安區(qū)、淄博市周村區(qū)、雞西市密山市、咸陽市涇陽縣、咸陽市楊陵區(qū)、天津市西青區(qū)、三亞市海棠區(qū)、廣西桂林市資源縣
張家界市武陵源區(qū)、贛州市南康區(qū)、大連市長?？h、宿遷市宿豫區(qū)、寧波市北侖區(qū)、鶴崗市工農(nóng)區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、寧德市壽寧縣
東方市天安鄉(xiāng)、揚州市邗江區(qū)、煙臺市福山區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、潮州市饒平縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、贛州市龍南市、吉林市樺甸市、鶴崗市工農(nóng)區(qū)
紹興市上虞區(qū)、慶陽市合水縣、西安市周至縣、淄博市沂源縣、成都市龍泉驛區(qū)
南昌市安義縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、黔西南貞豐縣、雙鴨山市寶山區(qū)、南陽市西峽縣、宜昌市枝江市、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、平頂山市汝州市
撫州市樂安縣、哈爾濱市呼蘭區(qū)、宿州市泗縣、濰坊市臨朐縣、無錫市惠山區(qū)、榆林市吳堡縣
酒泉市肅北蒙古族自治縣、邵陽市綏寧縣、隴南市宕昌縣、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、深圳市福田區(qū)、舟山市普陀區(qū)、南陽市鎮(zhèn)平縣
黃岡市黃州區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、廣西來賓市興賓區(qū)、孝感市應城市、六盤水市盤州市
濮陽市濮陽縣、廣西百色市西林縣、晉中市左權(quán)縣、贛州市寧都縣、樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、黔西南安龍縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、吉林市永吉縣、蘇州市常熟市、雅安市天全縣
安康市寧陜縣、長治市沁源縣、東莞市清溪鎮(zhèn)、北京市朝陽區(qū)、黃石市黃石港區(qū)
呂梁市臨縣、郴州市安仁縣、南平市松溪縣、撫順市望花區(qū)、成都市青白江區(qū)、巴中市南江縣、廣西河池市金城江區(qū)、杭州市濱江區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽市
大連市普蘭店區(qū)、漳州市漳浦縣、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、內(nèi)江市威遠縣、延邊敦化市
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大同市云州區(qū)、隴南市康縣、懷化市溆浦縣、日照市東港區(qū)、盤錦市盤山縣、潮州市湘橋區(qū)、伊春市南岔縣、涼山會理市、溫州市樂清市、吉安市永豐縣
濟寧市汶上縣、鹽城市亭湖區(qū)、雅安市天全縣、益陽市赫山區(qū)、忻州市代縣、宿遷市沭陽縣、宿州市泗縣、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)
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鎮(zhèn)江市句容市、遼陽市燈塔市、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、淄博市沂源縣、黃山市休寧縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、淄博市博山區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、北京市平谷區(qū)
萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、遂寧市船山區(qū)、襄陽市保康縣、長治市潞城區(qū)、宣城市宣州區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗
伊春市烏翠區(qū)、宣城市廣德市、西安市臨潼區(qū)、黃山市祁門縣、重慶市石柱土家族自治縣、漯河市舞陽縣
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雙鴨山市集賢縣、襄陽市南漳縣、南陽市南召縣、宜賓市珙縣、安陽市林州市
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茂名市高州市、蕪湖市灣沚區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、松原市扶余市、洛陽市嵩縣、綏化市明水縣、鐵嶺市清河區(qū)、湘西州龍山縣
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黃岡市浠水縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、忻州市定襄縣、隴南市武都區(qū)、慶陽市環(huán)縣、延安市安塞區(qū)、長治市長子縣、萬寧市和樂鎮(zhèn)、漳州市長泰區(qū)、咸寧市咸安區(qū)
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深圳半導體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導體新秀，成為2025中國國際半導體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學氣相沉積是半導體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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