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焦作市山陽區(qū)、恩施州咸豐縣、蘭州市西固區(qū)、安慶市望江縣、河源市紫金縣
恩施州恩施市、臨沂市費(fèi)縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、丹東市鳳城市、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
眉山市仁壽縣、三沙市西沙區(qū)、綿陽市平武縣、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、吉林市蛟河市、楚雄姚安縣、文山文山市
蚌埠市龍子湖區(qū)、樂山市峨邊彝族自治縣、文山硯山縣、重慶市銅梁區(qū)、營口市蓋州市
武漢市新洲區(qū)、泰安市東平縣、南昌市西湖區(qū)、莆田市仙游縣、宣城市廣德市、南京市溧水區(qū)、六安市霍邱縣、儋州市大成鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣
宜賓市筠連縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、黔東南麻江縣、株洲市炎陵縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、荊州市監(jiān)利市、三門峽市義馬市、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、曲靖市富源縣、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)
海東市民和回族土族自治縣、武漢市蔡甸區(qū)、荊州市監(jiān)利市、無錫市梁溪區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、白山市江源區(qū)
蚌埠市五河縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、本溪市南芬區(qū)、長沙市寧鄉(xiāng)市、牡丹江市東安區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、常德市石門縣、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣
河源市紫金縣、瀘州市合江縣、煙臺(tái)市龍口市、安慶市岳西縣、河源市和平縣、達(dá)州市開江縣、廈門市海滄區(qū)、晉中市祁縣、寧德市古田縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)
臨汾市堯都區(qū)、淮南市田家庵區(qū)、重慶市武隆區(qū)、連云港市連云區(qū)、北京市懷柔區(qū)、晉城市高平市、天津市和平區(qū)
上饒市弋陽縣、蘭州市紅古區(qū)、武威市民勤縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、濮陽市臺(tái)前縣、文山丘北縣、九江市潯陽區(qū)、忻州市保德縣
哈爾濱市阿城區(qū)、濰坊市青州市、陽泉市平定縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、佳木斯市樺川縣
佳木斯市同江市、六安市金寨縣、三門峽市澠池縣、天津市河西區(qū)、駐馬店市上蔡縣、吉林市蛟河市
吉安市吉州區(qū)、洛陽市偃師區(qū)、廣西玉林市北流市、吉林市豐滿區(qū)、大同市廣靈縣、四平市鐵西區(qū)、隴南市康縣、重慶市沙坪壩區(qū)
德陽市什邡市、玉樹治多縣、廣西欽州市浦北縣、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、漳州市漳浦縣、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、長春市寬城區(qū)
丹東市鳳城市、海西蒙古族德令哈市、濰坊市壽光市、臺(tái)州市溫嶺市、南通市崇川區(qū)、武漢市洪山區(qū)
十堰市鄖陽區(qū)、南昌市青山湖區(qū)、臨汾市蒲縣、永州市江華瑤族自治縣、南京市六合區(qū)、沈陽市渾南區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣
遼陽市文圣區(qū)、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、六盤水市鐘山區(qū)、大理彌渡縣、南通市崇川區(qū)
陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、廣西百色市田東縣、重慶市涪陵區(qū)、重慶市江北區(qū)、湖州市安吉縣、南陽市社旗縣、九江市湖口縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣
大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、重慶市潼南區(qū)、天津市南開區(qū)、黃南同仁市、忻州市代縣、沈陽市沈北新區(qū)
大慶市龍鳳區(qū)、肇慶市高要區(qū)、黔西南冊(cè)亨縣、太原市陽曲縣、平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗
中山市南朗鎮(zhèn)、懷化市通道侗族自治縣、運(yùn)城市永濟(jì)市、咸陽市旬邑縣、贛州市石城縣、大理賓川縣、牡丹江市林口縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)
荊州市監(jiān)利市、遼陽市遼陽縣、宣城市郎溪縣、廣安市廣安區(qū)、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、重慶市石柱土家族自治縣
沈陽市蘇家屯區(qū)、聊城市東阿縣、宜春市袁州區(qū)、十堰市鄖陽區(qū)、忻州市神池縣、慶陽市慶城縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、伊春市豐林縣
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新鄉(xiāng)市獲嘉縣、蕪湖市無為市、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、玉溪市澄江市、東莞市高埗鎮(zhèn)、德州市臨邑縣、文昌市昌灑鎮(zhèn)、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、九江市修水縣
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岳陽市臨湘市、長春市二道區(qū)、撫順市撫順縣、紅河個(gè)舊市、煙臺(tái)市棲霞市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗
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貴陽市息烽縣、紹興市越城區(qū)、銅陵市銅官區(qū)、南昌市青山湖區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、安慶市太湖縣、清遠(yuǎn)市英德市
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測(cè)BFI、暗場缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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