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樂山市市中區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、鹽城市鹽都區(qū)、長治市襄垣縣
周口市沈丘縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、萬寧市萬城鎮(zhèn)、甘孜白玉縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
岳陽市華容縣、西安市碑林區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、汕頭市龍湖區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗
臨汾市浮山縣、隴南市宕昌縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、黔南平塘縣、瓊海市大路鎮(zhèn)
吉林市永吉縣、商洛市洛南縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、沈陽市皇姑區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、廣州市從化區(qū)、青島市即墨區(qū)、東營市墾利區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、吉安市峽江縣
茂名市茂南區(qū)、萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、肇慶市端州區(qū)、重慶市綦江區(qū)、吉安市吉水縣、安慶市迎江區(qū)、達(dá)州市宣漢縣、渭南市臨渭區(qū)
滁州市鳳陽縣、達(dá)州市開江縣、銅陵市銅官區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、南通市海門區(qū)、肇慶市高要區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、常德市鼎城區(qū)
廣西桂林市雁山區(qū)、重慶市大足區(qū)、大理彌渡縣、榆林市清澗縣、遵義市習(xí)水縣、合肥市廬江縣、宜昌市點軍區(qū)、咸陽市彬州市
重慶市潼南區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、珠海市斗門區(qū)、安慶市懷寧縣、萍鄉(xiāng)市上栗縣、咸陽市彬州市、洛陽市洛寧縣
新鄉(xiāng)市延津縣、洛陽市宜陽縣、儋州市王五鎮(zhèn)、成都市溫江區(qū)、楚雄楚雄市、宜昌市五峰土家族自治縣、廣西崇左市天等縣
肇慶市鼎湖區(qū)、南京市高淳區(qū)、阜陽市潁東區(qū)、臨汾市侯馬市、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)
漯河市召陵區(qū)、廣州市花都區(qū)、綿陽市安州區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、哈爾濱市香坊區(qū)、通化市通化縣、孝感市漢川市、廣西桂林市龍勝各族自治縣、西安市鄠邑區(qū)、重慶市彭水苗族土家族自治縣
東方市東河鎮(zhèn)、甘南卓尼縣、永州市江永縣、安康市平利縣、西安市藍(lán)田縣、昭通市永善縣、中山市南頭鎮(zhèn)、臨高縣多文鎮(zhèn)
德宏傣族景頗族自治州隴川縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市連州市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
廣西南寧市橫州市、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、寧波市余姚市、廣安市岳池縣、太原市小店區(qū)
廣西梧州市龍圩區(qū)、婁底市新化縣、鶴崗市蘿北縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、寶雞市太白縣
株洲市醴陵市、黔西南晴隆縣、衡陽市雁峰區(qū)、宣城市績溪縣、宜春市高安市、贛州市瑞金市、松原市寧江區(qū)、太原市萬柏林區(qū)、臺州市路橋區(qū)
東莞市茶山鎮(zhèn)、茂名市化州市、哈爾濱市道里區(qū)、寧夏石嘴山市平羅縣、北京市石景山區(qū)、重慶市梁平區(qū)
永州市江華瑤族自治縣、寶雞市扶風(fēng)縣、榆林市米脂縣、中山市港口鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、鹽城市響水縣、蘭州市紅古區(qū)、銅陵市郊區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣
哈爾濱市方正縣、衢州市龍游縣、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、五指山市番陽、哈爾濱市道里區(qū)、張掖市肅南裕固族自治縣、西安市鄠邑區(qū)
普洱市江城哈尼族彝族自治縣、綏化市安達(dá)市、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、晉中市祁縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、湘潭市岳塘區(qū)、安陽市湯陰縣、惠州市龍門縣
廣安市鄰水縣、玉樹稱多縣、長沙市瀏陽市、臨沂市沂水縣、涼山越西縣、吉安市萬安縣、揭陽市揭西縣、清遠(yuǎn)市陽山縣、深圳市龍崗區(qū)
杭州市西湖區(qū)、甘孜德格縣、駐馬店市確山縣、畢節(jié)市大方縣、臨汾市侯馬市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、瀘州市古藺縣、邵陽市雙清區(qū)、安康市平利縣
武漢市黃陂區(qū)、甘孜新龍縣、廣西崇左市大新縣、濰坊市青州市、甘孜道孚縣、六盤水市盤州市、紅河蒙自市
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紹興市越城區(qū)、湛江市徐聞縣、黔南長順縣、黔南平塘縣、深圳市坪山區(qū)、宿州市靈璧縣、泰州市高港區(qū)、廣西桂林市七星區(qū)、六安市霍山縣
衡陽市衡南縣、漯河市臨潁縣、牡丹江市愛民區(qū)、泉州市安溪縣、自貢市貢井區(qū)、平?jīng)鍪谐缧趴h、銅仁市碧江區(qū)、三門峽市澠池縣、衢州市開化縣、曲靖市陸良縣
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西寧市大通回族土族自治縣、無錫市惠山區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、邵陽市綏寧縣、江門市臺山市、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、自貢市大安區(qū)、酒泉市瓜州縣、荊州市監(jiān)利市、信陽市潢川縣
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宜昌市秭歸縣、宜賓市興文縣、甘南合作市、鶴崗市興安區(qū)、云浮市羅定市、阜陽市阜南縣、成都市新津區(qū)
白銀市平川區(qū)、永州市寧遠(yuǎn)縣、臨沂市費縣、江門市臺山市、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、咸陽市旬邑縣、九江市彭澤縣、平?jīng)鍪腥A亭縣
上海市閔行區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、呂梁市柳林縣、果洛瑪多縣、泰安市寧陽縣、泰州市泰興市
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安陽市湯陰縣、肇慶市懷集縣、漳州市長泰區(qū)、深圳市坪山區(qū)、南京市浦口區(qū)
合肥市包河區(qū)、雅安市漢源縣、煙臺市招遠(yuǎn)市、衡陽市常寧市、茂名市化州市
十堰市竹山縣、隴南市武都區(qū)、臨沂市臨沭縣、湖州市吳興區(qū)、懷化市麻陽苗族自治縣、張家界市永定區(qū)、寧夏固原市原州區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、普洱市西盟佤族自治縣
株洲市炎陵縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、通化市東昌區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、安康市漢陰縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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