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廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、黔東南雷山縣、涼山鹽源縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)
菏澤市鄆城縣、濟(jì)南市歷下區(qū)、益陽(yáng)市安化縣、常德市桃源縣、汕頭市南澳縣
六安市霍山縣、榆林市吳堡縣、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、北京市平谷區(qū)、阜陽(yáng)市太和縣
中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、綿陽(yáng)市平武縣、白銀市景泰縣、撫順市撫順縣、周口市西華縣
天津市南開(kāi)區(qū)、廣西百色市凌云縣、大理南澗彝族自治縣、阿壩藏族羌族自治州金川縣、昭通市鹽津縣、定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、湛江市廉江市、東莞市清溪鎮(zhèn)
福州市馬尾區(qū)、天水市麥積區(qū)、廣元市利州區(qū)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、東營(yíng)市廣饒縣
撫州市宜黃縣、曲靖市富源縣、開(kāi)封市禹王臺(tái)區(qū)、撫順市新?lián)釁^(qū)、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、朔州市山陰縣、儋州市排浦鎮(zhèn)
巴中市巴州區(qū)、北京市順義區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、延邊延吉市、湘西州花垣縣
汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、陽(yáng)泉市平定縣、寧夏銀川市興慶區(qū)、廣西欽州市欽南區(qū)、九江市共青城市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、武漢市江岸區(qū)、衡陽(yáng)市祁東縣、慶陽(yáng)市華池縣、郴州市嘉禾縣
廣西南寧市青秀區(qū)、肇慶市廣寧縣、漯河市源匯區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、畢節(jié)市黔西市、衡陽(yáng)市衡南縣、?？谑行阌^(qū)
銅仁市沿河土家族自治縣、西寧市大通回族土族自治縣、大連市沙河口區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、廣西桂林市全州縣、東方市板橋鎮(zhèn)、南通市海安市、東莞市常平鎮(zhèn)、果洛瑪沁縣、朔州市懷仁市
遵義市桐梓縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、太原市小店區(qū)、棗莊市薛城區(qū)、青島市黃島區(qū)、菏澤市成武縣、重慶市巫溪縣、臨沂市蘭陵縣、運(yùn)城市芮城縣
蘭州市永登縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、衢州市開(kāi)化縣、廣西桂林市雁山區(qū)、臺(tái)州市椒江區(qū)、十堰市竹溪縣、陽(yáng)泉市平定縣、南平市浦城縣、衡陽(yáng)市衡南縣
揚(yáng)州市邗江區(qū)、中山市沙溪鎮(zhèn)、臨汾市安澤縣、菏澤市成武縣、紅河河口瑤族自治縣、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、麗江市華坪縣
臨汾市隰縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、?？谑协偵絽^(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、安慶市望江縣、南平市武夷山市、涼山越西縣、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市
廈門(mén)市集美區(qū)、東莞市高埗鎮(zhèn)、晉中市左權(quán)縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)、廣西河池市天峨縣、重慶市巴南區(qū)、上海市普陀區(qū)
襄陽(yáng)市谷城縣、佳木斯市富錦市、哈爾濱市通河縣、邵陽(yáng)市隆回縣、駐馬店市新蔡縣、鐵嶺市清河區(qū)、哈爾濱市尚志市、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)
瀘州市納溪區(qū)、昆明市富民縣、定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、大連市甘井子區(qū)、漳州市華安縣、濟(jì)寧市曲阜市、南充市蓬安縣、漳州市南靖縣
樂(lè)東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、郴州市宜章縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、安康市漢濱區(qū)、四平市伊通滿(mǎn)族自治縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市阜南縣、廣西南寧市興寧區(qū)、渭南市臨渭區(qū)
大連市沙河口區(qū)、北京市西城區(qū)、鄭州市中牟縣、佛山市高明區(qū)、濟(jì)寧市梁山縣、廣西百色市田東縣
五指山市毛道、湛江市雷州市、臨汾市汾西縣、哈爾濱市尚志市、海北門(mén)源回族自治縣、臨滄市云縣、廣元市昭化區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)
廣西北海市鐵山港區(qū)、南京市建鄴區(qū)、南充市嘉陵區(qū)、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、黔南甕安縣、黃山市黃山區(qū)
忻州市保德縣、三明市寧化縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、雞西市麻山區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、蚌埠市龍子湖區(qū)
長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、晉中市昔陽(yáng)縣、深圳市寶安區(qū)、遂寧市船山區(qū)、武漢市青山區(qū)
平頂山市舞鋼市、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、甘孜得榮縣、黃石市西塞山區(qū)、丹東市鳳城市、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、大慶市肇州縣
麗江市玉龍納西族自治縣、日照市東港區(qū)、哈爾濱市雙城區(qū)、蘭州市皋蘭縣、甘孜丹巴縣、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、銅川市王益區(qū)
臨高縣新盈鎮(zhèn)、廣西桂林市象山區(qū)、成都市蒲江縣、紹興市諸暨市、徐州市鼓樓區(qū)、沈陽(yáng)市法庫(kù)縣、大同市靈丘縣、廣元市劍閣縣、邵陽(yáng)市大祥區(qū)
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榆林市清澗縣、漯河市源匯區(qū)、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、保山市隆陽(yáng)區(qū)、宣城市寧國(guó)市、武威市涼州區(qū)、寧夏固原市彭陽(yáng)縣
武漢市新洲區(qū)、龍巖市連城縣、重慶市黔江區(qū)、張掖市民樂(lè)縣、隴南市康縣、蘇州市吳中區(qū)、洛陽(yáng)市老城區(qū)、北京市密云區(qū)
惠州市惠城區(qū)、朔州市朔城區(qū)、安陽(yáng)市林州市、蕪湖市繁昌區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、通化市通化縣、怒江傈僳族自治州福貢縣、廣西河池市金城江區(qū)、廣西欽州市欽南區(qū)、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市
金華市金東區(qū)、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、天水市甘谷縣、涼山木里藏族自治縣、湘西州花垣縣、上海市靜安區(qū)、永州市零陵區(qū)、五指山市南圣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)
朝陽(yáng)市北票市、昆明市官渡區(qū)、淮安市漣水縣、中山市南頭鎮(zhèn)、馬鞍山市雨山區(qū)
營(yíng)口市站前區(qū)、迪慶德欽縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、呂梁市汾陽(yáng)市
臨沂市臨沭縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、嘉興市嘉善縣、朔州市懷仁市、昆明市晉寧區(qū)、迪慶香格里拉市、自貢市沿灘區(qū)、荊州市石首市、濰坊市昌邑市、鄭州市惠濟(jì)區(qū)
晉中市太谷區(qū)、三明市尤溪縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、常德市桃源縣、黔南羅甸縣
酒泉市敦煌市、廣西崇左市憑祥市、廣西南寧市上林縣、福州市福清市、淄博市周村區(qū)、合肥市巢湖市、甘孜石渠縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、海南貴德縣
黃山市休寧縣、朝陽(yáng)市建平縣、岳陽(yáng)市君山區(qū)、寧夏銀川市西夏區(qū)、廣西梧州市蒼梧縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)
瀘州市龍馬潭區(qū)、呂梁市文水縣、岳陽(yáng)市汨羅市、晉城市城區(qū)、信陽(yáng)市浉河區(qū)、營(yíng)口市大石橋市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、咸寧市通城縣、寧德市壽寧縣
廣西柳州市柳城縣、丹東市元寶區(qū)、遵義市桐梓縣、延邊安圖縣、懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣
漳州市龍文區(qū)、宜春市宜豐縣、阿壩藏族羌族自治州茂縣、黃石市黃石港區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、韶關(guān)市樂(lè)昌市、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)
青島市膠州市、無(wú)錫市錫山區(qū)、杭州市拱墅區(qū)、大理鶴慶縣、昆明市呈貢區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、安順市西秀區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、德陽(yáng)市廣漢市、通化市梅河口市、錦州市凌海市、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、咸陽(yáng)市渭城區(qū)、撫州市崇仁縣
漢中市留壩縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、阜陽(yáng)市潁州區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)
雙鴨山市嶺東區(qū)、佳木斯市樺南縣、延安市吳起縣、六盤(pán)水市水城區(qū)、泉州市晉江市、保山市騰沖市
大同市左云縣、撫順市新?lián)釁^(qū)、盤(pán)錦市大洼區(qū)、楚雄姚安縣、撫順市東洲區(qū)、甘孜九龍縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、忻州市五臺(tái)縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、臨汾市洪洞縣、懷化市沅陵縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、三亞市崖州區(qū)、寶雞市千陽(yáng)縣、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、金華市東陽(yáng)市
鎮(zhèn)江市京口區(qū)、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、鶴崗市南山區(qū)、黃岡市黃州區(qū)、鄭州市鞏義市、宣城市寧國(guó)市
重慶市奉節(jié)縣、德州市陵城區(qū)、白山市臨江市、常德市桃源縣、紅河石屏縣、天津市東麗區(qū)
黑河市北安市、廣西百色市靖西市、丹東市寬甸滿(mǎn)族自治縣、晉中市平遙縣、運(yùn)城市芮城縣、駐馬店市新蔡縣、廣安市岳池縣、安陽(yáng)市湯陰縣、龍巖市漳平市、十堰市房縣
贛州市上猶縣、伊春市嘉蔭縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、遂寧市大英縣、駐馬店市上蔡縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、綿陽(yáng)市游仙區(qū)
蕪湖市鏡湖區(qū)、天津市寶坻區(qū)、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、廈門(mén)市同安區(qū)、牡丹江市綏芬河市、吉安市井岡山市
大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、中山市南區(qū)街道、武威市天祝藏族自治縣、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣
臨汾市古縣、長(zhǎng)治市黎城縣、呂梁市交城縣、楚雄雙柏縣、運(yùn)城市絳縣、商丘市虞城縣、肇慶市高要區(qū)
銅陵市樅陽(yáng)縣、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、駐馬店市正陽(yáng)縣、濟(jì)寧市微山縣、淮南市謝家集區(qū)、西安市閻良區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、廣西防城港市防城區(qū)、陽(yáng)泉市平定縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶(hù)擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿(mǎn)足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿(mǎn)足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶(hù)側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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