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萬寧市三更羅鎮(zhèn)、紅河彌勒市、大同市廣靈縣、馬鞍山市和縣、朝陽市建平縣、濰坊市安丘市、肇慶市端州區(qū)、南充市閬中市
益陽市沅江市、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、黃岡市浠水縣、泰州市姜堰區(qū)、儋州市排浦鎮(zhèn)、黔南三都水族自治縣、肇慶市德慶縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、南平市建甌市、開封市通許縣
巴中市巴州區(qū)、北京市順義區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、沈陽市皇姑區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、延邊延吉市、湘西州花垣縣
攀枝花市西區(qū)、懷化市沅陵縣、廣西河池市金城江區(qū)、南京市雨花臺(tái)區(qū)、滁州市鳳陽縣、六安市霍山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、安慶市太湖縣、中山市東鳳鎮(zhèn)、涼山喜德縣
攀枝花市仁和區(qū)、商丘市永城市、邵陽市邵陽縣、天水市麥積區(qū)、淮安市漣水縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、運(yùn)城市垣曲縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)
黔東南三穗縣、四平市鐵東區(qū)、上饒市鉛山縣、臨沂市羅莊區(qū)、楚雄姚安縣
駐馬店市西平縣、渭南市華陰市、玉溪市澄江市、河源市紫金縣、宜昌市猇亭區(qū)、鹽城市大豐區(qū)、廣西玉林市興業(yè)縣
青島市膠州市、無錫市錫山區(qū)、杭州市拱墅區(qū)、大理鶴慶縣、昆明市呈貢區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、安順市西秀區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)
雅安市寶興縣、廣西柳州市鹿寨縣、宜昌市宜都市、南充市儀隴縣、文山廣南縣
恩施州巴東縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、安順市西秀區(qū)、宿州市靈璧縣、煙臺(tái)市龍口市、東莞市沙田鎮(zhèn)、菏澤市牡丹區(qū)、渭南市白水縣
麗水市青田縣、三門峽市陜州區(qū)、徐州市沛縣、廣西南寧市武鳴區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、河源市源城區(qū)、長(zhǎng)春市朝陽區(qū)、廣西防城港市東興市
周口市沈丘縣、三亞市崖州區(qū)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、陽泉市城區(qū)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、煙臺(tái)市棲霞市、漢中市留壩縣、菏澤市定陶區(qū)
延安市宜川縣、周口市川匯區(qū)、常德市漢壽縣、榆林市佳縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、遂寧市安居區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、哈爾濱市五常市
湖州市德清縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、西寧市城北區(qū)、五指山市毛陽、銅仁市玉屏侗族自治縣、廣西桂林市荔浦市、廣西南寧市賓陽縣
泉州市洛江區(qū)、臨汾市古縣、黃南尖扎縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗
廣西桂林市資源縣、涼山會(huì)理市、肇慶市封開縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、渭南市澄城縣、畢節(jié)市黔西市、懷化市洪江市
清遠(yuǎn)市陽山縣、舟山市岱山縣、福州市倉山區(qū)、郴州市臨武縣、南陽市南召縣、朝陽市建平縣、東莞市石碣鎮(zhèn)、南京市秦淮區(qū)
巴中市南江縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、溫州市甌海區(qū)、連云港市贛榆區(qū)、宣城市涇縣、重慶市巫溪縣、泉州市永春縣、泰安市寧陽縣、沈陽市蘇家屯區(qū)
廣西欽州市靈山縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、廣西桂林市資源縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、樂山市沙灣區(qū)、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、?？谑协偵絽^(qū)、洛陽市伊川縣
連云港市贛榆區(qū)、湘潭市湘潭縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、北京市延慶區(qū)、雅安市石棉縣、撫州市臨川區(qū)、衢州市龍游縣、重慶市江北區(qū)
忻州市五臺(tái)縣、廣西柳州市柳南區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、臨沂市蘭山區(qū)、濰坊市臨朐縣
成都市金堂縣、臨汾市襄汾縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、雙鴨山市饒河縣、中山市五桂山街道、綏化市海倫市
晉中市平遙縣、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)、金華市婺城區(qū)、運(yùn)城市萬榮縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、資陽市安岳縣
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、遼源市西安區(qū)、德州市德城區(qū)、重慶市江北區(qū)、衡陽市珠暉區(qū)
內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、吉安市吉安縣、綿陽市安州區(qū)、聊城市陽谷縣、宿遷市泗陽縣、哈爾濱市松北區(qū)、漢中市略陽縣、海東市化隆回族自治縣、東莞市東城街道、大連市旅順口區(qū)
延安市吳起縣、鶴壁市山城區(qū)、丹東市振安區(qū)、大連市瓦房店市、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、伊春市伊美區(qū)、淮安市盱眙縣、資陽市雁江區(qū)、黔南獨(dú)山縣、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)
屯昌縣屯城鎮(zhèn)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、瓊海市陽江鎮(zhèn)、江門市恩平市、菏澤市鄆城縣、玉溪市通?？h、樂東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、鹽城市東臺(tái)市、甘孜稻城縣
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平頂山市魯山縣、朝陽市北票市、信陽市息縣、成都市蒲江縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)
無錫市濱湖區(qū)、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、荊州市荊州區(qū)、濮陽市清豐縣、杭州市蕭山區(qū)、畢節(jié)市納雍縣、玉溪市易門縣、邵陽市隆回縣、鎮(zhèn)江市京口區(qū)
齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、西寧市城西區(qū)、九江市廬山市、天津市河西區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、中山市民眾鎮(zhèn)、舟山市嵊泗縣、東莞市東坑鎮(zhèn)
渭南市合陽縣、黃岡市英山縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、澄邁縣老城鎮(zhèn)、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、三亞市天涯區(qū)、吉林市磐石市、天水市麥積區(qū)
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臺(tái)州市三門縣、紅河河口瑤族自治縣、深圳市龍華區(qū)、上海市虹口區(qū)、滁州市天長(zhǎng)市
瓊海市博鰲鎮(zhèn)、連云港市贛榆區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、資陽市安岳縣、張掖市高臺(tái)縣、遼陽市遼陽縣
黔東南丹寨縣、東營(yíng)市墾利區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、咸陽市三原縣、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、惠州市惠城區(qū)、延安市寶塔區(qū)、汕尾市城區(qū)、西安市灞橋區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)
眉山市東坡區(qū)、南京市六合區(qū)、三門峽市陜州區(qū)、臺(tái)州市天臺(tái)縣、亳州市譙城區(qū)、忻州市五臺(tái)縣
漢中市佛坪縣、紅河建水縣、淮北市杜集區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、南通市通州區(qū)、許昌市襄城縣、瀘州市敘永縣、泰安市東平縣
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黃南同仁市、邵陽市隆回縣、臨夏廣河縣、臺(tái)州市黃巖區(qū)、文山硯山縣、廣元市青川縣、商洛市山陽縣、運(yùn)城市稷山縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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