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珠海市金灣區(qū)、黔南惠水縣、儋州市王五鎮(zhèn)、西寧市湟中區(qū)、東莞市萬江街道、廣西梧州市藤縣、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、遵義市綏陽縣、武漢市江岸區(qū)
雞西市麻山區(qū)、上海市崇明區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、定安縣定城鎮(zhèn)、直轄縣天門市、廣西北海市海城區(qū)、涼山雷波縣、平頂山市汝州市、杭州市西湖區(qū)、廣州市花都區(qū)
駐馬店市正陽縣、洛陽市伊川縣、果洛瑪沁縣、江門市鶴山市、中山市東升鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、貴陽市清鎮(zhèn)市
昆明市祿勸彝族苗族自治縣、果洛瑪沁縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、上海市松江區(qū)、九江市永修縣、惠州市惠東縣
溫州市文成縣、淮南市八公山區(qū)、昭通市水富市、上海市嘉定區(qū)、重慶市石柱土家族自治縣、荊門市沙洋縣、儋州市中和鎮(zhèn)、寶雞市扶風(fēng)縣
大興安嶺地區(qū)漠河市、重慶市忠縣、廣州市花都區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣、內(nèi)江市資中縣、儋州市海頭鎮(zhèn)、太原市陽曲縣、莆田市涵江區(qū)、呂梁市交口縣、臨夏臨夏縣
贛州市會(huì)昌縣、長(zhǎng)春市榆樹市、忻州市河曲縣、臨汾市隰縣、廣州市白云區(qū)、齊齊哈爾市泰來縣、通化市集安市、廣西梧州市龍圩區(qū)
三門峽市陜州區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、三明市明溪縣、定安縣定城鎮(zhèn)、無錫市濱湖區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、綏化市肇東市、北京市通州區(qū)、樂山市峨邊彝族自治縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣
吉安市萬安縣、廣西百色市隆林各族自治縣、河源市源城區(qū)、呂梁市臨縣、九江市修水縣、渭南市華州區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)
黃山市黃山區(qū)、宜春市上高縣、益陽市安化縣、楚雄姚安縣、德州市陵城區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)、哈爾濱市通河縣、河源市龍川縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、隨州市隨縣
廣西梧州市藤縣、廣西百色市右江區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、金華市武義縣、駐馬店市上蔡縣、南平市松溪縣、寶雞市金臺(tái)區(qū)、延安市富縣、常州市天寧區(qū)
聊城市東昌府區(qū)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、荊州市江陵縣、北京市東城區(qū)、麗江市永勝縣
荊州市洪湖市、株洲市荷塘區(qū)、無錫市濱湖區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、蘭州市西固區(qū)、廣西桂林市荔浦市、安陽市湯陰縣、天水市麥積區(qū)、瀘州市納溪區(qū)
南京市雨花臺(tái)區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣、臺(tái)州市黃巖區(qū)、張掖市民樂縣、廣西防城港市防城區(qū)、甘孜石渠縣、甘孜甘孜縣、紹興市嵊州市
洛陽市伊川縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、德陽市什邡市、天水市武山縣、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、北京市豐臺(tái)區(qū)
蘭州市皋蘭縣、郴州市汝城縣、慶陽市華池縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、六安市金安區(qū)、宣城市宣州區(qū)
荊門市沙洋縣、寶雞市鳳翔區(qū)、大理鶴慶縣、菏澤市曹縣、臨沂市平邑縣、汕頭市濠江區(qū)、臺(tái)州市臨海市、泰安市寧陽縣、惠州市博羅縣
昆明市官渡區(qū)、廣西崇左市寧明縣、廈門市翔安區(qū)、南昌市東湖區(qū)、運(yùn)城市稷山縣
亳州市利辛縣、安陽市殷都區(qū)、大連市瓦房店市、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、廣西玉林市容縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、聊城市冠縣、文昌市昌灑鎮(zhèn)、儋州市光村鎮(zhèn)
武威市涼州區(qū)、東莞市東坑鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、阜陽市阜南縣、淮安市淮陰區(qū)、隴南市兩當(dāng)縣、撫州市南豐縣、麗江市玉龍納西族自治縣
開封市龍亭區(qū)、榆林市府谷縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、廣西百色市平果市、鶴崗市綏濱縣、滁州市鳳陽縣、茂名市電白區(qū)
銅仁市石阡縣、南京市浦口區(qū)、聊城市冠縣、吉安市遂川縣、贛州市大余縣
南京市高淳區(qū)、衡陽市石鼓區(qū)、四平市鐵東區(qū)、北京市昌平區(qū)、廣西桂林市永福縣
濰坊市坊子區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、慶陽市慶城縣、寧夏吳忠市鹽池縣、上饒市廣信區(qū)
瀘州市敘永縣、忻州市忻府區(qū)、昆明市尋甸回族彝族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、大連市西崗區(qū)、臨沂市莒南縣、涼山寧南縣、阜新市細(xì)河區(qū)
濟(jì)南市槐蔭區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、東莞市萬江街道、撫順市新?lián)釁^(qū)、佛山市高明區(qū)、大慶市林甸縣、上海市普陀區(qū)、廣西崇左市寧明縣
宣城市郎溪縣、阜陽市太和縣、郴州市臨武縣、天津市武清區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、孝感市孝昌縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、懷化市通道侗族自治縣、洛陽市伊川縣
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蘭州市城關(guān)區(qū)、駐馬店市上蔡縣、咸陽市乾縣、寧夏固原市原州區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、鐵嶺市清河區(qū)
營口市西市區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、平頂山市魯山縣、黃山市黃山區(qū)、南陽市社旗縣、陽泉市城區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、廣西南寧市賓陽縣、十堰市鄖陽區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、臺(tái)州市溫嶺市
銅仁市思南縣、中山市坦洲鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、玉溪市澄江市、陽江市江城區(qū)
佛山市禪城區(qū)、岳陽市君山區(qū)、雙鴨山市饒河縣、儋州市雅星鎮(zhèn)、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)
雞西市梨樹區(qū)、合肥市肥東縣、商洛市丹鳳縣、平頂山市郟縣、廣元市蒼溪縣、河源市東源縣、自貢市榮縣、四平市鐵西區(qū)、臨沂市蘭陵縣
滁州市鳳陽縣、達(dá)州市開江縣、銅陵市銅官區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、南通市海門區(qū)、肇慶市高要區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、常德市鼎城區(qū)
茂名市化州市、儋州市大成鎮(zhèn)、萬寧市大茂鎮(zhèn)、萬寧市后安鎮(zhèn)、邵陽市邵東市、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、南陽市宛城區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、天津市河北區(qū)
臨汾市安澤縣、安康市漢陰縣、黔東南錦屏縣、泰州市靖江市、牡丹江市穆棱市
吉林市樺甸市、西寧市城中區(qū)、淮安市金湖縣、文昌市文城鎮(zhèn)、益陽市安化縣、酒泉市敦煌市
達(dá)州市開江縣、煙臺(tái)市海陽市、贛州市崇義縣、盤錦市大洼區(qū)、德陽市旌陽區(qū)、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、宜賓市長(zhǎng)寧縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、瀘州市江陽區(qū)
哈爾濱市依蘭縣、西安市藍(lán)田縣、焦作市修武縣、洛陽市新安縣、許昌市長(zhǎng)葛市、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)
西安市碑林區(qū)、重慶市城口縣、東莞市橋頭鎮(zhèn)、麗水市慶元縣、渭南市澄城縣、長(zhǎng)春市榆樹市、溫州市洞頭區(qū)、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、廣西來賓市興賓區(qū)、遼陽市文圣區(qū)
中山市小欖鎮(zhèn)、直轄縣潛江市、朔州市懷仁市、內(nèi)江市資中縣、贛州市興國縣、湛江市遂溪縣、金華市東陽市、淮南市鳳臺(tái)縣
德州市德城區(qū)、常德市津市市、運(yùn)城市臨猗縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、莆田市秀嶼區(qū)、岳陽市汨羅市、銅陵市郊區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
郴州市北湖區(qū)、贛州市瑞金市、太原市古交市、雞西市雞冠區(qū)、滁州市南譙區(qū)、淮南市八公山區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、涼山布拖縣、文昌市東路鎮(zhèn)、梅州市平遠(yuǎn)縣
東莞市清溪鎮(zhèn)、泉州市豐澤區(qū)、慶陽市正寧縣、呂梁市石樓縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、晉城市澤州縣、重慶市潼南區(qū)、錦州市凌河區(qū)、福州市倉山區(qū)、重慶市云陽縣
朝陽市凌源市、廣西貴港市覃塘區(qū)、遂寧市射洪市、宜昌市西陵區(qū)、龍巖市武平縣、咸寧市崇陽縣、上饒市橫峰縣、汕頭市潮陽區(qū)、廈門市同安區(qū)
揚(yáng)州市高郵市、威海市榮成市、中山市南頭鎮(zhèn)、大連市西崗區(qū)、廣西柳州市柳北區(qū)、韶關(guān)市武江區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、南京市江寧區(qū)
陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州芒市、忻州市代縣、株洲市炎陵縣、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、湛江市坡頭區(qū)、陽泉市城區(qū)
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湘西州古丈縣、張掖市高臺(tái)縣、洛陽市洛龍區(qū)、漢中市略陽縣、齊齊哈爾市富?？h、淄博市博山區(qū)、昆明市宜良縣、重慶市榮昌區(qū)、廣元市蒼溪縣、楚雄姚安縣
荊州市江陵縣、東莞市南城街道、內(nèi)江市市中區(qū)、大連市莊河市、洛陽市洛龍區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、成都市新津區(qū)、大理劍川縣、徐州市泉山區(qū)
揚(yáng)州市邗江區(qū)、溫州市永嘉縣、泰安市岱岳區(qū)、常德市武陵區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、重慶市綦江區(qū)、鹽城市響水縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、中山市南頭鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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