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深圳市南山區(qū)、文昌市重興鎮(zhèn)、常德市漢壽縣、成都市大邑縣、益陽市安化縣、呂梁市交城縣、六安市舒城縣、淮安市盱眙縣、撫州市金溪縣
濟南市市中區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、濮陽市華龍區(qū)、曲靖市師宗縣、大慶市紅崗區(qū)、南通市啟東市
棗莊市嶧城區(qū)、綏化市望奎縣、德州市禹城市、資陽市雁江區(qū)、大連市長?？h、焦作市解放區(qū)
雙鴨山市四方臺區(qū)、盤錦市興隆臺區(qū)、北京市豐臺區(qū)、天水市張家川回族自治縣、廣西柳州市城中區(qū)
武漢市漢陽區(qū)、漯河市郾城區(qū)、威海市環(huán)翠區(qū)、南昌市灣里區(qū)、自貢市大安區(qū)、運城市稷山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、東方市三家鎮(zhèn)、涼山西昌市
貴陽市云巖區(qū)、景德鎮(zhèn)市樂平市、鶴壁市鶴山區(qū)、宿州市蕭縣、巴中市巴州區(qū)、汕頭市潮陽區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、黔東南榕江縣、鶴崗市興山區(qū)、紹興市越城區(qū)
寧夏銀川市西夏區(qū)、宣城市涇縣、涼山甘洛縣、亳州市蒙城縣、張掖市甘州區(qū)、漢中市鎮(zhèn)巴縣
太原市婁煩縣、益陽市赫山區(qū)、白山市長白朝鮮族自治縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、寧夏固原市彭陽縣、上饒市橫峰縣、丹東市振安區(qū)
汕頭市南澳縣、忻州市河曲縣、曲靖市師宗縣、商丘市虞城縣、茂名市高州市、漳州市平和縣、合肥市肥西縣、南昌市灣里區(qū)、儋州市大成鎮(zhèn)、廣西河池市天峨縣
錦州市太和區(qū)、南充市營山縣、上海市長寧區(qū)、廣西貴港市桂平市、大連市莊河市
臨汾市大寧縣、上海市奉賢區(qū)、五指山市通什、泉州市鯉城區(qū)、重慶市南岸區(qū)、重慶市巫山縣、商丘市虞城縣、北京市東城區(qū)、朔州市山陰縣
舟山市嵊泗縣、咸寧市嘉魚縣、大理巍山彝族回族自治縣、大同市左云縣、鹽城市濱?？h、雙鴨山市尖山區(qū)、通化市二道江區(qū)、濰坊市壽光市、東莞市鳳崗鎮(zhèn)
汕頭市澄海區(qū)、伊春市友好區(qū)、臺州市路橋區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、長春市綠園區(qū)、萬寧市山根鎮(zhèn)、呂梁市臨縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、吉安市遂川縣
玉溪市峨山彝族自治縣、沈陽市渾南區(qū)、上海市崇明區(qū)、長春市朝陽區(qū)、商洛市商南縣
宿遷市沭陽縣、荊州市江陵縣、平?jīng)鍪徐`臺縣、寶雞市千陽縣、周口市川匯區(qū)、北京市平谷區(qū)、武漢市新洲區(qū)、西安市鄠邑區(qū)、廣西來賓市象州縣
臺州市臨海市、鐵嶺市調(diào)兵山市、臨夏廣河縣、重慶市開州區(qū)、淮安市淮陰區(qū)、開封市禹王臺區(qū)、遼源市西安區(qū)、新鄉(xiāng)市延津縣
紹興市新昌縣、遵義市綏陽縣、昆明市石林彝族自治縣、榆林市吳堡縣、上海市虹口區(qū)、貴陽市云巖區(qū)、遼陽市弓長嶺區(qū)
平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、甘孜白玉縣、連云港市連云區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣
晉城市沁水縣、南昌市安義縣、青島市市北區(qū)、漯河市舞陽縣、北京市大興區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、撫州市臨川區(qū)
楚雄南華縣、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、五指山市通什、濟南市長清區(qū)、廣西貴港市平南縣
白銀市平川區(qū)、雅安市雨城區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、白山市江源區(qū)、文山文山市、鷹潭市貴溪市、玉溪市華寧縣、綏化市望奎縣、綿陽市梓潼縣、綏化市海倫市
樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、南昌市青云譜區(qū)、蚌埠市禹會區(qū)、晉城市陵川縣、威海市榮成市
德陽市旌陽區(qū)、南陽市南召縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、紅河瀘西縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、南平市延平區(qū)、麗水市松陽縣、眉山市彭山區(qū)、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、棗莊市滕州市
景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、成都市錦江區(qū)、黃石市鐵山區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、重慶市榮昌區(qū)、東莞市厚街鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、宿遷市沭陽縣、吉安市泰和縣、平頂山市郟縣
廣西北海市合浦縣、宜春市奉新縣、廣西北海市海城區(qū)、洛陽市瀍河回族區(qū)、黃山市歙縣
綏化市安達市、甘孜稻城縣、茂名市信宜市、臨沂市郯城縣、揭陽市揭東區(qū)
保山市騰沖市、渭南市合陽縣、淮北市相山區(qū)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、南陽市社旗縣
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哈爾濱市依蘭縣、黔西南安龍縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、聊城市東阿縣、蘇州市相城區(qū)、沈陽市和平區(qū)
牡丹江市寧安市、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、廣西來賓市合山市、三門峽市盧氏縣、黃山市休寧縣、寧夏銀川市永寧縣、廣西河池市鳳山縣、玉溪市華寧縣、榆林市定邊縣
漢中市城固縣、麗江市永勝縣、永州市冷水灘區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、忻州市繁峙縣、九江市柴桑區(qū)、泉州市鯉城區(qū)、廣西百色市德?？h、澄邁縣福山鎮(zhèn)、吉安市廬陵新區(qū)
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池州市石臺縣、南昌市青云譜區(qū)、信陽市商城縣、吉安市安?？h、渭南市澄城縣、中山市南朗鎮(zhèn)、潮州市湘橋區(qū)
鐵嶺市調(diào)兵山市、重慶市武隆區(qū)、黃岡市紅安縣、松原市扶余市、廣西河池市天峨縣、廣西河池市東蘭縣、漢中市城固縣
臨夏康樂縣、濟寧市梁山縣、內(nèi)江市資中縣、肇慶市高要區(qū)、長沙市天心區(qū)、杭州市拱墅區(qū)
廣西柳州市鹿寨縣、延邊安圖縣、池州市青陽縣、宣城市郎溪縣、重慶市江北區(qū)、嘉峪關市新城鎮(zhèn)、南京市秦淮區(qū)、錦州市古塔區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、寧波市江北區(qū)
廣西貴港市港南區(qū)、肇慶市鼎湖區(qū)、廣西桂林市資源縣、平?jīng)鍪徐o寧縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、廣西防城港市東興市、青島市膠州市、青島市市南區(qū)、廣西崇左市憑祥市、北京市大興區(qū)
岳陽市臨湘市、淮南市大通區(qū)、北京市大興區(qū)、上饒市玉山縣、永州市零陵區(qū)、安陽市北關區(qū)
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南平市浦城縣、內(nèi)蒙古包頭市固陽縣、呂梁市臨縣、焦作市沁陽市、大慶市薩爾圖區(qū)、紅河元陽縣、北京市門頭溝區(qū)、貴陽市花溪區(qū)、中山市西區(qū)街道
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深圳半導體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導體新秀，成為2025中國國際半導體設備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設備新品，包括外延沉積設備EPI（峨眉山）、原子層沉積設備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設備PVD（普陀山）、刻蝕設備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導體設備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導體裝備及零部件、電子制造設備的研發(fā)、制造、銷售與服務。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導體制造工藝中至關重要的技術節(jié)點。如EPI外延層技術是先進制程和第三代半導體的關鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學氣相沉積是半導體制造中需求量最大的設備之一，設備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領域此前由國際龍頭主導，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設備由ASM和TEL主導，市占率合計超60%；在PVD領域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設備采用獨特的反應腔設計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術參數(shù)已接近國際領先水平。而新一代涂膠顯影設備則突破國外技術壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設備。公司此前宣布，已完成13類關鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領域，通過照片和模型的方式展示了光學檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導體檢測和量測設備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導體制造設備中占比約為13%。其中，中國大陸半導體量測檢測設備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導體檢測和量測設備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術難度較高的光學量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應用。
新凱來的技術儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結構、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設備”、“工藝腔室及工藝處理設備”、“進氣分流器、吹掃結構及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設備已形成“設備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導體領域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設備將在第三代半導體領域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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