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雅安市名山區(qū)、延安市子長市、遵義市正安縣、岳陽市平江縣、麗水市青田縣、武漢市黃陂區(qū)、六安市金寨縣、紹興市越城區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)
廣西防城港市東興市、成都市崇州市、呂梁市交口縣、昭通市永善縣、臨高縣加來鎮(zhèn)、湛江市麻章區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)
北京市延慶區(qū)、長沙市芙蓉區(qū)、安康市紫陽縣、日照市嵐山區(qū)、咸陽市彬州市、西寧市城中區(qū)、臺州市溫嶺市、金華市武義縣、雅安市蘆山縣
廣西桂林市秀峰區(qū)、天津市東麗區(qū)、長治市上黨區(qū)、武漢市硚口區(qū)、宿遷市泗洪縣、邵陽市武岡市、駐馬店市驛城區(qū)、延邊敦化市
廣西桂林市秀峰區(qū)、樂山市峨邊彝族自治縣、大理劍川縣、錦州市凌河區(qū)、重慶市璧山區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、宜昌市夷陵區(qū)、湘西州吉首市、德陽市旌陽區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)
中山市民眾鎮(zhèn)、茂名市電白區(qū)、齊齊哈爾市拜泉縣、平?jīng)鍪袥艽h、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、寶雞市鳳縣、延邊汪清縣、延邊敦化市
泰安市東平縣、黔南荔波縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、西雙版納勐海縣、榆林市府谷縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、昆明市富民縣、昭通市魯?shù)榭h、廣西防城港市港口區(qū)
黃南同仁市、衡陽市祁東縣、鄭州市登封市、迪慶香格里拉市、綏化市青岡縣、長沙市岳麓區(qū)
益陽市安化縣、宿遷市宿城區(qū)、南充市儀隴縣、慶陽市慶城縣、濟南市槐蔭區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、黃岡市紅安縣、紅河蒙自市、齊齊哈爾市龍沙區(qū)
永州市江華瑤族自治縣、寶雞市扶風縣、榆林市米脂縣、中山市港口鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、鹽城市響水縣、蘭州市紅古區(qū)、銅陵市郊區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣
貴陽市息烽縣、鄭州市金水區(qū)、文昌市東郊鎮(zhèn)、遼源市東遼縣、大連市莊河市、泉州市南安市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、宣城市績溪縣、韶關(guān)市翁源縣、貴陽市開陽縣
銅川市印臺區(qū)、松原市寧江區(qū)、文昌市會文鎮(zhèn)、鹽城市東臺市、嘉興市南湖區(qū)、哈爾濱市木蘭縣、清遠市連山壯族瑤族自治縣、大理祥云縣、蘭州市永登縣
伊春市伊美區(qū)、許昌市襄城縣、哈爾濱市延壽縣、舟山市定海區(qū)、長沙市岳麓區(qū)
廈門市海滄區(qū)、成都市都江堰市、營口市大石橋市、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、濟寧市嘉祥縣
三門峽市盧氏縣、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、婁底市婁星區(qū)、寧夏吳忠市同心縣、廣西河池市天峨縣、蚌埠市懷遠縣、鷹潭市余江區(qū)、五指山市毛道、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)
湖州市吳興區(qū)、南京市雨花臺區(qū)、吉安市永新縣、紅河瀘西縣、河源市源城區(qū)、無錫市濱湖區(qū)、寧波市慈溪市、岳陽市岳陽樓區(qū)
東營市東營區(qū)、萬寧市萬城鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、宿州市碭山縣、江門市新會區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗
文山丘北縣、棗莊市山亭區(qū)、贛州市尋烏縣、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、長沙市雨花區(qū)、安慶市宿松縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、洛陽市洛寧縣、呂梁市臨縣、佳木斯市樺南縣
荊州市江陵縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、大同市廣靈縣、直轄縣仙桃市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、洛陽市汝陽縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、廣西柳州市城中區(qū)、四平市雙遼市、聊城市高唐縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、東營市墾利區(qū)、長治市上黨區(qū)、咸寧市嘉魚縣
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襄陽市?？悼h、泰安市岱岳區(qū)、通化市東昌區(qū)、昆明市東川區(qū)、南京市江寧區(qū)
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鶴崗市工農(nóng)區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、雞西市滴道區(qū)、晉城市陽城縣、達州市達川區(qū)、撫州市臨川區(qū)
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儋州市南豐鎮(zhèn)、大同市平城區(qū)、鷹潭市余江區(qū)、懷化市洪江市、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)
鹽城市濱?？h、西雙版納勐海縣、甘孜理塘縣、吉安市永豐縣、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、濟寧市兗州區(qū)、德州市禹城市、南充市儀隴縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、延安市洛川縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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