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昆明市宜良縣、榆林市子洲縣、汕頭市澄海區(qū)、蘇州市常熟市、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、丹東市東港市、榆林市佳縣、咸陽(yáng)市旬邑縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、海西蒙古族都蘭縣
汕頭市金平區(qū)、海西蒙古族都蘭縣、文山富寧縣、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、宿州市碭山縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)
文昌市公坡鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市界首市、駐馬店市新蔡縣、孝感市孝昌縣、菏澤市牡丹區(qū)
陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、忻州市繁峙縣、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、菏澤市鄆城縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、陽(yáng)泉市郊區(qū)
東莞市麻涌鎮(zhèn)、懷化市新晃侗族自治縣、衢州市常山縣、汕頭市金平區(qū)、?？谑协偵絽^(qū)、延安市黃龍縣
大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、荊門(mén)市東寶區(qū)、中山市中山港街道、南陽(yáng)市桐柏縣、黔西南安龍縣、九江市柴桑區(qū)
天津市河北區(qū)、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、黑河市北安市、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)、洛陽(yáng)市欒川縣、伊春市湯旺縣、濱州市鄒平市
鐵嶺市昌圖縣、大同市云岡區(qū)、黔東南榕江縣、文山文山市、榆林市榆陽(yáng)區(qū)
舟山市定海區(qū)、吉安市青原區(qū)、莆田市荔城區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、撫順市撫順縣
呂梁市離石區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、廣西玉林市興業(yè)縣、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)
遼陽(yáng)市太子河區(qū)、溫州市泰順縣、贛州市上猶縣、亳州市蒙城縣、五指山市水滿、泰安市岱岳區(qū)
天津市靜海區(qū)、黃岡市蘄春縣、廣西梧州市岑溪市、大連市甘井子區(qū)、淮南市田家庵區(qū)、宜賓市江安縣
周口市項(xiàng)城市、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、撫順市清原滿族自治縣、湘西州花垣縣、上海市嘉定區(qū)、大連市西崗區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、廣西崇左市大新縣、珠海市香洲區(qū)
延安市宜川縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、綏化市慶安縣、泰州市靖江市、揚(yáng)州市儀征市、武漢市青山區(qū)
鞍山市鐵東區(qū)、甘南臨潭縣、德州市臨邑縣、東方市三家鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、漢中市略陽(yáng)縣、宜昌市伍家崗區(qū)
瓊海市博鰲鎮(zhèn)、連云港市贛榆區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、資陽(yáng)市安岳縣、張掖市高臺(tái)縣、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣
佛山市高明區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、南昌市東湖區(qū)、上海市普陀區(qū)、果洛甘德縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、白沙黎族自治縣元門(mén)鄉(xiāng)
內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、深圳市寶安區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、青島市即墨區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、肇慶市鼎湖區(qū)、佳木斯市樺川縣
果洛久治縣、威海市環(huán)翠區(qū)、紅河石屏縣、信陽(yáng)市新縣、廣西百色市那坡縣、臨汾市侯馬市、荊門(mén)市京山市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗
玉溪市澄江市、廣州市番禺區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)、懷化市辰溪縣、襄陽(yáng)市襄城區(qū)、商丘市寧陵縣
阜陽(yáng)市潁州區(qū)、東莞市洪梅鎮(zhèn)、鶴壁市淇濱區(qū)、廣州市荔灣區(qū)、萬(wàn)寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、麗水市景寧畬族自治縣、儋州市新州鎮(zhèn)、鷹潭市貴溪市
晉中市介休市、陽(yáng)泉市平定縣、江門(mén)市新會(huì)區(qū)、文山丘北縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、廣西賀州市富川瑤族自治縣、臺(tái)州市玉環(huán)市、果洛達(dá)日縣、衢州市江山市
漳州市平和縣、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、信陽(yáng)市潢川縣、廈門(mén)市湖里區(qū)、武威市古浪縣、東莞市東城街道
成都市金牛區(qū)、廈門(mén)市翔安區(qū)、韶關(guān)市樂(lè)昌市、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、永州市江華瑤族自治縣、雞西市滴道區(qū)、黔南三都水族自治縣、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)
重慶市石柱土家族自治縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、涼山雷波縣、寶雞市鳳翔區(qū)、涼山昭覺(jué)縣
雙鴨山市饒河縣、吉林市永吉縣、恩施州利川市、自貢市自流井區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、哈爾濱市香坊區(qū)、五指山市通什、麗江市寧蒗彝族自治縣
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長(zhǎng)治市沁源縣、泉州市石獅市、臨沂市平邑縣、咸陽(yáng)市楊陵區(qū)、阜新市清河門(mén)區(qū)、臨滄市臨翔區(qū)
昭通市昭陽(yáng)區(qū)、黔西南普安縣、濮陽(yáng)市清豐縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、南京市建鄴區(qū)、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)
臨高縣新盈鎮(zhèn)、延安市延川縣、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、濟(jì)寧市汶上縣、六盤(pán)水市盤(pán)州市、鶴壁市淇縣、攀枝花市西區(qū)、徐州市鼓樓區(qū)
長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣、隴南市禮縣、廣西桂林市平樂(lè)縣、渭南市臨渭區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、黔東南岑鞏縣
白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)、廣西百色市平果市、丹東市元寶區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、晉中市平遙縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、泉州市惠安縣
忻州市五臺(tái)縣、衡陽(yáng)市祁東縣、廣西百色市德保縣、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、黔西南普安縣、中山市民眾鎮(zhèn)、蘭州市永登縣、商丘市夏邑縣、十堰市丹江口市、眉山市洪雅縣
撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、大同市陽(yáng)高縣、湘潭市韶山市、洛陽(yáng)市老城區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、重慶市秀山縣、寧波市北侖區(qū)、營(yíng)口市西市區(qū)
雅安市雨城區(qū)、慶陽(yáng)市正寧縣、晉中市平遙縣、黑河市嫩江市、東莞市清溪鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、榆林市定邊縣、紅河元陽(yáng)縣、昭通市魯?shù)榭h
揭陽(yáng)市揭東區(qū)、呂梁市交口縣、通化市東昌區(qū)、咸寧市赤壁市、中山市東鳳鎮(zhèn)、周口市川匯區(qū)、煙臺(tái)市棲霞市、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、宿州市蕭縣、營(yíng)口市鲅魚(yú)圈區(qū)
臨沂市平邑縣、六安市霍邱縣、濰坊市壽光市、牡丹江市寧安市、漯河市召陵區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、云浮市新興縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、廣州市番禺區(qū)、張家界市桑植縣
綏化市望奎縣、武漢市新洲區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、泰安市泰山區(qū)、南平市松溪縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、麗江市永勝縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市
襄陽(yáng)市襄州區(qū)、麗江市永勝縣、沈陽(yáng)市新民市、天津市濱海新區(qū)、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)
煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、麗水市遂昌縣、咸陽(yáng)市旬邑縣、吉安市泰和縣、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、江門(mén)市新會(huì)區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)
南陽(yáng)市社旗縣、西雙版納景洪市、寶雞市岐山縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、黔南荔波縣、大理南澗彝族自治縣
金華市婺城區(qū)、三門(mén)峽市湖濱區(qū)、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、潮州市湘橋區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣
九江市武寧縣、杭州市建德市、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、榆林市清澗縣
重慶市云陽(yáng)縣、上海市金山區(qū)、鶴壁市淇縣、阜陽(yáng)市界首市、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、廣西梧州市岑溪市、東莞市寮步鎮(zhèn)
德州市寧津縣、金昌市永昌縣、黔東南凱里市、武漢市江夏區(qū)、忻州市繁峙縣
黔西南普安縣、南昌市新建區(qū)、昭通市威信縣、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、張家界市永定區(qū)、重慶市大足區(qū)
牡丹江市寧安市、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、保山市施甸縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、雞西市麻山區(qū)
連云港市灌云縣、汕頭市南澳縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、保山市昌寧縣、白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)、酒泉市金塔縣、天津市津南區(qū)、龍巖市武平縣、南平市順昌縣、泰州市海陵區(qū)
黔南都勻市、貴陽(yáng)市修文縣、西雙版納景洪市、成都市邛崍市、上海市虹口區(qū)、海北祁連縣、合肥市肥東縣
雞西市虎林市、三門(mén)峽市澠池縣、鄭州市新鄭市、成都市崇州市、呂梁市離石區(qū)、寶雞市太白縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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