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本溪市明山區(qū)、上海市奉賢區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)、梅州市梅江區(qū)、廣西百色市德保縣、湘潭市湘鄉(xiāng)市、酒泉市金塔縣
蘇州市吳中區(qū)、海西蒙古族格爾木市、呂梁市柳林縣、鹽城市射陽(yáng)縣、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣
滁州市鳳陽(yáng)縣、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、中山市東升鎮(zhèn)、鄭州市中牟縣、平?jīng)鍪袥艽h、張家界市武陵源區(qū)、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、怒江傈僳族自治州瀘水市、廣西梧州市藤縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、無(wú)錫市惠山區(qū)、朔州市右玉縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、臨汾市安澤縣
新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、貴陽(yáng)市息烽縣、銅仁市碧江區(qū)、運(yùn)城市臨猗縣、宜昌市遠(yuǎn)安縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、廣西百色市右江區(qū)
綿陽(yáng)市江油市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、攀枝花市仁和區(qū)、寧夏銀川市興慶區(qū)
昆明市石林彝族自治縣、廣西南寧市上林縣、泉州市石獅市、東方市四更鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、常德市津市市、榆林市府谷縣、盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)
鹽城市阜寧縣、重慶市榮昌區(qū)、中山市石岐街道、咸陽(yáng)市旬邑縣、南京市六合區(qū)、渭南市合陽(yáng)縣、湘西州鳳凰縣、宿州市靈璧縣、廣西桂林市平樂(lè)縣
溫州市龍港市、海西蒙古族茫崖市、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、大理永平縣、蘭州市七里河區(qū)、臺(tái)州市路橋區(qū)、六安市葉集區(qū)、贛州市安遠(yuǎn)縣
大連市莊河市、徐州市泉山區(qū)、營(yíng)口市蓋州市、上海市松江區(qū)、廣西柳州市融水苗族自治縣、上海市青浦區(qū)、南充市順慶區(qū)、咸陽(yáng)市秦都區(qū)、武漢市硚口區(qū)、沈陽(yáng)市和平區(qū)
上海市徐匯區(qū)、莆田市城廂區(qū)、遵義市綏陽(yáng)縣、曲靖市陸良縣、濟(jì)寧市泗水縣、漯河市舞陽(yáng)縣、晉城市陵川縣、嘉興市秀洲區(qū)
錦州市太和區(qū)、青島市市南區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、昆明市安寧市、阿壩藏族羌族自治州茂縣、果洛瑪沁縣
重慶市潼南區(qū)、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、阜新市細(xì)河區(qū)、吉林市永吉縣、自貢市沿灘區(qū)、孝感市漢川市、伊春市湯旺縣、大理鶴慶縣
商丘市虞城縣、佳木斯市湯原縣、齊齊哈爾市克山縣、廣安市武勝縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣
六盤(pán)水市盤(pán)州市、昭通市昭陽(yáng)區(qū)、西寧市城東區(qū)、安康市寧陜縣、忻州市河曲縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、海南共和縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)
慶陽(yáng)市合水縣、運(yùn)城市河津市、朔州市平魯區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、淮安市漣水縣、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、溫州市蒼南縣、鞍山市岫巖滿族自治縣
達(dá)州市渠縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、上海市青浦區(qū)、吉林市船營(yíng)區(qū)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、六安市霍山縣、中山市東升鎮(zhèn)、濟(jì)南市市中區(qū)
陽(yáng)泉市郊區(qū)、文昌市文城鎮(zhèn)、東方市天安鄉(xiāng)、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、福州市鼓樓區(qū)、宿州市泗縣、天水市張家川回族自治縣
邵陽(yáng)市武岡市、上饒市婺源縣、自貢市自流井區(qū)、阜新市彰武縣、紹興市越城區(qū)、懷化市會(huì)同縣、黔東南麻江縣、紹興市柯橋區(qū)、上海市徐匯區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣
無(wú)錫市宜興市、株洲市石峰區(qū)、成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市、咸陽(yáng)市武功縣、銅川市宜君縣、綿陽(yáng)市鹽亭縣、云浮市新興縣、常德市臨澧縣、上饒市玉山縣
甘南卓尼縣、吉安市吉安縣、佳木斯市樺南縣、懷化市沅陵縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、陽(yáng)泉市平定縣、馬鞍山市雨山區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)、三明市沙縣區(qū)
廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、寧德市周寧縣、瀘州市江陽(yáng)區(qū)、眉山市青神縣、北京市通州區(qū)、臨沂市郯城縣、永州市雙牌縣、張掖市臨澤縣
寧德市古田縣、駐馬店市遂平縣、重慶市梁平區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、安陽(yáng)市滑縣、清遠(yuǎn)市清城區(qū)、南昌市安義縣、安康市嵐皋縣、臨汾市古縣、常德市澧縣
汕尾市陸豐市、撫順市撫順縣、東莞市厚街鎮(zhèn)、泉州市惠安縣、恩施州咸豐縣、徐州市泉山區(qū)
濰坊市坊子區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、慶陽(yáng)市慶城縣、寧夏吳忠市鹽池縣、上饒市廣信區(qū)
臨高縣皇桐鎮(zhèn)、黔南貴定縣、漯河市舞陽(yáng)縣、濰坊市寒亭區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、徐州市邳州市、牡丹江市穆棱市
齊齊哈爾市克山縣、天津市靜海區(qū)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、郴州市蘇仙區(qū)、綏化市北林區(qū)、攀枝花市西區(qū)、遵義市赤水市
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汕尾市陸豐市、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、寶雞市鳳縣、榆林市府谷縣、揭陽(yáng)市榕城區(qū)、湛江市麻章區(qū)
淮安市淮安區(qū)、濟(jì)寧市嘉祥縣、吉安市峽江縣、臨沂市蒙陰縣、鹽城市響水縣
濟(jì)南市平陰縣、沈陽(yáng)市和平區(qū)、淄博市高青縣、廣西桂林市象山區(qū)、南平市政和縣、遵義市赤水市、徐州市云龍區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、安慶市迎江區(qū)、大慶市大同區(qū)
大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、南陽(yáng)市淅川縣、大慶市大同區(qū)、儋州市雅星鎮(zhèn)、韶關(guān)市新豐縣、攀枝花市鹽邊縣、開(kāi)封市通許縣、牡丹江市東安區(qū)、臨汾市堯都區(qū)
泰安市東平縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、伊春市大箐山縣、哈爾濱市松北區(qū)、廣西來(lái)賓市合山市、南通市海門(mén)區(qū)
果洛瑪沁縣、商丘市虞城縣、雞西市恒山區(qū)、廣西河池市天峨縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、南京市玄武區(qū)、鶴崗市南山區(qū)
廣西貴港市平南縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、云浮市云城區(qū)、張掖市民樂(lè)縣、平?jīng)鍪星f浪縣、文昌市東路鎮(zhèn)、東方市三家鎮(zhèn)
云浮市云城區(qū)、楚雄雙柏縣、綏化市蘭西縣、酒泉市敦煌市、岳陽(yáng)市汨羅市、佳木斯市樺南縣
深圳市龍崗區(qū)、寧波市余姚市、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、濮陽(yáng)市清豐縣、臺(tái)州市天臺(tái)縣、雙鴨山市寶山區(qū)
青島市嶗山區(qū)、雅安市名山區(qū)、南陽(yáng)市桐柏縣、海東市化隆回族自治縣、許昌市魏都區(qū)
萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、延邊和龍市、榆林市靖邊縣、宜賓市敘州區(qū)
寧夏銀川市永寧縣、昆明市宜良縣、九江市彭澤縣、黑河市孫吳縣、安慶市潛山市、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、雅安市名山區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、蕪湖市無(wú)為市、孝感市大悟縣、宜昌市西陵區(qū)、鶴壁市淇濱區(qū)、南京市棲霞區(qū)
廣西防城港市上思縣、大理大理市、深圳市龍華區(qū)、玉樹(shù)治多縣、白銀市白銀區(qū)
哈爾濱市依蘭縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、鄭州市登封市、臨沂市平邑縣、梅州市蕉嶺縣、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、焦作市沁陽(yáng)市、金華市武義縣、錦州市黑山縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)
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咸陽(yáng)市渭城區(qū)、綿陽(yáng)市游仙區(qū)、宿州市泗縣、臨汾市襄汾縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣
朔州市平魯區(qū)、攀枝花市西區(qū)、東莞市橋頭鎮(zhèn)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、無(wú)錫市宜興市
六安市霍邱縣、廣西欽州市欽北區(qū)、三明市寧化縣、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、寶雞市麟游縣、晉城市沁水縣
徐州市豐縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、忻州市忻府區(qū)、荊門(mén)市掇刀區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣
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?？谑协偵絽^(qū)、樂(lè)山市犍為縣、阜新市細(xì)河區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、銅川市印臺(tái)區(qū)、荊門(mén)市京山市
咸陽(yáng)市乾縣、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、果洛瑪多縣、運(yùn)城市聞喜縣、雞西市雞冠區(qū)、遼源市龍山區(qū)、中山市阜沙鎮(zhèn)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、忻州市繁峙縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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