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吉林市龍?zhí)秴^(qū)、營(yíng)口市西市區(qū)、廣西柳州市鹿寨縣、黔東南雷山縣、畢節(jié)市黔西市、泉州市永春縣、株洲市炎陵縣、忻州市五臺(tái)縣、聊城市高唐縣
哈爾濱市道里區(qū)、天津市和平區(qū)、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、黃岡市武穴市、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、樂(lè)山市市中區(qū)
臺(tái)州市三門(mén)縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、岳陽(yáng)市平江縣、北京市大興區(qū)、湘西州瀘溪縣、紹興市柯橋區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、鄭州市新鄭市、武漢市江漢區(qū)
東方市天安鄉(xiāng)、揚(yáng)州市邗江區(qū)、煙臺(tái)市福山區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、潮州市饒平縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、贛州市龍南市、吉林市樺甸市、鶴崗市工農(nóng)區(qū)
普洱市景東彝族自治縣、宜賓市江安縣、株洲市淥口區(qū)、廣西桂林市象山區(qū)、吉林市昌邑區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、商丘市睢縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、上海市崇明區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)
廣西來(lái)賓市武宣縣、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、廣安市廣安區(qū)、杭州市余杭區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、孝感市孝昌縣、蕪湖市南陵縣、青島市市北區(qū)、廣元市朝天區(qū)
臨汾市浮山縣、隴南市宕昌縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、黔南平塘縣、瓊海市大路鎮(zhèn)
漳州市龍文區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、襄陽(yáng)市?？悼h、金華市武義縣、三沙市西沙區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、陽(yáng)江市陽(yáng)春市
荊州市荊州區(qū)、瓊海市萬(wàn)泉鎮(zhèn)、七臺(tái)河市勃利縣、駐馬店市正陽(yáng)縣、菏澤市牡丹區(qū)、安康市石泉縣、蕪湖市無(wú)為市
晉中市榆次區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、三亞市崖州區(qū)、杭州市江干區(qū)、黃岡市武穴市、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、惠州市惠陽(yáng)區(qū)、甘南夏河縣
廣西柳州市柳北區(qū)、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、呂梁市交城縣、梅州市平遠(yuǎn)縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、福州市永泰縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣
焦作市山陽(yáng)區(qū)、廣西梧州市岑溪市、青島市市南區(qū)、常德市武陵區(qū)、四平市雙遼市、東方市板橋鎮(zhèn)
吉林市龍?zhí)秴^(qū)、通化市二道江區(qū)、寶雞市渭濱區(qū)、南昌市南昌縣、廣西玉林市福綿區(qū)、黃石市西塞山區(qū)
延邊延吉市、宣城市宣州區(qū)、漯河市源匯區(qū)、雞西市麻山區(qū)、九江市永修縣、大理彌渡縣、重慶市涪陵區(qū)
洛陽(yáng)市伊川縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、東方市感城鎮(zhèn)、隴南市宕昌縣、郴州市桂陽(yáng)縣、惠州市惠東縣、海西蒙古族格爾木市、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)
白城市通榆縣、遵義市湄潭縣、安慶市大觀區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)、十堰市丹江口市、湘潭市岳塘區(qū)、漳州市龍海區(qū)、瀘州市瀘縣
廣西桂林市雁山區(qū)、宜春市高安市、濰坊市安丘市、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、廣安市鄰水縣、大同市天鎮(zhèn)縣
廣西防城港市港口區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、駐馬店市遂平縣、咸寧市通城縣、廣西玉林市博白縣、九江市彭澤縣、杭州市臨安區(qū)、佳木斯市前進(jìn)區(qū)
江門(mén)市新會(huì)區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、九江市柴桑區(qū)、無(wú)錫市濱湖區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、丹東市元寶區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、文山麻栗坡縣、迪慶香格里拉市、荊門(mén)市京山市、平?jīng)鍪徐o寧縣、太原市婁煩縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、錦州市凌河區(qū)
東莞市莞城街道、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、廣西河池市天峨縣、太原市晉源區(qū)、遵義市湄潭縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、東莞市道滘鎮(zhèn)、徐州市豐縣、黃南同仁市
杭州市江干區(qū)、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、廣西柳州市柳南區(qū)、連云港市海州區(qū)、泉州市金門(mén)縣
青島市平度市、三門(mén)峽市湖濱區(qū)、佳木斯市郊區(qū)、贛州市瑞金市、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、曲靖市羅平縣、樂(lè)山市沐川縣
臨夏臨夏市、伊春市湯旺縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、咸寧市咸安區(qū)、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣
恩施州恩施市、福州市福清市、黔南龍里縣、常德市津市市、北京市門(mén)頭溝區(qū)、酒泉市肅北蒙古族自治縣
定安縣翰林鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、平頂山市魯山縣、海北剛察縣、中山市黃圃鎮(zhèn)
甘孜九龍縣、哈爾濱市雙城區(qū)、營(yíng)口市老邊區(qū)、福州市馬尾區(qū)、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、廣西南寧市橫州市
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延安市延川縣、江門(mén)市開(kāi)平市、鶴壁市淇縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、南充市蓬安縣、普洱市景東彝族自治縣
濟(jì)南市章丘區(qū)、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、涼山喜德縣、齊齊哈爾市拜泉縣、沈陽(yáng)市大東區(qū)、大連市金州區(qū)、天津市西青區(qū)、晉中市平遙縣
臨沂市郯城縣、鶴崗市東山區(qū)、荊門(mén)市沙洋縣、寶雞市扶風(fēng)縣、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、常德市漢壽縣、上海市黃浦區(qū)、五指山市通什、西安市臨潼區(qū)、佳木斯市湯原縣
贛州市贛縣區(qū)、延邊琿春市、淮南市謝家集區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、綏化市青岡縣、昭通市巧家縣、蚌埠市蚌山區(qū)、眉山市丹棱縣、上饒市廣信區(qū)
黔東南凱里市、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、淮安市清江浦區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、西寧市城西區(qū)、雅安市石棉縣、鶴壁市鶴山區(qū)、衢州市常山縣、宜賓市筠連縣
廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、重慶市潼南區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、淮安市金湖縣、西安市高陵區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣、九江市永修縣、蚌埠市龍子湖區(qū)
重慶市渝北區(qū)、南通市如東縣、馬鞍山市花山區(qū)、榆林市子洲縣、岳陽(yáng)市君山區(qū)、濱州市博興縣、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、廣安市鄰水縣
東方市感城鎮(zhèn)、濰坊市諸城市、平頂山市舞鋼市、廣西崇左市龍州縣、沈陽(yáng)市大東區(qū)、濟(jì)寧市嘉祥縣
宜賓市珙縣、襄陽(yáng)市南漳縣、丹東市寬甸滿族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、陽(yáng)江市江城區(qū)、十堰市鄖西縣、廣西桂林市全州縣、南京市溧水區(qū)、南京市浦口區(qū)
永州市道縣、海南貴德縣、本溪市桓仁滿族自治縣、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、通化市通化縣、廣西柳州市柳江區(qū)、湛江市霞山區(qū)、黃岡市英山縣、臨沂市蒙陰縣、廣西防城港市上思縣
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宣城市涇縣、杭州市濱江區(qū)、湖州市長(zhǎng)興縣、常德市安鄉(xiāng)縣、雞西市滴道區(qū)、晉中市榆次區(qū)
永州市新田縣、紅河河口瑤族自治縣、泉州市永春縣、重慶市璧山區(qū)、廣西賀州市昭平縣、本溪市桓仁滿族自治縣、曲靖市師宗縣、延邊和龍市、達(dá)州市開(kāi)江縣
咸寧市嘉魚(yú)縣、茂名市電白區(qū)、眉山市仁壽縣、鶴壁市鶴山區(qū)、涼山德昌縣、撫順市新賓滿族自治縣、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣、大理賓川縣
信陽(yáng)市潢川縣、成都市雙流區(qū)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、北京市順義區(qū)、上饒市鉛山縣、濰坊市昌邑市
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東莞市南城街道、運(yùn)城市新絳縣、雞西市雞冠區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、甘孜石渠縣、臨汾市堯都區(qū)、廣西防城港市東興市、黔南都勻市
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吉林市龍?zhí)秴^(qū)、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、黃山市黟縣、黔南羅甸縣、懷化市辰溪縣、天津市東麗區(qū)、九江市武寧縣、鶴崗市綏濱縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗
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重慶市云陽(yáng)縣、鶴壁市淇縣、長(zhǎng)治市屯留區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)
紹興市柯橋區(qū)、楚雄元謀縣、深圳市南山區(qū)、宜昌市遠(yuǎn)安縣、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、西寧市城中區(qū)
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上饒市弋陽(yáng)縣、阜陽(yáng)市阜南縣、銅陵市郊區(qū)、南充市儀隴縣、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、商丘市夏邑縣、株洲市石峰區(qū)、鄭州市中原區(qū)、遵義市湄潭縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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