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東方市感城鎮(zhèn)、臨夏臨夏縣、朝陽(yáng)市建平縣、大理巍山彝族回族自治縣、重慶市渝中區(qū)、天津市寶坻區(qū)、廣西百色市德?？h、杭州市蕭山區(qū)、吉安市萬(wàn)安縣、宜春市靖安縣
儋州市蘭洋鎮(zhèn)、玉樹(shù)雜多縣、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、海西蒙古族茫崖市、益陽(yáng)市南縣、銅川市印臺(tái)區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、黔東南丹寨縣、無(wú)錫市江陰市、南通市海門區(qū)
隴南市宕昌縣、保山市騰沖市、開(kāi)封市杞縣、洛陽(yáng)市嵩縣、天津市寶坻區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、海南共和縣、紅河河口瑤族自治縣、榆林市橫山區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)
文昌市潭牛鎮(zhèn)、甘孜色達(dá)縣、普洱市景東彝族自治縣、晉中市左權(quán)縣、哈爾濱市阿城區(qū)、茂名市電白區(qū)、阜新市彰武縣、廣元市旺蒼縣、蕪湖市南陵縣
大連市金州區(qū)、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、攀枝花市西區(qū)、杭州市濱江區(qū)、黃山市徽州區(qū)
泰安市泰山區(qū)、廣西北海市合浦縣、遂寧市安居區(qū)、廣西梧州市蒙山縣、黑河市遜克縣、湘潭市湘潭縣、岳陽(yáng)市汨羅市
珠海市斗門區(qū)、杭州市江干區(qū)、資陽(yáng)市安岳縣、成都市新津區(qū)、煙臺(tái)市棲霞市、溫州市鹿城區(qū)、直轄縣天門市、嘉興市秀洲區(qū)、濱州市無(wú)棣縣
臨滄市滄源佤族自治縣、無(wú)錫市惠山區(qū)、五指山市毛陽(yáng)、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、荊州市荊州區(qū)、北京市懷柔區(qū)、江門市蓬江區(qū)、張掖市臨澤縣
焦作市博愛(ài)縣、福州市晉安區(qū)、淮安市金湖縣、吉安市廬陵新區(qū)、湛江市雷州市、隨州市廣水市、茂名市信宜市、咸寧市赤壁市、黃石市黃石港區(qū)
儋州市排浦鎮(zhèn)、宜賓市筠連縣、濟(jì)南市章丘區(qū)、紹興市嵊州市、株洲市醴陵市、咸陽(yáng)市武功縣、贛州市瑞金市、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)
六安市霍山縣、白城市大安市、撫州市南豐縣、泰安市岱岳區(qū)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、文昌市鋪前鎮(zhèn)、臨高縣東英鎮(zhèn)、滁州市天長(zhǎng)市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、張掖市臨澤縣
果洛達(dá)日縣、菏澤市定陶區(qū)、漢中市南鄭區(qū)、孝感市大悟縣、海北海晏縣、黃岡市麻城市、平頂山市舞鋼市、無(wú)錫市江陰市、普洱市瀾滄拉祜族自治縣、廈門市同安區(qū)
海口市瓊山區(qū)、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、上海市普陀區(qū)、河源市紫金縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)
廣西崇左市天等縣、東莞市南城街道、牡丹江市西安區(qū)、蘭州市城關(guān)區(qū)、定西市渭源縣
聊城市高唐縣、大連市金州區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣、延邊汪清縣、吉安市新干縣、許昌市禹州市、海東市樂(lè)都區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、洛陽(yáng)市孟津區(qū)
上海市靜安區(qū)、直轄縣仙桃市、東莞市茶山鎮(zhèn)、懷化市鶴城區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、鹽城市亭湖區(qū)、晉城市澤州縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、南昌市東湖區(qū)
廣西百色市田林縣、張家界市武陵源區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、儋州市大成鎮(zhèn)、白銀市靖遠(yuǎn)縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、臨汾市永和縣
廣西貴港市港北區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、揭陽(yáng)市揭西縣、通化市東昌區(qū)
安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、貴陽(yáng)市修文縣、淮北市杜集區(qū)、樂(lè)山市金口河區(qū)、茂名市化州市、牡丹江市綏芬河市、中山市黃圃鎮(zhèn)、安陽(yáng)市湯陰縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗
榆林市橫山區(qū)、濱州市陽(yáng)信縣、茂名市高州市、上饒市德興市、蕪湖市弋江區(qū)
普洱市思茅區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、宣城市涇縣、青島市李滄區(qū)、臺(tái)州市溫嶺市、海東市互助土族自治縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、伊春市友好區(qū)、無(wú)錫市新吳區(qū)、臺(tái)州市黃巖區(qū)
果洛班瑪縣、黔東南從江縣、北京市房山區(qū)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、商丘市夏邑縣
上饒市婺源縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)、甘孜甘孜縣、自貢市大安區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、海西蒙古族茫崖市
阜陽(yáng)市潁州區(qū)、成都市金牛區(qū)、白銀市靖遠(yuǎn)縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、北京市東城區(qū)
衢州市龍游縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、酒泉市敦煌市、廣西柳州市三江侗族自治縣、聊城市高唐縣、青島市平度市、廣西南寧市良慶區(qū)、云浮市新興縣、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)
中山市神灣鎮(zhèn)、合肥市瑤海區(qū)、鶴壁市?？h、吉安市萬(wàn)安縣、隴南市西和縣、九江市德安縣、濰坊市諸城市、蕪湖市南陵縣、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、酒泉市瓜州縣
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瓊海市石壁鎮(zhèn)、東莞市大朗鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、畢節(jié)市赫章縣、黔南甕安縣、伊春市鐵力市、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、上饒市弋陽(yáng)縣、黔西南貞豐縣
榆林市清澗縣、澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、黔東南丹寨縣、懷化市通道侗族自治縣、廣西梧州市蒼梧縣、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、天水市秦安縣、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)
馬鞍山市雨山區(qū)、遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、臨汾市安澤縣、福州市羅源縣、廣州市南沙區(qū)、沈陽(yáng)市和平區(qū)、蘇州市昆山市、鶴壁市淇濱區(qū)
清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、泰州市興化市、白城市鎮(zhèn)賚縣、重慶市忠縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)
中山市沙溪鎮(zhèn)、楚雄姚安縣、常德市鼎城區(qū)、漢中市洋縣、樂(lè)山市井研縣、廣西崇左市江州區(qū)、煙臺(tái)市海陽(yáng)市、晉中市壽陽(yáng)縣
焦作市博愛(ài)縣、蘇州市虎丘區(qū)、重慶市九龍坡區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、牡丹江市愛(ài)民區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、廣西崇左市大新縣、綏化市北林區(qū)
廣西桂林市興安縣、衡陽(yáng)市雁峰區(qū)、黃岡市武穴市、郴州市汝城縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、哈爾濱市賓縣、海南興海縣
黃山市徽州區(qū)、楚雄元謀縣、漳州市薌城區(qū)、嘉興市海寧市、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、咸陽(yáng)市興平市
寧波市寧?？h、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、焦作市博愛(ài)縣、廣西崇左市寧明縣、信陽(yáng)市浉河區(qū)、瀘州市合江縣、渭南市潼關(guān)縣、黔東南雷山縣、巴中市通江縣
連云港市海州區(qū)、大同市陽(yáng)高縣、黔南平塘縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、孝感市安陸市
周口市西華縣、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、潮州市潮安區(qū)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、黔東南岑鞏縣、永州市新田縣、太原市萬(wàn)柏林區(qū)
廣西梧州市岑溪市、濰坊市臨朐縣、淮南市鳳臺(tái)縣、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)
北京市順義區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、定西市岷縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、南平市建陽(yáng)區(qū)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、吉安市峽江縣、玉溪市華寧縣、內(nèi)江市隆昌市、三明市三元區(qū)
聊城市臨清市、大同市廣靈縣、涼山寧南縣、樂(lè)山市井研縣、茂名市高州市、天津市和平區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣
菏澤市成武縣、合肥市瑤海區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、贛州市會(huì)昌縣、揭陽(yáng)市揭東區(qū)
上海市浦東新區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、孝感市孝南區(qū)、丹東市寬甸滿族自治縣、三沙市南沙區(qū)、福州市福清市、玉樹(shù)稱多縣、陽(yáng)泉市礦區(qū)、廣元市青川縣
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三門峽市靈寶市、天津市武清區(qū)、成都市金堂縣、保山市隆陽(yáng)區(qū)、三明市三元區(qū)、黃石市鐵山區(qū)、南平市延平區(qū)、寶雞市太白縣、中山市小欖鎮(zhèn)
南平市武夷山市、東莞市沙田鎮(zhèn)、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、中山市石岐街道、漢中市勉縣、長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、上饒市橫峰縣、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)
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臨高縣多文鎮(zhèn)、漢中市西鄉(xiāng)縣、清遠(yuǎn)市英德市、商丘市睢縣、常德市鼎城區(qū)、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣
綿陽(yáng)市江油市、許昌市魏都區(qū)、資陽(yáng)市樂(lè)至縣、常州市溧陽(yáng)市、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、安慶市望江縣、吉林市船營(yíng)區(qū)、重慶市合川區(qū)、鶴崗市興安區(qū)
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廣西河池市宜州區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、洛陽(yáng)市孟津區(qū)、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣、瀘州市納溪區(qū)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、忻州市五寨縣、北京市房山區(qū)、杭州市西湖區(qū)
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重慶市巴南區(qū)、重慶市南岸區(qū)、佳木斯市樺川縣、汕頭市澄海區(qū)、臨滄市鎮(zhèn)康縣、遵義市紅花崗區(qū)、廣西欽州市靈山縣、廣西河池市東蘭縣、泉州市晉江市、東方市八所鎮(zhèn)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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