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安慶市宿松縣、甘孜巴塘縣、呂梁市臨縣、銅仁市松桃苗族自治縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、三門峽市澠池縣、漳州市龍文區(qū)、齊齊哈爾市甘南縣、鞍山市鐵東區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣
溫州市龍灣區(qū)、平頂山市魯山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、濟(jì)寧市曲阜市、周口市淮陽(yáng)區(qū)、岳陽(yáng)市平江縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)
?？谑行阌^(qū)、寧波市余姚市、曲靖市陸良縣、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、贛州市章貢區(qū)、昭通市昭陽(yáng)區(qū)、無(wú)錫市濱湖區(qū)
臨沂市蒙陰縣、肇慶市端州區(qū)、雅安市蘆山縣、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、開封市順河回族區(qū)、渭南市蒲城縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、鶴崗市興安區(qū)、濱州市陽(yáng)信縣、衡陽(yáng)市南岳區(qū)
南通市海門區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、重慶市北碚區(qū)、牡丹江市林口縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)
攀枝花市米易縣、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、周口市鄲城縣、邵陽(yáng)市城步苗族自治縣、安慶市潛山市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、黃山市黃山區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、玉溪市澄江市
哈爾濱市雙城區(qū)、開封市祥符區(qū)、臨滄市臨翔區(qū)、永州市江永縣、汕尾市陸豐市、鶴壁市山城區(qū)、永州市道縣、菏澤市巨野縣、河源市源城區(qū)、黑河市孫吳縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、廣西梧州市藤縣、漳州市詔安縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、東營(yíng)市墾利區(qū)、海東市化隆回族自治縣
廈門市海滄區(qū)、成都市都江堰市、營(yíng)口市大石橋市、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、濟(jì)寧市嘉祥縣
東莞市橫瀝鎮(zhèn)、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、恩施州建始縣、煙臺(tái)市牟平區(qū)、福州市閩侯縣、樂(lè)山市井研縣、濟(jì)寧市曲阜市
中山市大涌鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、廣西河池市都安瑤族自治縣、廣西崇左市大新縣、鐵嶺市鐵嶺縣、連云港市灌南縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、忻州市寧武縣、隴南市宕昌縣、紅河蒙自市
寶雞市扶風(fēng)縣、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣、菏澤市巨野縣、廣西欽州市浦北縣、鄭州市鞏義市、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、杭州市桐廬縣、云浮市郁南縣、天水市甘谷縣
白銀市景泰縣、榆林市府谷縣、延邊龍井市、定西市隴西縣、上饒市信州區(qū)
湘西州鳳凰縣、九江市永修縣、蘭州市七里河區(qū)、廣西柳州市融水苗族自治縣、黔東南麻江縣
自貢市大安區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)、昆明市晉寧區(qū)、黃山市祁門縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、贛州市贛縣區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)
海東市互助土族自治縣、湘潭市湘鄉(xiāng)市、延安市洛川縣、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、株洲市茶陵縣、哈爾濱市道里區(qū)、平頂山市石龍區(qū)、廣元市利州區(qū)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)
葫蘆島市連山區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、上海市楊浦區(qū)、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、淄博市臨淄區(qū)、甘南夏河縣、宣城市宣州區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)
襄陽(yáng)市南漳縣、海東市平安區(qū)、涼山布拖縣、呂梁市嵐縣、儋州市雅星鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、岳陽(yáng)市臨湘市、肇慶市鼎湖區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)
廣西防城港市港口區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、駐馬店市遂平縣、咸寧市通城縣、廣西玉林市博白縣、九江市彭澤縣、杭州市臨安區(qū)、佳木斯市前進(jìn)區(qū)
寧波市慈溪市、合肥市巢湖市、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、天津市津南區(qū)、臨汾市霍州市、臺(tái)州市玉環(huán)市、淮北市杜集區(qū)
宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、九江市武寧縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、信陽(yáng)市浉河區(qū)、銅川市宜君縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)
怒江傈僳族自治州福貢縣、蘇州市太倉(cāng)市、錦州市古塔區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、寧夏吳忠市鹽池縣、六安市葉集區(qū)
信陽(yáng)市羅山縣、文山廣南縣、德州市平原縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、黔南荔波縣、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、鄂州市華容區(qū)
牡丹江市愛(ài)民區(qū)、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、迪慶德欽縣、菏澤市巨野縣、恩施州鶴峰縣、東營(yíng)市河口區(qū)、廣西南寧市橫州市、廣州市越秀區(qū)、延安市延長(zhǎng)縣
雞西市麻山區(qū)、武漢市漢南區(qū)、張家界市武陵源區(qū)、廣西百色市平果市、西安市臨潼區(qū)、眉山市洪雅縣、郴州市安仁縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、忻州市保德縣
贛州市會(huì)昌縣、儋州市海頭鎮(zhèn)、南充市西充縣、綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、蚌埠市淮上區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗
湘潭市湘鄉(xiāng)市、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、南陽(yáng)市淅川縣、廣西河池市宜州區(qū)、楚雄祿豐市、廣西梧州市蒼梧縣
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丹東市寬甸滿族自治縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、黃南尖扎縣、臺(tái)州市仙居縣、九江市共青城市、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、重慶市北碚區(qū)、龍巖市連城縣、溫州市龍港市、聊城市東阿縣
濰坊市諸城市、雙鴨山市集賢縣、南昌市新建區(qū)、東莞市謝崗鎮(zhèn)、通化市二道江區(qū)、白銀市靖遠(yuǎn)縣
西寧市城中區(qū)、周口市淮陽(yáng)區(qū)、云浮市羅定市、曲靖市宣威市、株洲市蘆淞區(qū)、重慶市開州區(qū)
株洲市茶陵縣、福州市馬尾區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、商丘市寧陵縣、雙鴨山市友誼縣、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、湖州市長(zhǎng)興縣、綏化市明水縣、蘭州市皋蘭縣
昆明市晉寧區(qū)、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、晉城市高平市、河源市連平縣、龍巖市武平縣、武漢市新洲區(qū)
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駐馬店市西平縣、永州市新田縣、商洛市鎮(zhèn)安縣、懷化市中方縣、漢中市留壩縣
臨高縣南寶鎮(zhèn)、湖州市南潯區(qū)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣、昆明市嵩明縣
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儋州市蘭洋鎮(zhèn)、四平市鐵東區(qū)、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、連云港市東海縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)
東營(yíng)市廣饒縣、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、儋州市新州鎮(zhèn)、渭南市華陰市、黔東南三穗縣、清遠(yuǎn)市連州市、重慶市綦江區(qū)、呂梁市孝義市、沈陽(yáng)市大東區(qū)、棗莊市薛城區(qū)
邵陽(yáng)市大祥區(qū)、綏化市明水縣、麗水市青田縣、臨汾市汾西縣、佳木斯市富錦市、玉溪市華寧縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、達(dá)州市通川區(qū)、錦州市義縣
大慶市肇州縣、吉林市船營(yíng)區(qū)、信陽(yáng)市浉河區(qū)、商丘市永城市、榆林市吳堡縣、宜春市樟樹市
孝感市孝南區(qū)、鶴崗市蘿北縣、曲靖市馬龍區(qū)、樂(lè)山市峨眉山市、重慶市秀山縣、黔南都勻市、廈門市思明區(qū)
佛山市高明區(qū)、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、漯河市臨潁縣、贛州市信豐縣、廣西崇左市天等縣、臨汾市侯馬市、中山市港口鎮(zhèn)、宜賓市江安縣、錦州市凌河區(qū)、湘西州永順縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、龍巖市漳平市、淮南市大通區(qū)、重慶市城口縣、甘孜巴塘縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、安慶市太湖縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、荊門市沙洋縣
忻州市河曲縣、福州市福清市、武威市民勤縣、德州市臨邑縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣
株洲市天元區(qū)、安順市普定縣、漯河市郾城區(qū)、曲靖市沾益區(qū)、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、衢州市龍游縣、瓊海市大路鎮(zhèn)、德州市寧津縣
寧夏石嘴山市平羅縣、昭通市昭陽(yáng)區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、臨汾市古縣、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、雅安市名山區(qū)
清遠(yuǎn)市清新區(qū)、廣西桂林市永福縣、衡陽(yáng)市衡山縣、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、舟山市定海區(qū)、蘇州市姑蘇區(qū)、漢中市漢臺(tái)區(qū)、日照市五蓮縣
襄陽(yáng)市谷城縣、佳木斯市富錦市、哈爾濱市通河縣、邵陽(yáng)市隆回縣、駐馬店市新蔡縣、鐵嶺市清河區(qū)、哈爾濱市尚志市、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)
楚雄姚安縣、天津市武清區(qū)、廣州市越秀區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、安康市寧陜縣、廣西北海市銀海區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、杭州市余杭區(qū)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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