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廣州市增城區(qū)、常州市武進(jìn)區(qū)、東方市大田鎮(zhèn)、東方市八所鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、揭陽(yáng)市惠來縣、保山市隆陽(yáng)區(qū)、連云港市贛榆區(qū)、日照市莒縣、新鄉(xiāng)市封丘縣
淮安市清江浦區(qū)、佛山市三水區(qū)、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、漳州市華安縣、文昌市文教鎮(zhèn)、重慶市渝北區(qū)、哈爾濱市木蘭縣、阜新市彰武縣、濰坊市臨朐縣、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣
成都市新都區(qū)、吉林市船營(yíng)區(qū)、上海市寶山區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、新鄉(xiāng)市輝縣市、揚(yáng)州市高郵市、鹽城市大豐區(qū)
鶴崗市蘿北縣、三明市明溪縣、十堰市丹江口市、遼源市龍山區(qū)、文昌市重興鎮(zhèn)
沈陽(yáng)市沈河區(qū)、蚌埠市蚌山區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、十堰市鄖西縣、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、甘南夏河縣
大理彌渡縣、重慶市江北區(qū)、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、淮安市淮陰區(qū)、阜新市新邱區(qū)、深圳市龍華區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)
汕頭市龍湖區(qū)、東莞市道滘鎮(zhèn)、甘南舟曲縣、廣西來賓市武宣縣、西安市新城區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗
鐵嶺市昌圖縣、大同市云岡區(qū)、黔東南榕江縣、文山文山市、榆林市榆陽(yáng)區(qū)
上海市虹口區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、眉山市青神縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、忻州市五寨縣
鐵嶺市昌圖縣、廣安市岳池縣、北京市懷柔區(qū)、麗江市華坪縣、廣元市昭化區(qū)、咸寧市崇陽(yáng)縣、綏化市蘭西縣、成都市新津區(qū)
萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、紹興市柯橋區(qū)、撫州市金溪縣、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、東方市感城鎮(zhèn)、大慶市肇州縣、西安市新城區(qū)
德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、吉安市吉州區(qū)、忻州市代縣、丹東市寬甸滿族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、天水市秦安縣、信陽(yáng)市固始縣、溫州市洞頭區(qū)、衢州市開化縣
開封市尉氏縣、鹽城市響水縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、泉州市惠安縣、六安市舒城縣
內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、常州市溧陽(yáng)市、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、廣西柳州市鹿寨縣、德州市德城區(qū)、廣元市旺蒼縣、安慶市桐城市、重慶市墊江縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、龍巖市漳平市、淮南市大通區(qū)、重慶市城口縣、甘孜巴塘縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、安慶市太湖縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、荊門市沙洋縣
廈門市思明區(qū)、南昌市南昌縣、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、遂寧市大英縣、廣西防城港市港口區(qū)
丹東市寬甸滿族自治縣、淮北市烈山區(qū)、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、北京市順義區(qū)、永州市江華瑤族自治縣、武漢市漢南區(qū)
寧德市古田縣、白山市臨江市、綿陽(yáng)市鹽亭縣、東營(yíng)市墾利區(qū)、揭陽(yáng)市惠來縣
涼山木里藏族自治縣、河源市紫金縣、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、黔東南三穗縣、銅陵市樅陽(yáng)縣、本溪市本溪滿族自治縣、南京市溧水區(qū)、廣西北海市銀海區(qū)
咸陽(yáng)市渭城區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、黃南尖扎縣、金華市東陽(yáng)市、天津市寶坻區(qū)、武漢市漢陽(yáng)區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、重慶市萬(wàn)州區(qū)、資陽(yáng)市安岳縣
南充市南部縣、吉安市泰和縣、贛州市龍南市、湘西州花垣縣、遼源市龍山區(qū)
泰州市興化市、汕尾市陸豐市、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、江門市臺(tái)山市、銅川市王益區(qū)
中山市中山港街道、鶴崗市蘿北縣、廣西柳州市融水苗族自治縣、大理南澗彝族自治縣、遂寧市射洪市
陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、伊春市南岔縣、涼山昭覺縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、海北剛察縣、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)
三沙市南沙區(qū)、綿陽(yáng)市鹽亭縣、黃山市休寧縣、涼山會(huì)理市、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、贛州市全南縣、蚌埠市五河縣、濰坊市昌樂縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、臨汾市大寧縣
合肥市巢湖市、天津市東麗區(qū)、宜昌市猇亭區(qū)、大同市平城區(qū)、黔南長(zhǎng)順縣、宜賓市高縣
阜陽(yáng)市太和縣、齊齊哈爾市克山縣、遂寧市大英縣、江門市新會(huì)區(qū)、宜春市高安市、鹽城市亭湖區(qū)、蕪湖市南陵縣、湛江市赤坎區(qū)、河源市連平縣
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濰坊市昌樂縣、紅河個(gè)舊市、重慶市銅梁區(qū)、昭通市巧家縣、泰安市肥城市
十堰市鄖西縣、重慶市云陽(yáng)縣、通化市柳河縣、黔東南榕江縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、德陽(yáng)市什邡市
十堰市張灣區(qū)、蘭州市皋蘭縣、寶雞市鳳縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、宿遷市泗陽(yáng)縣、內(nèi)江市隆昌市、臺(tái)州市黃巖區(qū)、滁州市明光市、常德市安鄉(xiāng)縣、煙臺(tái)市棲霞市
寶雞市千陽(yáng)縣、延邊龍井市、金昌市金川區(qū)、南陽(yáng)市宛城區(qū)、寧德市屏南縣、廣西北海市海城區(qū)
東莞市寮步鎮(zhèn)、吉安市永豐縣、臺(tái)州市玉環(huán)市、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、濟(jì)南市章丘區(qū)、大理云龍縣、中山市板芙鎮(zhèn)、九江市修水縣、蘭州市皋蘭縣、大同市靈丘縣、黃岡市英山縣、銅川市宜君縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)
贛州市定南縣、信陽(yáng)市商城縣、吉林市舒蘭市、攀枝花市東區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、紅河元陽(yáng)縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣
鹽城市大豐區(qū)、朔州市右玉縣、涼山木里藏族自治縣、本溪市平山區(qū)、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、廣西崇左市天等縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、儋州市排浦鎮(zhèn)、合肥市肥西縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)
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廣安市前鋒區(qū)、常德市石門縣、重慶市巫山縣、重慶市潼南區(qū)、晉城市沁水縣、撫州市金溪縣
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廣西河池市東蘭縣、佛山市禪城區(qū)、雙鴨山市嶺東區(qū)、濰坊市奎文區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣
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大理劍川縣、鹽城市東臺(tái)市、鶴崗市蘿北縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、重慶市榮昌區(qū)、樂山市夾江縣、上海市楊浦區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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